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1. 发明专利

TWI535887B 合成高品質碳薄膜或無機材料薄膜之設備與方法有权
简体标题：合成高品质碳薄膜或无机材料薄膜之设备与方法
公开(公告)号：TWI535887B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW103139457
申请日：2014-11-13
申请人：國立中央大學 , NATIONAL CENTRAL UNIVERSITY
发明人：蘇清源 , SU, CHING-YUAN , 陳祐民 , CHEN, YU MIN
IPC分类号： C23C16/54 , C23C16/22 , C23C16/26 , C23C16/455 , C23C16/513

2. 发明专利

TWI498206B 連續式合成碳薄膜或無機材料薄膜之設備與方法有权
简体标题：连续式合成碳薄膜或无机材料薄膜之设备与方法
公开(公告)号：TWI498206B
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103130541
申请日：2014-09-04
申请人：國立中央大學 , NATIONAL CENTRAL UNIVERSITY
发明人：蘇清源 , SU, CHING-YUAN , 陳祐民 , CHEN, YU MIN
IPC分类号： B29C41/26 , B29L7/00
CPC分类号： C01B31/0453 , C01B32/186 , C23C16/0227 , C23C16/26 , C23C16/4408 , C23C16/452 , C23C16/46 , C23C16/466 , C23C16/511 , C23C16/545 , H01J37/32192 , H01J37/3277 , H01J2237/2001

3. 发明专利

TW201617476A 合成高品質碳薄膜或無機材料薄膜之設備與方法审中-公开
简体标题：合成高品质碳薄膜或无机材料薄膜之设备与方法
公开(公告)号：TW201617476A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：TW103139457
申请日：2014-11-13
申请人：國立中央大學 , NATIONAL CENTRAL UNIVERSITY
发明人：蘇清源 , SU, CHING-YUAN , 陳祐民 , CHEN, YU MIN
IPC分类号： C23C16/54 , C23C16/22 , C23C16/26 , C23C16/455 , C23C16/513
摘要：本發明揭露一種連續式合成高品質碳薄膜或無機材料薄膜之設備，包括：一外腔體，包括一進氣閘門、一出氣閘門；一基材傳送裝置，置於該外腔體內，其中該基材傳送裝置包括一捲出構件、複數個轉動滾筒以及一捲取構件，該基材傳送裝置具有一移動路徑；一具金屬的基材，沿著該移動路徑傳送；一溫控裝置，相對應配置於該基材傳送裝置的上方或下方，當該具金屬的基材通過時，對該具金屬的基材進行加熱作業；一真空系統，與該外腔體連接，將一氣體由該進氣閘門抽入及由該排氣閘門排出；一氣源控制器，與該外腔體連接，控制一製程氣體的供給，其中該製程氣體具有一碳源或無機材料源；以及一加熱單元，靠近該具金屬的基材表面設置，和該具金屬的基材有一相對移動。
简体摘要：本发明揭露一种连续式合成高品质碳薄膜或无机材料薄膜之设备，包括：一外腔体，包括一进气闸门、一出气闸门；一基材发送设备，置于该外腔体内，其中该基材发送设备包括一卷出构件、复数个转动滚筒以及一卷取构件，该基材发送设备具有一移动路径；一具金属的基材，沿着该移动路径发送；一温控设备，相对应配置于该基材发送设备的上方或下方，当该具金属的基材通过时，对该具金属的基材进行加热作业；一真空系统，与该外腔体连接，将一气体由该进气闸门抽入及由该排气闸门排出；一气源控制器，与该外腔体连接，控制一制程气体的供给，其中该制程气体具有一碳源或无机材料源；以及一加热单元，靠近该具金属的基材表面设置，和该具金属的基材有一相对移动。

4. 发明专利

TW201609341A 連續式合成碳薄膜或無機材料薄膜之設備與方法审中-公开
简体标题：连续式合成碳薄膜或无机材料薄膜之设备与方法
公开(公告)号：TW201609341A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW103130541
申请日：2014-09-04
申请人：國立中央大學 , NATIONAL CENTRAL UNIVERSITY
发明人：蘇清源 , SU, CHING-YUAN , 陳祐民 , CHEN, YU MIN
IPC分类号： B29C41/26 , B29L7/00
CPC分类号： C01B31/0453 , C01B32/186 , C23C16/0227 , C23C16/26 , C23C16/4408 , C23C16/452 , C23C16/46 , C23C16/466 , C23C16/511 , C23C16/545 , H01J37/32192 , H01J37/3277 , H01J2237/2001
摘要：本發明揭露一種連續式合成碳薄膜或無機材料薄膜之設備，包括：一外腔體，包括一進氣閘門、一出氣閘門；一基材傳送裝置，置於該外腔體內，其中該基材傳送裝置包括一捲出構件、複數個轉動滾筒以及一捲取構件，該基材傳送裝置具有一移動路徑；一具金屬的基材，沿著該移動路徑傳送；一溫控裝置，相對應配置於該基材傳送裝置的上方或下方，當該具金屬的基材通過時，對該具金屬的基材進行加熱作業；一真空系統，與該外腔體連接，將一氣體由該進氣閘門抽入及由該排氣閘門排出；以及一氣源控制器，與該外腔體連接，控制一製程氣體的供給，其中該製程氣體具有一碳源或無機材料源。
简体摘要：本发明揭露一种连续式合成碳薄膜或无机材料薄膜之设备，包括：一外腔体，包括一进气闸门、一出气闸门；一基材发送设备，置于该外腔体内，其中该基材发送设备包括一卷出构件、复数个转动滚筒以及一卷取构件，该基材发送设备具有一移动路径；一具金属的基材，沿着该移动路径发送；一温控设备，相对应配置于该基材发送设备的上方或下方，当该具金属的基材通过时，对该具金属的基材进行加热作业；一真空系统，与该外腔体连接，将一气体由该进气闸门抽入及由该排气闸门排出；以及一气源控制器，与该外腔体连接，控制一制程气体的供给，其中该制程气体具有一碳源或无机材料源。

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