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热词
    • 4. 发明专利
    • 蝕刻方法
    • 蚀刻方法
    • TW201617481A
    • 2016-05-16
    • TW105103496
    • 2011-12-07
    • MEC股份有限公司MEC COMPANY LTD.
    • 石田輝和ISHIDA, TERUKAZU出口友香里DEGUCHI, YUKARI佐藤未菜SATO, MINA
    • C23F1/02C23F1/18C23F1/34C09K13/00H01L21/3213H05K3/06
    • 本發明提供一種用於蝕刻同時存在有金屬氧化物層和銅層的被處理物,而可以選擇性地蝕刻前述銅層的蝕刻劑及使用前述蝕刻劑的蝕刻方法。 一種蝕刻劑,其係用於蝕刻同時存在有金屬氧化物層和銅層的被處理物,而選擇性地蝕刻前述銅層之蝕刻液,其中前述金屬氧化物層為包含選自Zn、Sn、Al、In以及Ga中的1種以上金屬的氧化物,前述蝕刻劑的特徵在於:其係由包括以銅離子計為0.1~3.0重量%的銅(II)離子源;0.1~30.0重量%的碳數為6以下的有機酸;以及0.1~30.0重量%的含氮化合物的水溶液所構成,其中前含氮化合物為選自由在環內具有2個以上氮原子的雜環化合物以及碳數為8以下的含胺基化合物所構成的群中的1種以上,其pH為5.0~10.5。
    • 本发明提供一种用于蚀刻同时存在有金属氧化物层和铜层的被处理物,而可以选择性地蚀刻前述铜层的蚀刻剂及使用前述蚀刻剂的蚀刻方法。 一种蚀刻剂,其系用于蚀刻同时存在有金属氧化物层和铜层的被处理物,而选择性地蚀刻前述铜层之蚀刻液,其中前述金属氧化物层为包含选自Zn、Sn、Al、In以及Ga中的1种以上金属的氧化物,前述蚀刻剂的特征在于:其系由包括以铜离子计为0.1~3.0重量%的铜(II)离子源;0.1~30.0重量%的碳数为6以下的有机酸;以及0.1~30.0重量%的含氮化合物的水溶液所构成,其中前含氮化合物为选自由在环内具有2个以上氮原子的杂环化合物以及碳数为8以下的含胺基化合物所构成的群中的1种以上,其pH为5.0~10.5。
    • 10. 发明专利
    • 印刷配線板之製造方法及表面處理裝置
    • 印刷配线板之制造方法及表面处理设备
    • TW201419972A
    • 2014-05-16
    • TW102120290
    • 2013-06-07
    • MEC股份有限公司MEC COMPANY LTD.
    • 網谷康孝AMITANI, YASUTAKA松本啟佑MATSUMOTO, KEISUKE漆畑薰URUSHIBATA, KAORU
    • H05K3/46
    • C23F1/18C23F1/08H05K3/0035H05K3/0085H05K2203/075H05K2203/0789H05K2203/1476H05K2203/1509H05K2203/1545
    • 本發明提供一種印刷配線板之製造方法,其在進行水平搬送之際,不僅能抑制因搬送損傷起因造成之孔徑不一,更能減低雷射加工能源之用量,及提供一種使用該製造方法之表面處理裝置。本發明之印刷配線板之製造方法係包含以下步驟:對印刷配線板製造用積層板(10)之表層的銅層(3)表面進行前處理步驟,及對經前述前處理步驟後的銅層(3)表面進行雷射光照射以形成孔洞之雷射加工步驟。前述前處理步驟具有以下步驟:在含氧環境下使銅層(3)表面與水溶液A接觸之第一表面處理步驟,及使經過前述第一表面處理步驟後的銅層(3)表面與水溶液B接觸之第二表面處理步驟。本發明中,於前述第二表面處理步驟中,係於不供給氧之下使銅層(3)表面與水溶液B接觸。
    • 本发明提供一种印刷配线板之制造方法,其在进行水平搬送之际,不仅能抑制因搬送损伤起因造成之孔径不一,更能减低激光加工能源之用量,及提供一种使用该制造方法之表面处理设备。本发明之印刷配线板之制造方法系包含以下步骤:对印刷配线板制造用积层板(10)之表层的铜层(3)表面进行前处理步骤,及对经前述前处理步骤后的铜层(3)表面进行激光光照射以形成孔洞之激光加工步骤。前述前处理步骤具有以下步骤:在含氧环境下使铜层(3)表面与水溶液A接触之第一表面处理步骤,及使经过前述第一表面处理步骤后的铜层(3)表面与水溶液B接触之第二表面处理步骤。本发明中,于前述第二表面处理步骤中,系于不供给氧之下使铜层(3)表面与水溶液B接触。