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1. 发明专利

TW201828393A 對準機構、夾持裝置及貼合裝置审中-公开
简体标题：对准机构、夹持设备及贴合设备
公开(公告)号：TW201828393A
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：TW106140746
申请日：2017-11-23
申请人：日商龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：田邊雅明 , TANABE, MASAAKI , 才野耕作 , SAINO, KOSAKU
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/687
摘要：本發明之對準機構具備有具有第1旋轉軸61c之旋轉部61、3個動力傳遞機構62、及3個對準作用部63。各動力傳遞機構62具備有第1臂621及第2臂622。第1臂621具有被軸支於3個不同之位置P11~P13中對應之位置之第1端部621a、及位於與該第1端部621a之相反側之第2端部621b。第2臂622具有第2旋轉軸622c，且於與該第2旋轉軸622c不同之位置被軸支於第1臂621之第2端部621b。各對準作用部63係連結於對應之第2臂，第2旋轉軸622c係配置於朝以第1旋轉軸61c為中心之不同之3個方向離開旋轉部61之3個位置P21~P23。
简体摘要：本发明之对准机构具备有具有第1旋转轴61c之旋转部61、3个动力传递机构62、及3个对准作用部63。各动力传递机构62具备有第1臂621及第2臂622。第1臂621具有被轴支于3个不同之位置P11~P13中对应之位置之第1端部621a、及位于与该第1端部621a之相反侧之第2端部621b。第2臂622具有第2旋转轴622c，且于与该第2旋转轴622c不同之位置被轴支于第1臂621之第2端部621b。各对准作用部63系链接于对应之第2臂，第2旋转轴622c系配置于朝以第1旋转轴61c为中心之不同之3个方向离开旋转部61之3个位置P21~P23。

2. 发明专利

TWI487062B 加壓圓板、貼合裝置及貼合方法有权
简体标题：加压圆板、贴合设备及贴合方法
公开(公告)号：TWI487062B
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW101141271
申请日：2012-11-07
申请人：龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：廣田俊明 , HIROTA, TOSHIAKI , 才野耕作 , SAINO, KOSAKU , 田邊充 , TANABE, MITSURU
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/02 , H01L21/304 , B32B37/12
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67092

3. 发明专利

TW201341194A 貼合裝置及貼合方法审中-公开
简体标题：贴合设备及贴合方法
公开(公告)号：TW201341194A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW101145402
申请日：2012-12-04
申请人：龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：才野耕作 , SAINO, KOSAKU , 田邊充 , TANABE, MITSURU
IPC分类号： B32B37/12 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67092 , H01L21/68
摘要：本發明係藉由低價之裝置構成而改善貼合後之積層體之總厚度的面內變化量。在支撐於平台(50)上且上表面均勻地塗佈有接著劑之第1圓板(W1)之上方，來對向保持已完成中心對準之第2圓板(W2)，並藉由完成與第1圓板(W1)及第2圓板(W2)中心對準之加壓圓板(60)以均等之力對第2圓板(W2)之上表面加壓而使第1圓板(W1)及第2圓板(W2)產生貼合，從而製作圓板積層體。加壓圓板(60)之直徑尺寸係設定為可實現圓板積層體之半徑方向之厚度輪廓(profile)中所觀察到之凹凸形狀模式之最佳化的尺寸。
简体摘要：本发明系借由低价之设备构成而改善贴合后之积层体之总厚度的面内变化量。在支撑于平台(50)上且上表面均匀地涂布有接着剂之第1圆板(W1)之上方，来对向保持已完成中心对准之第2圆板(W2)，并借由完成与第1圆板(W1)及第2圆板(W2)中心对准之加压圆板(60)以均等之力对第2圆板(W2)之上表面加压而使第1圆板(W1)及第2圆板(W2)产生贴合，从而制作圆板积层体。加压圆板(60)之直径尺寸系设置为可实现圆板积层体之半径方向之厚度轮廓(profile)中所观察到之凹凸形状模式之最优化的尺寸。

4. 发明专利

TWI503232B 貼合裝置及貼合方法有权
简体标题：贴合设备及贴合方法
公开(公告)号：TWI503232B
公开(公告)日：2015-10-11
申请号：TW101145402
申请日：2012-12-04
申请人：龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：才野耕作 , SAINO, KOSAKU , 田邊充 , TANABE, MITSURU
IPC分类号： B32B37/12 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67092 , H01L21/68

5. 发明专利

TW201341193A 加壓圓板、貼合裝置及貼合方法审中-公开
简体标题：加压圆板、贴合设备及贴合方法
公开(公告)号：TW201341193A
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：TW101141271
申请日：2012-11-07
申请人：龍雲股份有限公司 , TAZMO CO., LTD.
发明人：廣田俊明 , HIROTA, TOSHIAKI , 才野耕作 , SAINO, KOSAKU , 田邊充 , TANABE, MITSURU
IPC分类号： B32B37/12 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67092
摘要：本發明係即便於一圓板之側面之一個部位存在角度對準用之凹口亦可抑制於將2片圓板貼合後之圓板積層體之圓周方向上之厚度分佈中產生不均衡。於支持於平台(50)上且於上表面均勻地塗佈有接著劑之第1圓板(W1)之上方對向保持側面形成有角度對準用凹口(N)之第2圓板(W2)，藉由與第1圓板(W1)及第2圓板(W2)中心對準之加壓圓板(60)以均等之力對第2圓板(W2)之上表面進行加壓而使第1圓板(W1)及第2圓板(W2)貼合，從而製作圓板積層體。於加壓圓板(60)之側面，與第2圓板(W2)之凹口(N)相對應地形成有突起部(61)，該突起部(61)係設定為與加壓圓板(60)之下表面為同一平面。
简体摘要：本发明系即便于一圆板之侧面之一个部位存在角度对准用之凹口亦可抑制于将2片圆板贴合后之圆板积层体之圆周方向上之厚度分布中产生不均衡。于支持于平台(50)上且于上表面均匀地涂布有接着剂之第1圆板(W1)之上方对向保持侧面形成有角度对准用凹口(N)之第2圆板(W2)，借由与第1圆板(W1)及第2圆板(W2)中心对准之加压圆板(60)以均等之力对第2圆板(W2)之上表面进行加压而使第1圆板(W1)及第2圆板(W2)贴合，从而制作圆板积层体。于加压圆板(60)之侧面，与第2圆板(W2)之凹口(N)相对应地形成有突起部(61)，该突起部(61)系设置为与加压圆板(60)之下表面为同一平面。

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