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1. 发明专利

TW528796B 鈰基研磨材料及鈰基研磨材料之評價方法失效
简体标题：铈基研磨材料及铈基研磨材料之评价方法
公开(公告)号：TW528796B
公开(公告)日：2003-04-21
申请号：TW090129098
申请日：2001-11-23
申请人：三井金屬業股份有限公司
发明人：山崎秀彥 , 內野義嗣 , 高橋和明
IPC分类号： C09K , C01F , B24B , G01N
CPC分类号： B24D3/346 , C01F17/00 , C01F17/0043 , C01P2002/54 , C01P2002/72 , C01P2002/77 , C01P2002/78 , C09G1/02 , C09K3/1409 , G01N23/20
摘要：本發明之目的係提供一種切削性更好的鈰基研磨材料而能夠形成高精度的研磨面。以及，提供一種比較簡易的鈰基研磨材料評價方法。為解決上述問題，在含有40重量%以上(全稀土類氧化物比)的氧化鈰的鈰基研磨材料中，包括相對於鈰基研磨材料重量而以原子重量換算氟元素0.5~10重量，同時地含有經由粉末X光繞射法所測定的晶格常數係0.544~0.560nm範圍的結晶的研磨粒子。還有，該鈰基研磨材料評價方法係包括根據由粉末X光繞射法來分析評價對象的鈰基研磨材料，在顯示既定的4個範圍的各區域的最大尖峰之中，至少求得1個最大尖峰的繞射角(θ)，經由此而計算構成研磨粒子的結晶的晶格常數之過程。
简体摘要：本发明之目的系提供一种切削性更好的铈基研磨材料而能够形成高精度的研磨面。以及，提供一种比较简易的铈基研磨材料评价方法。为解决上述问题，在含有40重量%以上(全稀土类氧化物比)的氧化铈的铈基研磨材料中，包括相对于铈基研磨材料重量而以原子重量换算氟元素0.5~10重量，同时地含有经由粉末X光绕射法所测定的晶格常数系0.544~0.560nm范围的结晶的研磨粒子。还有，该铈基研磨材料评价方法系包括根据由粉末X光绕射法来分析评价对象的铈基研磨材料，在显示既定的4个范围的各区域的最大尖峰之中，至少求得1个最大尖峰的绕射角(θ)，经由此而计算构成研磨粒子的结晶的晶格常数之过程。

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