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1. 发明专利

TW201823499A 批次式鍍膜製程系統审中-公开
简体标题：批次式镀膜制程系统
公开(公告)号：TW201823499A
公开(公告)日：2018-07-01
申请号：TW105144014
申请日：2016-12-30
申请人：國家中山科學研究院 , NATIONAL CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：李文傑 , 梁仕昌 , 魏肇男 , 倪國裕 , 薄慧雲 , 余友軒 , 林俊霆 , 柯志忠 , 蕭銘華
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455
摘要：本發明提供一種批次式鍍膜製程系統，其包含有至少一氣體盤；多數設於氣體盤之前驅物注入管，各前驅物注入管之兩端係分別包括有一前驅物入口及一前驅物出口，各前驅物入口係位於氣體盤中，而各前驅物出口係位於氣體盤之一面上；以及多數設於氣體盤且分別圍繞於各前驅物注入管周圍之排氣管，使各排氣管與各前驅物注入管呈陣列式排列，而各排氣管之兩端係分別包括有一排氣入口及一排氣出口，各排氣入口係位於氣體盤之一面上，而各排氣出口係位於氣體盤中。藉此，可將各前驅物注入管及各排氣管陣列式排列，以縮短基板與各前驅物注入管及各排氣管間之距離，而可快速移除沉積反應後剩餘之氣體，進而有效提升製程之均勻性。
简体摘要：本发明提供一种批次式镀膜制程系统，其包含有至少一气体盘；多数设于气体盘之前驱物注入管，各前驱物注入管之两端系分别包括有一前驱物入口及一前驱物出口，各前驱物入口系位于气体盘中，而各前驱物出口系位于气体盘之一面上；以及多数设于气体盘且分别围绕于各前驱物注入管周围之排气管，使各排气管与各前驱物注入管呈数组式排列，而各排气管之两端系分别包括有一排气入口及一排气出口，各排气入口系位于气体盘之一面上，而各排气出口系位于气体盘中。借此，可将各前驱物注入管及各排气管数组式排列，以缩短基板与各前驱物注入管及各排气管间之距离，而可快速移除沉积反应后剩余之气体，进而有效提升制程之均匀性。

2. 发明专利

TW201723215A 一種原子層磊晶系統之進氣管路陣列审中-公开
简体标题：一种原子层磊晶系统之进气管路数组
公开(公告)号：TW201723215A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW104142653
申请日：2015-12-18
申请人：國家中山科學研究院 , NATIONAL CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：李文傑 , 梁仕昌 , 魏肇男 , 倪國裕 , 薄慧雲 , 蕭銘華 , 林俊霆 , 柯志忠 , 余友軒
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54
摘要：本發明提出一種原子層磊晶系統之進氣管路陣列，將前驅物注入口與排氣口陣列式排列，用以縮短前驅物入口-基板-抽氣口之距離，達成快速移除沉積反應後剩餘氣體之目的。
简体摘要：本发明提出一种原子层磊晶系统之进气管路数组，将前驱物注入口与排气口数组式排列，用以缩短前驱物入口-基板-抽气口之距离，达成快速移除沉积反应后剩余气体之目的。

3. 发明专利

TWI620830B 批次式鍍膜製程系統有权
简体标题：批次式镀膜制程系统
公开(公告)号：TWI620830B
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：TW105144014
申请日：2016-12-30
申请人：國家中山科學研究院 , NATIONAL CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：李文傑 , 梁仕昌 , 魏肇男 , 倪國裕 , 薄慧雲 , 余友軒 , 林俊霆 , 柯志忠 , 蕭銘華
IPC分类号： C23C16/44 , C23C16/455

4. 实用新型

TWM539510U 批次式鍍膜製程系統有权
简体标题：批次式镀膜制程系统
公开(公告)号：TWM539510U
公开(公告)日：2017-04-11
申请号：TW105220014
申请日：2016-12-30
申请人：國家中山科學研究院 , NATIONAL CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：李文傑 , 梁仕昌 , 魏肇男 , 倪國裕 , 薄慧雲 , 余友軒 , 林俊霆 , 柯志忠 , 蕭銘華
IPC分类号： C23C16/44

5. 发明专利

TWI571526B 一種原子層磊晶系統之進氣管路陣列有权
简体标题：一种原子层磊晶系统之进气管路数组
公开(公告)号：TWI571526B
公开(公告)日：2017-02-21
申请号：TW104142653
申请日：2015-12-18
申请人：國家中山科學研究院 , NATIONAL CHUNG-SHAN INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：李文傑 , 梁仕昌 , 魏肇男 , 倪國裕 , 薄慧雲 , 蕭銘華 , 林俊霆 , 柯志忠 , 余友軒
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54

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