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    • 4. 发明专利
    • 屏蔽閘極溝槽式半導體裝置及其製造方法
    • 屏蔽闸极沟槽式半导体设备及其制造方法
    • TW201822295A
    • 2018-06-16
    • TW105141548
    • 2016-12-15
    • 力祥半導體股份有限公司UBIQ SEMICONDUCTOR CORP.
    • 陳勁甫CHEN, CHIN-FU
    • H01L21/76
    • 一種屏蔽閘極溝槽式半導體裝置,包括以下構件。基底結構具有多個第一溝槽與多個第二溝槽。第一溝槽沿第一方向延伸,第二溝槽沿第二方向延伸,且第一方向與第二方向相交。第一溝槽的深度大於第二溝槽的深度。第一下部電極分別設置於第一溝槽中。第一上部電極分別設置於第一溝槽中且位於第一下部電極上。第二下部電極分別設置於第二溝槽中。第二上部電極分別設置於第二溝槽中且位於第二下部電極上。第一下部電極、第一上部電極與基底結構彼此電性隔離。第二下部電極、第二上部電極與基底結構彼此電性隔離。
    • 一种屏蔽闸极沟槽式半导体设备,包括以下构件。基底结构具有多个第一沟槽与多个第二沟槽。第一沟槽沿第一方向延伸,第二沟槽沿第二方向延伸,且第一方向与第二方向相交。第一沟槽的深度大于第二沟槽的深度。第一下部电极分别设置于第一沟槽中。第一上部电极分别设置于第一沟槽中且位于第一下部电极上。第二下部电极分别设置于第二沟槽中。第二上部电极分别设置于第二沟槽中且位于第二下部电极上。第一下部电极、第一上部电极与基底结构彼此电性隔离。第二下部电极、第二上部电极与基底结构彼此电性隔离。
    • 8. 发明专利
    • 溝渠式閘極金氧半場效電晶體
    • 沟渠式闸极金氧半场效应管
    • TW201507154A
    • 2015-02-16
    • TW103137402
    • 2012-07-13
    • 力祥半導體股份有限公司UBIQ SEMICONDUCTOR CORP.
    • 詹前陵CHAN, CHIEN LING李祈祥LEE, CHI HSIANG
    • H01L29/772H01L29/78
    • 一種溝渠式閘極金氧半場效電晶體。磊晶層配置於基底上。主體層配置於磊晶層中。磊晶層中具有第一溝渠,主體層中具有第二溝渠,第一溝渠配置於第二溝渠下方,且第一溝渠的寬度小於第二溝渠的寬度。第一絕緣層配置於第一溝渠的表面上。第一導體層填滿第一溝渠且延伸至第二溝渠中。第二導體層填滿第二溝渠。第二絕緣層配置於第二導體層與主體層之間以及第二導體層與第一導體層之間。介電層配置於磊晶層上且覆蓋第二導體層。二摻雜區分別配置於第二溝渠之兩側的主體層中。
    • 一种沟渠式闸极金氧半场效应管。磊晶层配置于基底上。主体层配置于磊晶层中。磊晶层中具有第一沟渠,主体层中具有第二沟渠,第一沟渠配置于第二沟渠下方,且第一沟渠的宽度小于第二沟渠的宽度。第一绝缘层配置于第一沟渠的表面上。第一导体层填满第一沟渠且延伸至第二沟渠中。第二导体层填满第二沟渠。第二绝缘层配置于第二导体层与主体层之间以及第二导体层与第一导体层之间。介电层配置于磊晶层上且覆盖第二导体层。二掺杂区分别配置于第二沟渠之两侧的主体层中。