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1. 发明专利

TW201545959A 晶圓載運器审中-公开
简体标题：晶圆载运器
公开(公告)号：TW201545959A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：TW104127340
申请日：2011-03-11
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 史提芬斯傑森 , STEFFENS, JASON , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS
IPC分类号： B65D85/90 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要：本發明提供一種於一晶圓容器中之改良晶圓支撐機構，該晶圓容器適用於載送複數沿軸向對齊之薄片狀晶圓基板，該等晶圓基板通常係為圓形的。該容器包含：一卡匣盒，其具有複數相鄰設置之齒以用於容置該等基板，其中每一肋構件(rib member)自卡匣盒開口頂部至卡匣盒開口底部係為連續的；一可拆卸頂蓋部；一可拆卸底蓋部；一襯墊總成，可拆卸地附裝至容器頂蓋；以及另一襯墊總成，可拆卸地定位於容器底蓋中並藉由晶圓卡匣盒之重量而被保持於定位上。頂部襯墊係由複數單獨之段形成，各該段在其端部處具有一擴展之導入特徵，各該段中具有複數彈簧部，且各該段具有一V形橫截面，用以容置晶圓邊緣。頂部襯墊與底部襯墊分別安裝於容器頂蓋與容器底蓋中，並將晶圓支架延伸至各該晶圓之大約整個周邊。
简体摘要：本发明提供一种于一晶圆容器中之改良晶圆支撑机构，该晶圆容器适用于载送复数沿轴向对齐之薄片状晶圆基板，该等晶圆基板通常系为圆形的。该容器包含：一卡匣盒，其具有复数相邻设置之齿以用于容置该等基板，其中每一肋构件(rib member)自卡匣盒开口顶部至卡匣盒开口底部系为连续的；一可拆卸顶盖部；一可拆卸底盖部；一衬垫总成，可拆卸地附装至容器顶盖；以及另一衬垫总成，可拆卸地定位于容器底盖中并借由晶圆卡匣盒之重量而被保持于定位上。顶部衬垫系由复数单独之段形成，各该段在其端部处具有一扩展之导入特征，各该段中具有复数弹簧部，且各该段具有一V形横截面，用以容置晶圆边缘。顶部衬垫与底部衬垫分别安装于容器顶盖与容器底盖中，并将晶圆支架延伸至各该晶圆之大约整个周边。

2. 发明专利

TWI508905B 晶圓載運器有权
简体标题：晶圆载运器
公开(公告)号：TWI508905B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW100108271
申请日：2011-03-11
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 史提芬斯傑森 , STEFFENS, JASON , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS
IPC分类号： B65D85/90
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67383 , H01L21/67386

3. 外观设计

TWD176128S 用於晶圓載運器之襯墊有权
简体标题：用于晶圆载运器之衬垫
公开(公告)号：TWD176128S
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104305235
申请日：2011-03-11
申请人：安堤格里斯公司 , ENTEGRIS, INC.
设计人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 史提芬斯傑森 , STEFFENS, JASON , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS

4. 发明专利

TW201206791A 晶圓載運器 WAFER SHIPPER 审中-公开
简体标题：晶圆载运器 WAFER SHIPPER
公开(公告)号：TW201206791A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100108271
申请日：2011-03-11
申请人：安堤格里斯公司
发明人：葛雷格森貝瑞 , 史提芬斯傑森 , 拉許克羅斯
IPC分类号： B65D
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要：本發明提供一種於一晶圓容器中之改良晶圓支撐機構，該晶圓容器適用於載送複數沿軸向對齊之薄片狀晶圓基板，該等晶圓基板通常係為圓形的。該容器包含：一卡匣盒，其具有複數相鄰設置之齒以用於容置該等基板，其中每一肋構件(rib member)自卡匣盒開口頂部至卡匣盒開口底部係為連續的；一可拆卸頂蓋部；一可拆卸底蓋部；一襯墊總成，可拆卸地附裝至容器頂蓋；以及另一襯墊總成，可拆卸地定位於容器底蓋中並藉由晶圓卡匣盒之重量而被保持於定位上。頂部襯墊係由複數單獨之段形成，各該段在其端部處具有一擴展之導入特徵，各該段中具有複數彈簧部，且各該段具有一V形橫截面，用以容置晶圓邊緣。頂部襯墊與底部襯墊分別安裝於容器頂蓋與容器底蓋中，並將晶圓支架延伸至各該晶圓之大約整個周邊。
简体摘要：本发明提供一种于一晶圆容器中之改良晶圆支撑机构，该晶圆容器适用于载送复数沿轴向对齐之薄片状晶圆基板，该等晶圆基板通常系为圆形的。该容器包含：一卡匣盒，其具有复数相邻设置之齿以用于容置该等基板，其中每一肋构件(rib member)自卡匣盒开口顶部至卡匣盒开口底部系为连续的；一可拆卸顶盖部；一可拆卸底盖部；一衬垫总成，可拆卸地附装至容器顶盖；以及另一衬垫总成，可拆卸地定位于容器底盖中并借由晶圆卡匣盒之重量而被保持于定位上。顶部衬垫系由复数单独之段形成，各该段在其端部处具有一扩展之导入特征，各该段中具有复数弹簧部，且各该段具有一V形横截面，用以容置晶圆边缘。顶部衬垫与底部衬垫分别安装于容器顶盖与容器底盖中，并将晶圆支架延伸至各该晶圆之大约整个周边。

