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1. 发明专利

TW201819153A 壓印裝置、壓印方法及物品的製造方法审中-公开
简体标题：压印设备、压印方法及物品的制造方法
公开(公告)号：TW201819153A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106135607
申请日：2017-10-18
申请人：日商佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：中川一樹 , NAKAGAWA, KAZUKI
IPC分类号： B29C59/02 , H01L21/027
摘要：提供一種壓印裝置，係在模具與基板上的壓印材接觸的狀態下使該壓印材硬化，藉此，在前述基板上形成圖案；其特徵為，具有：平臺，其係保持前述基板而移動；周邊構件，其係被配置在前述平臺上之保持前述基板的部分的周邊，於前述模具側具有導電性的面；氣體供給部，其係供給氣體到前述模具與前述基板之間的空間；分配器，其係供給壓印材到前述基板；以及控制部，其係控制前述平臺的移動及前述氣體供給部所致之氣體的供給；前述氣體供給部與前述分配器，係配置成包挾保持前述模具之保持部；前述控制部，係在分離了已硬化的壓印材與前述模具後，在前述平臺開始朝向前述分配器之下的移動之前開始前述氣體供給部所致之前述氣體的供給，在前述平臺的移動中透過前述氣體使前述周邊構件與前述模具對向，經此，進行前述模具的除電。
简体摘要：提供一种压印设备，系在模具与基板上的压印材接触的状态下使该压印材硬化，借此，在前述基板上形成图案；其特征为，具有：平台，其系保持前述基板而移动；周边构件，其系被配置在前述平台上之保持前述基板的部分的周边，于前述模具侧具有导电性的面；气体供给部，其系供给气体到前述模具与前述基板之间的空间；分配器，其系供给压印材到前述基板；以及控制部，其系控制前述平台的移动及前述气体供给部所致之气体的供给；前述气体供给部与前述分配器，系配置成包挟保持前述模具之保持部；前述控制部，系在分离了已硬化的压印材与前述模具后，在前述平台开始朝向前述分配器之下的移动之前开始前述气体供给部所致之前述气体的供给，在前述平台的移动中透过前述气体使前述周边构件与前述模具对向，经此，进行前述模具的除电。

2. 发明专利

TW201729979A 壓印裝置及其動作方法以及物品製造方法审中-公开
简体标题：压印设备及其动作方法以及物品制造方法
公开(公告)号：TW201729979A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106105959
申请日：2017-02-22
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：松岡洋一 , MATSUOKA, YOICHI , 山本磨人 , YAMAMOTO, KIYOHITO , 東尚史 , AZUMA, HISANOBU , 寺島茂 , TERASHIMA, SHIGERU , 前田敏宏 , MAEDA, TOSHIHIRO , 米川雅見 , YONEKAWA, MASAMI , 江本圭司 , EMOTO, KEIJI , 中川一樹 , NAKAGAWA, KAZUKI
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/38 , H01L21/027
CPC分类号： B29C33/72 , B29C59/02 , H01L21/027 , H01L21/304
摘要：壓印裝置，係使模具與基板上的壓印材接觸的狀態下使該壓印材固化從而在該基板上形成圖案。壓印裝置，係具備：具有保持基板的基板保持區域的基板夾具、以包圍被透過前述基板夾具而保持的基板之側面的方式而配置的周邊構材、就使用包含帶電部的清潔構材而清潔前述周邊構材的至少一部分的區域的清潔處理進行控制的控制部。前述清潔處理，係包含在使前述帶電部與前述周邊構材的至少一部分的區域對向的狀態下使前述清潔構材相對於前述周邊構材而相對移動從而使前述區域的顆粒吸附於前述帶電部的動作。
简体摘要：压印设备，系使模具与基板上的压印材接触的状态下使该压印材固化从而在该基板上形成图案。压印设备，系具备：具有保持基板的基板保持区域的基板夹具、以包围被透过前述基板夹具而保持的基板之侧面的方式而配置的周边构材、就使用包含带电部的清洁构材而清洁前述周边构材的至少一部分的区域的清洁处理进行控制的控制部。前述清洁处理，系包含在使前述带电部与前述周边构材的至少一部分的区域对向的状态下使前述清洁构材相对于前述周边构材而相对移动从而使前述区域的颗粒吸附于前述带电部的动作。

3. 发明专利

TWI680050B 壓印裝置及其動作方法以及物品製造方法有权
简体标题：压印设备及其动作方法以及物品制造方法
公开(公告)号：TWI680050B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW106105959
申请日：2017-02-22
申请人：日商佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：松岡洋一 , MATSUOKA, YOICHI , 山本磨人 , YAMAMOTO, KIYOHITO , 東尚史 , AZUMA, HISANOBU , 寺島茂 , TERASHIMA, SHIGERU , 前田敏宏 , MAEDA, TOSHIHIRO , 米川雅見 , YONEKAWA, MASAMI , 江本圭司 , EMOTO, KEIJI , 中川一樹 , NAKAGAWA, KAZUKI
IPC分类号： B29C59/02 , B29C33/38 , H01L21/027

4. 发明专利

TW201737310A 壓印設備、壓印方法、用於製造物品的方法、以及模具审中-公开
简体标题：压印设备、压印方法、用于制造物品的方法、以及模具
公开(公告)号：TW201737310A
公开(公告)日：2017-10-16
申请号：TW106109759
申请日：2017-03-23
申请人：佳能股份有限公司 , CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人：林達也 , HAYASHI, TATSUYA , 中川一樹 , NAKAGAWA, KAZUKI , 村上洋介 , MURAKAMI, YOSUKE
IPC分类号： H01L21/027 , B29C59/02 , G03F7/20
CPC分类号： B29C43/52 , B29C43/021 , B29K2905/08 , G03F7/0002
摘要：一種壓印設備，用於藉由使用包括圖案化部分的模具而在基板的處理區域上形成壓印材料的圖案，該壓印設備包括加熱單元。加熱單元加熱基板，使得處理區域與圖案化部分之間的形狀差減小，以及加熱模具，使得模具與被加熱的基板之間的溫度差減小。
简体摘要：一种压印设备，用于借由使用包括图案化部分的模具而在基板的处理区域上形成压印材料的图案，该压印设备包括加热单元。加热单元加热基板，使得处理区域与图案化部分之间的形状差减小，以及加热模具，使得模具与被加热的基板之间的温度差减小。

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