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    • 3. 发明专利
    • 製備三氯矽烷之方法及設備 PROCESS AND PLANT FOR PREPARING TRICHLOROSILANE
    • 制备三氯硅烷之方法及设备 PROCESS AND PLANT FOR PREPARING TRICHLOROSILANE
    • TW201111281A
    • 2011-04-01
    • TW099125977
    • 2010-08-04
    • 史克曼矽晶片科技公司
    • 派翠克 艾道夫漢恩 喬契姆史考曼 克利斯坦
    • C01BB01J
    • C01B33/1071C01B33/10763
    • 本發明係關於一種製備三氯矽烷之方法,其中令矽顆粒與四氯矽烷及氫氣及視需要與氯化氫於流化床反應器(101)中反應以形成含三氯矽烷之產物氣流,其中將含三氯矽烷之產物氣流自反應器(101)經由於選擇性地僅容許至大為一特定最大粒度之矽顆粒通過之至少一顆粒分離器(118)下游之出口(117)排出,且矽顆粒較佳經由不具有此顆粒分離器之至少另一出口(109;112)定期或持續地自反應器(101)排出。此外,本發明係關於一種適於實施此方法及具有一第一流化床反應器(101)及一第二流化床反應器(102)之設備(100),且兩流化床反應器係以使自該第一反應器(101)排出的矽可轉移至該第二反應器(102)之方式連接。
    • 本发明系关于一种制备三氯硅烷之方法,其中令硅颗粒与四氯硅烷及氢气及视需要与氯化氢于流化床反应器(101)中反应以形成含三氯硅烷之产物气流,其中将含三氯硅烷之产物气流自反应器(101)经由于选择性地仅容许至大为一特定最大粒度之硅颗粒通过之至少一颗粒分离器(118)下游之出口(117)排出,且硅颗粒较佳经由不具有此颗粒分离器之至少另一出口(109;112)定期或持续地自反应器(101)排出。此外,本发明系关于一种适于实施此方法及具有一第一流化床反应器(101)及一第二流化床反应器(102)之设备(100),且两流化床反应器系以使自该第一反应器(101)排出的硅可转移至该第二反应器(102)之方式连接。