5. 发明专利

TWI699849B 具有一透明窗總成之用於固持及傳送光罩的容器有权
简体标题：具有一透明窗总成之用于固持及发送光罩的容器
公开(公告)号：TWI699849B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW107125196
申请日：2018-07-20
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：伊根尚恩 D , EGGUM, SHAWN D. , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07

6. 发明专利

TW201921565A 具有一透明窗總成之用於固持及傳送光罩的容器审中-公开
简体标题：具有一透明窗总成之用于固持及发送光罩的容器
公开(公告)号：TW201921565A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107125196
申请日：2018-07-20
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：伊根尚恩 D , EGGUM, SHAWN D. , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
摘要：本發明係關於一種用於傳送光罩之盒，該盒包含一內罩蓋及一內底板。該內底板與該罩蓋協作以建立用於安裝一光罩之一空間。該內底板包含具有一周邊之一孔及自該周邊向內延伸之第一凸緣及第二凸緣。一窗總成安裝於該孔中。該窗總成包含一透明板、一密封件及一保持器。該密封件接觸該透明板之外平坦表面或側平坦表面及該孔之該周邊以密封該窗總成與該孔之間的一界面。該保持器接觸該第二凸緣以將該密封件及透明板保持於該孔內。
简体摘要：本发明系关于一种用于发送光罩之盒，该盒包含一内罩盖及一内底板。该内底板与该罩盖协作以创建用于安装一光罩之一空间。该内底板包含具有一周边之一孔及自该周边向内延伸之第一凸缘及第二凸缘。一窗总成安装于该孔中。该窗总成包含一透明板、一密封件及一保持器。该密封件接触该透明板之外平坦表面或侧平坦表面及该孔之该周边以密封该窗总成与该孔之间的一界面。该保持器接触该第二凸缘以将该密封件及透明板保持于该孔内。

7. 发明专利

TWI554455B 晶圓載運器有权
简体标题：晶圆载运器
公开(公告)号：TWI554455B
公开(公告)日：2016-10-21
申请号：TW104127340
申请日：2011-03-11
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 史提芬斯傑森 , STEFFENS, JASON , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS
IPC分类号： B65D85/90 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67383 , H01L21/67386

8. 发明专利

TWI652757B 具有光罩側圍阻之光罩容置盒有权
简体标题：具有光罩侧围阻之光罩容置盒
公开(公告)号：TWI652757B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：TW106128968
申请日：2017-08-25
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS , 葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 伊根尚恩 D , EGGUM, SHAWN D.
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/48

9. 发明专利

TW201820511A 具有光罩側圍阻之光罩容置盒审中-公开
简体标题：具有光罩侧围阻之光罩容置盒
公开(公告)号：TW201820511A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106128968
申请日：2017-08-25
申请人：美商恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS , 葛雷格森貝瑞 , GREGERSON, BARRY , 伊根尚恩 D , EGGUM, SHAWN D.
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/48
摘要：本發明提供一種光罩容置盒，其包括一外部容置盒、一內部容置盒罩蓋及一內部底板。一光罩支撐於該基座上且包含於由該內部容置盒罩蓋及該內部容置盒基座創建的環境內。該內部容置盒罩蓋可包括複數個光罩保持器，其經組態以接觸該光罩之一側壁及限制該光罩在一水平方向上之移動。
简体摘要：本发明提供一种光罩容置盒，其包括一外部容置盒、一内部容置盒罩盖及一内部底板。一光罩支撑于该基座上且包含于由该内部容置盒罩盖及该内部容置盒基座创建的环境内。该内部容置盒罩盖可包括复数个光罩保持器，其经组态以接触该光罩之一侧壁及限制该光罩在一水平方向上之移动。

10. 发明专利

TWI634615B 用於一基板容器的閂鎖機構有权
简体标题：用于一基板容器的闩锁机构
公开(公告)号：TWI634615B
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW106117627
申请日：2017-05-26
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：史蒂芬斯傑森 , STEFFENS, JASON , 拉許克羅斯 , RASCHKE, RUSS
IPC分类号： H01L21/677 , H01L23/10

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