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    • 2. 发明专利
    • 測試裝置 TEST DEVICE
    • 测试设备 TEST DEVICE
    • TWI314214B
    • 2009-09-01
    • TW095114678
    • 2006-04-25
    • 愛德萬測試股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION
    • 長谷川崇 HASEGAWA, TAKASHI
    • G01R
    • G01R31/31922
    • 一種測試裝置,包括;第1時序比較器,藉由第1選通信號取得DUT的輸出信號;第2時序比較器,藉由使第1選通信號延遲之第2選通信號取得DUT的輸出信號;先行邊緣判定電路,判定上升信號及下降信號之哪一個較先到達時序比較器;邊緣檢測電路,為了藉由第1及第2時序比較器取得較先到達之信號及較後到達之信號而調整延遲量;及閘與或閘,輸入第1及第2時序比較器的輸出;比較結果選擇電路,根據上升信號及下降信號之哪一個較先到達,選擇及閘或或閘的輸出。
    • 一种测试设备,包括;第1时序比较器,借由第1选通信号取得DUT的输出信号;第2时序比较器,借由使第1选通信号延迟之第2选通信号取得DUT的输出信号;先行边缘判定电路,判定上升信号及下降信号之哪一个较先到达时序比较器;边缘检测电路,为了借由第1及第2时序比较器取得较先到达之信号及较后到达之信号而调整延迟量;及闸与或闸,输入第1及第2时序比较器的输出;比较结果选择电路,根据上升信号及下降信号之哪一个较先到达,选择及闸或或闸的输出。
    • 4. 发明专利
    • 電子元件以及診斷裝置 ELECTRONIC DEVICE AND DIAGNOSIS APPARATUS
    • 电子组件以及诊断设备 ELECTRONIC DEVICE AND DIAGNOSIS APPARATUS
    • TW200921125A
    • 2009-05-16
    • TW097132779
    • 2008-08-27
    • 愛德萬測試股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION
    • 秦真彥 HATA, MASAHIKO
    • G01R
    • G01R31/31721G01R31/3016
    • 本發明的目的是提供一種電子元件以及診斷裝置。本發明的電子元件包括:多個電路,其與時脈信號同步地進行動作;多個正反器,其與時脈信號同步地取得從多個電路所輸出的信號的數據値,並保持到下一時脈信號的輸入為止,在對禁止終端賦予信號的情況下,該些多個正反器成為持續保持所取得的數據値之時脈禁止狀態;時序控制部,其對多個正反器的各個禁止終端,在應診斷電路的時序中使保持信號輸出;以及多條診斷用配線,其與多個正反器分別對應而設置,並將對應的正反器所保持的數據値作為診斷用數據而輸出。
    • 本发明的目的是提供一种电子组件以及诊断设备。本发明的电子组件包括:多个电路,其与时脉信号同步地进行动作;多个正反器,其与时脉信号同步地取得从多个电路所输出的信号的数据値,并保持到下一时脉信号的输入为止,在对禁止终端赋予信号的情况下,该些多个正反器成为持续保持所取得的数据値之时脉禁止状态;时序控制部,其对多个正反器的各个禁止终端,在应诊断电路的时序中使保持信号输出;以及多条诊断用配线,其与多个正反器分别对应而设置,并将对应的正反器所保持的数据値作为诊断用数据而输出。
    • 9. 发明专利
    • 測試裝置以及傳送裝置 TESTING DEVICE AND TRANSMITTING DEVICE
    • 测试设备以及发送设备 TESTING DEVICE AND TRANSMITTING DEVICE
    • TW200912349A
    • 2009-03-16
    • TW097126164
    • 2008-07-10
    • 愛德萬測試股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION
    • 篠島圭 SASAJIMA, KEI
    • G01R
    • G01R31/3193G01R31/31922G01R31/31924
    • 一種測試裝置,包括測試信號產生部、主驅動部、複製驅動部、電阻分壓部、比較部、判定部與調整部。測試信號產生部產生測試信號。主驅動部輸出輸出電壓至與被測試元件連接的輸入輸出接腳。複製驅動部輸出對應測試信號的比較電壓。電阻分壓部產生對比較電壓進行電阻分壓後所得的分壓電壓。比較部比較輸入輸出接腳的電壓與分壓電壓。判定部根據比較部的比較結果來判定被測試元件是否優良。在主驅動部輸出輸出電壓且被測試元件的信號輸入輸出端子未輸出響應信號的狀態下,調整部使分壓電壓相同於輸入輸出接腳的電壓加上臨界電壓所得的電壓。
    • 一种测试设备,包括测试信号产生部、主驱动部、复制驱动部、电阻分压部、比较部、判定部与调整部。测试信号产生部产生测试信号。主驱动部输出输出电压至与被测试组件连接的输入输出接脚。复制驱动部输出对应测试信号的比较电压。电阻分压部产生对比较电压进行电阻分压后所得的分压电压。比较部比较输入输出接脚的电压与分压电压。判定部根据比较部的比较结果来判定被测试组件是否优良。在主驱动部输出输出电压且被测试组件的信号输入输出端子未输出响应信号的状态下,调整部使分压电压相同于输入输出接脚的电压加上临界电压所得的电压。
    • 10. 发明专利
    • 荷電粒子線檢查裝置及荷電粒子線檢查方法
    • 荷电粒子线检查设备及荷电粒子线检查方法
    • TW200912295A
    • 2009-03-16
    • TW097120235
    • 2008-05-30
    • 愛德萬測試股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION
    • 伊藤啓介 ITOU, KEISUKE岩井俊道 IWAI, TOSHIMICHI
    • G01NH01J
    • H01J37/28G01B15/00H01J37/20H01J37/266H01J2237/0041H01J2237/10
    • 本發明之課題係提供可輕易且在短時間進行試樣表面電位之穩定化,可以良好精確度測量試樣之電子束尺寸測量裝置及電子束尺寸測量方法。荷電粒子線檢查裝置包含有發射電子束之電子槍、使前述電子束聚焦之第1聚光透鏡及第2聚光透鏡、配置於前述第1聚光透鏡與第2聚光透鏡間之電子束控制板及控制部,該控制部係進行穩定化處理者,該穩定化處理係令供給至前述第1聚光透鏡及第2聚光透鏡之激磁電流為預定値,調整通過前述電子束控制板開口之電子束之電流量,令照射至試樣之電子束之電流量大於測量時,將該電子束照射至該試樣上預定時間。控制部於進行穩定化處理後,使供給至第1聚光透鏡及第2聚光透鏡之激磁電流回復至測量時之値,進行試樣之尺寸測量。
    • 本发明之课题系提供可轻易且在短时间进行试样表面电位之稳定化,可以良好精确度测量试样之电子束尺寸测量设备及电子束尺寸测量方法。荷电粒子线检查设备包含有发射电子束之电子枪、使前述电子束聚焦之第1聚光透镜及第2聚光透镜、配置于前述第1聚光透镜与第2聚光透镜间之电子束控制板及控制部,该控制部系进行稳定化处理者,该稳定化处理系令供给至前述第1聚光透镜及第2聚光透镜之激磁电流为预定値,调整通过前述电子束控制板开口之电子束之电流量,令照射至试样之电子束之电流量大于测量时,将该电子束照射至该试样上预定时间。控制部于进行稳定化处理后,使供给至第1聚光透镜及第2聚光透镜之激磁电流回复至测量时之値,进行试样之尺寸测量。