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    • 1. 发明专利
    • 繪圖資料取得方法與裝置以及繪圖方法與裝置 TRACING DATA ACQUIRING METHOD AND DEVICE AS WELL AS TRACING METHOD AND DEVICE
    • 绘图数据取得方法与设备以及绘图方法与设备 TRACING DATA ACQUIRING METHOD AND DEVICE AS WELL AS TRACING METHOD AND DEVICE
    • TW200723851A
    • 2007-06-16
    • TW095135542
    • 2006-09-26
    • 富士軟片股份有限公司 FUJI CORPORATION
    • 金城直人 KINJO, NAOTO
    • H04NB41J
    • G03F7/70291G03F7/70508
    • (課題)根據曝光點資料,藉曝光頭將曝光圖案曝光於基板之際,所採用之曝光點資料,因應於基板之變形等,從原影像資料取得之曝光點資料的取得方法上,設法縮短此曝光點資料之取得時間,進而提高生產效率。(解決手段)取得在原影像資料上對應曝光頭30之微鏡在基板12上之虛擬描繪軌跡資訊之多數虛擬曝光點資料軌跡之資訊,從原影像資料取得各個對應此虛擬曝光點資料軌跡之描繪資料(tracedata),並預先記存於樣板(templet)記憶部56a,當實際進行曝光之際,指定對應實際曝光時基板12上微鏡之曝光軌跡之資訊之多數虛擬曝光點資料軌跡資訊,將此指定之多數虛擬曝光點資料軌跡資訊所對應之描繪資料,作為實際之曝光軌跡資訊所對應之曝光點資料而取得。
    • (课题)根据曝光点数据,藉曝光头将曝光图案曝光于基板之际,所采用之曝光点数据,因应于基板之变形等,从原影像数据取得之曝光点数据的取得方法上,设法缩短此曝光点数据之取得时间,进而提高生产效率。(解决手段)取得在原影像数据上对应曝光头30之微镜在基板12上之虚拟描绘轨迹信息之多数虚拟曝光点数据轨迹之信息,从原影像数据取得各个对应此虚拟曝光点数据轨迹之描绘数据(tracedata),并预先记存于样板(templet)记忆部56a,当实际进行曝光之际,指定对应实际曝光时基板12上微镜之曝光轨迹之信息之多数虚拟曝光点数据轨迹信息,将此指定之多数虚拟曝光点数据轨迹信息所对应之描绘数据,作为实际之曝光轨迹信息所对应之曝光点数据而取得。