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    • 10. 发明专利
    • 氧化矽玻璃坩堝的製造方法 METHOD OF MANUFACTURING VITREOUS SILICA CRUCIBLE
    • 氧化硅玻璃坩埚的制造方法 METHOD OF MANUFACTURING VITREOUS SILICA CRUCIBLE
    • TW201229333A
    • 2012-07-16
    • TW100149381
    • 2011-12-28
    • 日本超精石英股份有限公司
    • 須藤俊明鈴木江梨子
    • C30BC03B
    • C03B19/095G01J5/0022Y02P40/57
    • 一種製造內表面的狀態(坩堝內表面特性)等得到適當控制的氧化矽玻璃坩堝的製造方法,在旋轉的模具(10)內,藉由多個碳電極(13)的電弧放電加熱熔化由氧化矽粉末構成的氧化矽粉層(11),製造氧化矽玻璃坩堝,包括:對於選自由氧化矽粉層(11)、熔化時發生的煙塵、以及因電弧放電而產生的電弧火焰組成的條件群組的一種以上,預先求出加熱熔化時的最佳溫度;對於已求出最佳溫度的選自上述群的一種以上,測量在加熱熔化時的實際溫度;以及溫度控制製程,對於已測量實際溫度的選自上述群的一種以上,控制實際溫度以成為最佳溫度。
    • 一种制造内表面的状态(坩埚内表面特性)等得到适当控制的氧化硅玻璃坩埚的制造方法,在旋转的模具(10)内,借由多个碳电极(13)的电弧放电加热熔化由氧化硅粉末构成的氧化硅粉层(11),制造氧化硅玻璃坩埚,包括:对于选自由氧化硅粉层(11)、熔化时发生的烟尘、以及因电弧放电而产生的电弧火焰组成的条件群组的一种以上,预先求出加热熔化时的最佳温度;对于已求出最佳温度的选自上述群的一种以上,测量在加热熔化时的实际温度;以及温度控制制程,对于已测量实际温度的选自上述群的一种以上,控制实际温度以成为最佳温度。