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热词
    • 1. 实用新型
    • 晶片瑕疵探測器
    • 芯片瑕疵探测器
    • TWM243780U
    • 2004-09-11
    • TW092205487
    • 2003-04-08
    • 南亞科技股份有限公司 NANYA TECHNOLOGY CORPORATION
    • 陳志焜龔耀雄羅屯元
    • H01L
    • 一種晶片瑕疵探測器,特別指用以於晶片研磨前,及時且快速偵測異常晶片的裝置。該晶片瑕疵探測器係包括有一測試平台,係用以承載一晶片以供測試;一超音波檢測裝置,係設置於該測試平台上方,用以發射一平面超音波以掃瞄該晶片及接收藉該晶片所反射回來的超音波;及一微處理器,用以處理該藉晶片所反射回來的超音波並傳送至一監視器;藉此探測該晶片之內部是否存在瑕疵。
    • 一种芯片瑕疵探测器,特别指用以于芯片研磨前,及时且快速侦测异常芯片的设备。该芯片瑕疵探测器系包括有一测试平台,系用以承载一芯片以供测试;一超音波检测设备,系设置于该测试平台上方,用以发射一平面超音波以扫瞄该芯片及接收藉该芯片所反射回来的超音波;及一微处理器,用以处理该藉芯片所反射回来的超音波并发送至一监视器;借此探测该芯片之内部是否存在瑕疵。
    • 2. 实用新型
    • 研磨劑之均質裝置以及研磨劑供給系統
    • 研磨剂之均质设备以及研磨剂供给系统
    • TW538853U
    • 2003-06-21
    • TW091206221
    • 2002-05-03
    • 南亞科技股份有限公司
    • 羅屯元許智斌陳志焜
    • B24BB24C
    • B24B37/04B01F7/00758B01F7/163B24B57/02
    • 一種研磨劑之均質裝置,包括:一驅動裝置,具有一旋轉軸。一框架,具有一流出口,其中該框架係設置於該驅動裝置上。一防漏盤,具有一第一開孔,其中該防漏盤係設置於該框架內且位於該驅動裝置上,並且部分該旋轉軸係穿出該第一開孔。一濾網,設置於該框架內且位於該防漏盤上。一第一研磨墊,具有一第二開孔,其中該第一研磨墊係藉由該第二開孔而套設於該旋轉軸上,並且該第一研磨墊係設置於該濾網內且位於該防漏盤上方。一旋鈕,裝設於該旋轉軸上端,用以固定該第一研磨墊於該旋轉軸上。一蓋子,具有一中心管,其中該蓋子係設置於該框架上。一第二研磨墊,具有一第三開孔,其中該第二研磨墊係藉由該第三開孔而套設於該中心管上,並且該第二研磨墊係設置於該濾網內,且該第二研磨墊與該第一研磨墊之間具有一間隙。
    • 一种研磨剂之均质设备,包括:一驱动设备,具有一旋转轴。一框架,具有一流出口,其中该框架系设置于该驱动设备上。一防漏盘,具有一第一开孔,其中该防漏盘系设置于该框架内且位于该驱动设备上,并且部分该旋转轴系穿出该第一开孔。一滤网,设置于该框架内且位于该防漏盘上。一第一研磨垫,具有一第二开孔,其中该第一研磨垫系借由该第二开孔而套设于该旋转轴上,并且该第一研磨垫系设置于该滤网内且位于该防漏盘上方。一旋钮,装设于该旋转轴上端,用以固定该第一研磨垫于该旋转轴上。一盖子,具有一中心管,其中该盖子系设置于该框架上。一第二研磨垫,具有一第三开孔,其中该第二研磨垫系借由该第三开孔而套设于该中心管上,并且该第二研磨垫系设置于该滤网内,且该第二研磨垫与该第一研磨垫之间具有一间隙。