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1. 发明专利

TWI417675B 多重曝光裝置有权
简体标题：多重曝光设备
公开(公告)号：TWI417675B
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW096140016
申请日：2007-10-25
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志
IPC分类号： G03F7/20

2. 发明专利

TW201300968A 曝光裝置审中-公开
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TW201300968A
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW101117715
申请日：2012-05-18
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70275 , G03F7/70291
摘要：本發明的曝光裝置，包括：光調變元件陣列，2維配列複數的光調變元件；以及投影光學鏡組，將光學調變元件陣列反射的光成像於被描繪體的曝光面。投影光學鏡組包括：第1光學鏡組，將光學調變元件陣列反射的圖案影像的光成像於第1成像面；圖像分割光學鏡組，將形成於第1成像面的圖案影像於第1成像面上分割，形成複數的分割圖案影像；以及第2光學鏡組，將複數的分割圖案影像的光成像於曝光面。
简体摘要：本发明的曝光设备，包括：光调制组件数组，2维配列复数的光调制组件；以及投影光学镜组，将光学调制组件数组反射的光成像于被描绘体的曝光面。投影光学镜组包括：第1光学镜组，将光学调制组件数组反射的图案影像的光成像于第1成像面；图像分割光学镜组，将形成于第1成像面的图案影像于第1成像面上分割，形成复数的分割图案影像；以及第2光学镜组，将复数的分割图案影像的光成像于曝光面。

3. 发明专利

TWI405042B 曝光資料產生裝置有权
简体标题：曝光数据产生设备
公开(公告)号：TWI405042B
公开(公告)日：2013-08-11
申请号：TW096144749
申请日：2007-11-26
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , TAKASHI OKUYAMA
IPC分类号： G03F7/20 , G06F19/00 , G06T11/20
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70508

4. 发明专利

TW200900875A 繪圖裝置审中-公开
简体标题：绘图设备
公开(公告)号：TW200900875A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW097112775
申请日：2008-04-09
申请人：奧克製作所股份有限公司 ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志
IPC分类号： G03F , G02B
CPC分类号： G03F7/70791 , G03F7/70275
摘要：【【課題】】在增加使用DMD元件的繪圖速度而提高生產性的情形中,縮短DMD元件的微型反射鏡的切換時間而提高生產性。【【解決方式】】繪圖裝置(100)係包括:DMD元件(41),具有陣列狀配置的複數個微型反射鏡M;光源(10),對於微型反射鏡M供給曝光光線;偏壓電壓控制部(83),施加使微型反射鏡M設定於第一狀態的第一電壓,使曝光光線朝被曝光面(CB)導引,且施加使反射元件設定於第二狀態的零電壓,曝光光線不到達被曝光面。
简体摘要：【【课题】】在增加使用DMD组件的绘图速度而提高生产性的情形中,缩短DMD组件的微型反射镜的切换时间而提高生产性。【【解决方式】】绘图设备(100)系包括:DMD组件(41),具有数组状配置的复数个微型反射镜M;光源(10),对于微型反射镜M供给曝光光线;偏压电压控制部(83),施加使微型反射镜M设置于第一状态的第一电压,使曝光光线朝被曝光面(CB)导引,且施加使反射组件设置于第二状态的零电压,曝光光线不到达被曝光面。

5. 发明专利

TW201719231A 曝光裝置用曝光頭以及曝光裝置用投影光學系統审中-公开
简体标题：曝光设备用曝光头以及曝光设备用投影光学系统
公开(公告)号：TW201719231A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW105133179
申请日：2016-10-14
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI
IPC分类号： G02B26/12 , G03F7/20 , H01L21/027
摘要：可一面維持圖案像之清晰性，一面實現生產力之提高。在曝光裝置，包括分別是由分割鏡與導鏡所構成之是平行平面的組之6對鏡對的影像分割光學系統30根據DMD22的分割區域DM1~DM6將來自DMD22的圖案像進行6分割，並使投影位置移動成使6個分割圖案像DA1~DA6沿著主掃描方向X、副掃描方向Y彼此分開。
简体摘要：可一面维持图案像之清晰性，一面实现生产力之提高。在曝光设备，包括分别是由分割镜与导镜所构成之是平行平面的组之6对镜对的影像分割光学系统30根据DMD22的分割区域DM1~DM6将来自DMD22的图案像进行6分割，并使投影位置移动成使6个分割图案像DA1~DA6沿着主扫描方向X、副扫描方向Y彼此分开。

6. 发明专利

TWI564671B 曝光裝置有权
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TWI564671B
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW101117715
申请日：2012-05-18
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70275 , G03F7/70291

7. 发明专利

TW201633370A 曝光裝置审中-公开
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TW201633370A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104137474
申请日：2015-11-13
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI , 菊地信司 , KIKUCHI, SHINJI
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B7/28
摘要：確認在曝光裝置中簡單且精確地檢出聚焦狀態。在移動平台12的同時，藉由將由桿狀圖案PL1~PL4所構成的圖案列PT投影至形成有狹縫ST1~ST6的遮光單元40，從光感測器PD輸出光量訊號。然後，根據自光量訊號求得的振幅比M，判斷是否維持聚焦狀態。
简体摘要：确认在曝光设备中简单且精确地检出聚焦状态。在移动平台12的同时，借由将由杆状图案PL1~PL4所构成的图案列PT投影至形成有狭缝ST1~ST6的遮光单元40，从光传感器PD输出光量信号。然后，根据自光量信号求得的振幅比M，判断是否维持聚焦状态。

8. 发明专利

TW201447502A 曝光裝置审中-公开
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TW201447502A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103112963
申请日：2014-04-09
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F9/00 , G03F7/70291 , G03F7/70725 , G03F7/70775 , G03F7/70791
摘要：本發明的目的是使無光罩曝光裝置正確地檢測出圖樣形成位置。將第1光感測器群128A、128B以相對於主掃描方向分別傾斜+45°/-45°的方式配置，傾斜方向朝向彼此相反的方向。然後對第1光感測器群128A投影出傾斜於與第1光感測器群128A的排列方向垂直的方向上的第1位置檢測圖樣列HP，對第2光感測器群128B投影出傾斜於與第1光感測器群128A的排列方向垂直的方向上的第2位置檢測圖樣列IP。
简体摘要：本发明的目的是使无光罩曝光设备正确地检测出图样形成位置。将第1光传感器群128A、128B以相对于主扫描方向分别倾斜+45°/-45°的方式配置，倾斜方向朝向彼此相反的方向。然后对第1光传感器群128A投影出倾斜于与第1光传感器群128A的排列方向垂直的方向上的第1位置检测图样列HP，对第2光传感器群128B投影出倾斜于与第1光传感器群128A的排列方向垂直的方向上的第2位置检测图样列IP。

9. 发明专利

TWI671796B 曝光裝置有权
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TWI671796B
公开(公告)日：2019-09-11
申请号：TW104137474
申请日：2015-11-13
申请人：日商奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI , 菊地信司 , KIKUCHI, SHINJI
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B7/28

10. 发明专利

TWI607291B 曝光裝置有权
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TWI607291B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW103112963
申请日：2014-04-09
申请人：奧克製作所股份有限公司 , ORC MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：奧山隆志 , OKUYAMA, TAKASHI
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F9/00 , G03F7/70291 , G03F7/70725 , G03F7/70775 , G03F7/70791

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