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1. 发明专利

TWI603399B 電漿處理裝置用冷卻器裝置有权
简体标题：等离子处理设备用冷却器设备
公开(公告)号：TWI603399B
公开(公告)日：2017-10-21
申请号：TW105118590
申请日：2016-06-14
申请人：伸和控制工業股份有限公司 , SHINWA CONTROLS CO., LTD.
发明人：関篤史 , SEKI, ATSUSHI , 坂井清一郎 , SAKAI, SEIICHIRO
IPC分类号： H01L21/3065 , C23C16/46 , F25B1/00
CPC分类号： F25B49/02 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C16/4411 , C23C16/463 , F25B1/00 , F25B39/00 , F25B39/024 , F25B2400/01 , F25B2600/0253 , F25B2700/21151 , F25B2700/21152 , F25B2700/2117 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J37/32935 , H01J37/3299 , H01J2237/2001 , H01J2237/3344 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L21/67248

2. 发明专利

TW201717275A 電漿處理裝置用冷卻器裝置审中-公开
简体标题：等离子处理设备用冷却器设备
公开(公告)号：TW201717275A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105118590
申请日：2016-06-14
申请人：伸和控制工業股份有限公司 , SHINWA CONTROLS CO., LTD.
发明人：関篤史 , SEKI, ATSUSHI , 坂井清一郎 , SAKAI, SEIICHIRO
IPC分类号： H01L21/3065 , C23C16/46 , F25B1/00
CPC分类号： F25B49/02 , C23C14/24 , C23C14/541 , C23C16/4411 , C23C16/463 , F25B1/00 , F25B39/00 , F25B39/024 , F25B2400/01 , F25B2600/0253 , F25B2700/21151 , F25B2700/21152 , F25B2700/2117 , H01J37/32522 , H01J37/32724 , H01J37/32935 , H01J37/3299 , H01J2237/2001 , H01J2237/3344 , H01L21/3065 , H01L21/67069 , H01L21/67109 , H01L21/67248
摘要：提供一種電漿處理裝置用冷卻器裝置，即使加工對象亦即作為電漿處理裝置中的目標之試料的表面積大，而兼作為試料台之下部電極為大型，仍保精度良好地做保溫控制，能夠將試料以要求之精度予以均一地蝕刻。該冷卻器裝置中，於套用在和具備了加熱裝置的冷媒循環連接之電漿處理裝置(400)的構成中，在兼作為當試料(404)的表面積大的情形下和其相對應之大型的試料台之下部電極(403)，附設有能夠將冷媒流路分歧而和冷媒循環以相連之方式連接之下部電極冷媒管的對於下部電極(403)之保溫部，針對從設置於保溫部的冷媒流路鄰近之溫度感測器檢測出的下部電極冷媒管冷媒檢測溫度，控制裝置將基於做包含比例、積分、微分在內之PID演算的結果而生成之加熱調整控制訊號傳輸給加熱裝置，以進行反饋控制而使得下部電極冷媒管冷媒檢測溫度成為設定溫度。
简体摘要：提供一种等离子处理设备用冷却器设备，即使加工对象亦即作为等离子处理设备中的目标之试料的表面积大，而兼作为试料台之下部电极为大型，仍保精度良好地做保温控制，能够将试料以要求之精度予以均一地蚀刻。该冷却器设备中，于套用在和具备了加热设备的冷媒循环连接之等离子处理设备(400)的构成中，在兼作为当试料(404)的表面积大的情形下和其相对应之大型的试料台之下部电极(403)，附设有能够将冷媒流路分歧而和冷媒循环以相连之方式连接之下部电极冷媒管的对于下部电极(403)之保温部，针对从设置于保温部的冷媒流路邻近之温度传感器检测出的下部电极冷媒管冷媒检测温度，控制设备将基于做包含比例、积分、微分在内之PID演算的结果而生成之加热调整控制信号传输给加热设备，以进行反馈控制而使得下部电极冷媒管冷媒检测温度成为设置温度。

3. 发明专利

TW201903334A 狀態監視裝置、狀態監視方法及程式审中-公开
简体标题：状态监视设备、状态监视方法及进程
公开(公告)号：TW201903334A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW107118597
申请日：2018-05-31
申请人：日商伸和控制工業股份有限公司 , SHINWA CONTROLS CO., LTD.
发明人：坂井清一郎 , SAKAI, SEIICHIRO , 猶原康宏 , NAOHARA, YASUHIRO
IPC分类号： F24F11/30 , F24F11/89
摘要：本發明之課題在於有效率且高精度地判定連續檢測之資訊之異常或異常之前兆。本發明之狀態監視裝置具備：資訊取得部，其取得連續檢測之檢測資訊；圖像資料產生部，其於每個特定之時間間隔以訊框F劃分檢測資訊，將橫軸作為時間軸，縱軸作為表示檢測資訊之大小或量之軸，且以訊框F單位產生表示訊框F內之複數個檢測資訊之分佈之二維圖像資料；及狀態檢測部，其執行基於依序產生之二維圖像資料之機械學習，產生用以判定二維圖像資料是否為顯示異常或異常之前兆者之正解標籤，且於產生相符於正解標籤之二維圖像資料時判定為發生異常或異常之前兆。
简体摘要：本发明之课题在于有效率且高精度地判定连续检测之信息之异常或异常之前兆。本发明之状态监视设备具备：信息取得部，其取得连续检测之检测信息；图像数据产生部，其于每个特定之时间间隔以讯框F划分检测信息，将横轴作为时间轴，纵轴作为表示检测信息之大小或量之轴，且以讯框F单位产生表示讯框F内之复数个检测信息之分布之二维图像数据；及状态检测部，其运行基于依序产生之二维图像数据之机械学习，产生用以判定二维图像数据是否为显示异常或异常之前兆者之正解标签，且于产生相符于正解标签之二维图像数据时判定为发生异常或异常之前兆。

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