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    • 3. 实用新型
    • 半圓對接式光罩 PHOTOMASK WITH HALF-CIRCLE JOINTING PORTION
    • 半圆对接式光罩 PHOTOMASK WITH HALF-CIRCLE JOINTING PORTION
    • TWM442529U
    • 2012-12-01
    • TW101210243
    • 2012-05-29
    • 中美矽晶製品股份有限公司中美藍晶股份有限公司
    • 陳宗銘曾柏翔彭俊彥徐文慶
    • G03F
    • 一種用於步進曝光製程的半圓對接式光罩,其具有第一對邊與第二對邊。該半圓對接式光罩包括:多個第一邊緣圖案、多個第二邊緣圖案以及多個內部圖案。第一邊緣圖案配置於第一對邊上。第二邊緣圖案配置於第二對邊上。內部圖案配置於第一與第二邊緣圖案所環繞的區域內。該半圓對接式光罩的特徵在於:沿第一對邊之延伸方向的內部圖案之間距小於等於沿第二對邊之延伸方向的內部圖案之間距,且,內部圖案中與第二邊緣圖案相鄰者,相對於其餘內部圖案的尺寸,具有大於0至25%的縮小率。
    • 一种用于步进曝光制程的半圆对接式光罩,其具有第一对边与第二对边。该半圆对接式光罩包括:多个第一边缘图案、多个第二边缘图案以及多个内部图案。第一边缘图案配置于第一对边上。第二边缘图案配置于第二对边上。内部图案配置于第一与第二边缘图案所环绕的区域内。该半圆对接式光罩的特征在于:沿第一对边之延伸方向的内部图案之间距小于等于沿第二对边之延伸方向的内部图案之间距,且,内部图案中与第二边缘图案相邻者,相对于其余内部图案的尺寸,具有大于0至25%的缩小率。