专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW202030803A 塗佈裝置及塗佈方法审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW202030803A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108132451
申请日：2019-09-09
申请人：日商龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：五十川良則 , IKAGAWA, YOSHINORI
IPC分类号： H01L21/368 , B05C5/02 , B05C15/00 , B05D1/26 , B05D3/12 , C30B7/02 , H01L21/208
摘要：塗佈裝置具備有：處理室；噴嘴，其於該處理室內一面沿塗佈對象面相對移動一面將結晶材料之溶液塗佈於該塗佈對象面；內壓調整部，其調整處理室之內部壓力；及控制部。並且，於噴嘴進行溶液之塗佈之情況下，控制部以內壓調整部調整處理室的內部壓力，藉此依序使塗佈至塗佈對象面的溶液乾燥而使結晶材料結晶生長。
简体摘要：涂布设备具备有：处理室；喷嘴，其于该处理室内一面沿涂布对象面相对移动一面将结晶材料之溶液涂布于该涂布对象面；内压调整部，其调整处理室之内部压力；及控制部。并且，于喷嘴进行溶液之涂布之情况下，控制部以内压调整部调整处理室的内部压力，借此依序使涂布至涂布对象面的溶液干燥而使结晶材料结晶生长。

2. 发明专利

TW201828400A 貼合裝置审中-公开
简体标题：贴合设备
公开(公告)号：TW201828400A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106140745
申请日：2017-11-23
申请人：日商龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：田邊雅明 , TANABE, MASAAKI
IPC分类号： H01L21/683
摘要：貼合裝置具備有第1夾持部1A、第2夾持部1B、第1基座部21A、第2基座部21B、第1浮動機構3A。第1夾持部1A及第2夾持部1B係各自具有吸著貼合對象之吸著面之一對夾持部，其使彼此之吸著面11a及11b對向配置。第1基座部21A及第2基座部21B係分別支撐第1夾持部1A及第2夾持部1B。第1浮動機構3A係對第1夾持部1A之背面12a施加氣壓而使第1夾持部1A自第1基座部21A浮動，藉此，使第1夾持部1A之吸著面11a朝第2夾持部1B之吸著面11b側移動。
简体摘要：贴合设备具备有第1夹持部1A、第2夹持部1B、第1基座部21A、第2基座部21B、第1浮动机构3A。第1夹持部1A及第2夹持部1B系各自具有吸着贴合对象之吸着面之一对夹持部，其使彼此之吸着面11a及11b对向配置。第1基座部21A及第2基座部21B系分别支撑第1夹持部1A及第2夹持部1B。第1浮动机构3A系对第1夹持部1A之背面12a施加气压而使第1夹持部1A自第1基座部21A浮动，借此，使第1夹持部1A之吸着面11a朝第2夹持部1B之吸着面11b侧移动。

3. 发明专利

TWI653501B 防塵薄膜組件製造裝置有权
简体标题：防尘薄膜组件制造设备
公开(公告)号：TWI653501B
公开(公告)日：2019-03-11
申请号：TW104116500
申请日：2015-05-22
申请人：日商三井化學股份有限公司 , MITSUI CHEMICALS, INC. , 日商龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：高村一夫 , KOHMURA, KAZUO , 小野陽介 , ONO, YOSUKE , 種市大樹 , TANEICHI, DAIKI , 佐藤泰之 , SATO, YASUYUKI , 廣田俊明 , HIROTA, TOSHIAKI
IPC分类号： G03F1/62 , G03F1/24

4. 发明专利

TW201828393A 對準機構、夾持裝置及貼合裝置审中-公开
简体标题：对准机构、夹持设备及贴合设备
公开(公告)号：TW201828393A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106140746
申请日：2017-11-23
申请人：日商龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：田邊雅明 , TANABE, MASAAKI , 才野耕作 , SAINO, KOSAKU
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/687
摘要：本發明之對準機構具備有具有第1旋轉軸61c之旋轉部61、3個動力傳遞機構62、及3個對準作用部63。各動力傳遞機構62具備有第1臂621及第2臂622。第1臂621具有被軸支於3個不同之位置P11~P13中對應之位置之第1端部621a、及位於與該第1端部621a之相反側之第2端部621b。第2臂622具有第2旋轉軸622c，且於與該第2旋轉軸622c不同之位置被軸支於第1臂621之第2端部621b。各對準作用部63係連結於對應之第2臂，第2旋轉軸622c係配置於朝以第1旋轉軸61c為中心之不同之3個方向離開旋轉部61之3個位置P21~P23。
简体摘要：本发明之对准机构具备有具有第1旋转轴61c之旋转部61、3个动力传递机构62、及3个对准作用部63。各动力传递机构62具备有第1臂621及第2臂622。第1臂621具有被轴支于3个不同之位置P11~P13中对应之位置之第1端部621a、及位于与该第1端部621a之相反侧之第2端部621b。第2臂622具有第2旋转轴622c，且于与该第2旋转轴622c不同之位置被轴支于第1臂621之第2端部621b。各对准作用部63系链接于对应之第2臂，第2旋转轴622c系配置于朝以第1旋转轴61c为中心之不同之3个方向离开旋转部61之3个位置P21~P23。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式