基本信息:
- 专利标题： 用於一基板容器的閂鎖機構
- 专利标题（英）：LATCHING MECHANISM FOR A SUBSTRATE CONTAINER
- 专利标题（中）：用于一基板容器的闩锁机构
- 申请号：TW106117627 申请日：2017-05-26
- 公开(公告)号：TWI634615B 公开(公告)日：2018-09-01
- 发明人： 史蒂芬斯 傑森 , STEFFENS, JASON , 拉許克 羅斯 , RASCHKE, RUSS
- 申请人： 恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
- 专利权人： 恩特葛瑞斯股份有限公司,ENTEGRIS, INC.
- 当前专利权人： 恩特葛瑞斯股份有限公司,ENTEGRIS, INC.
- 代理人： 陳長文
- 优先权： 62/341,996 20160526
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L23/10
公开/授权文献:
- TW201806062A 用於一基板容器的閂鎖機構 公开/授权日：2018-02-16