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81. 发明专利

TW201030880A 處理液供應單元、基板處理裝置及方法 UNIT FOR SUPPLYING TREATING LIQUID, AND APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING THE SAME 审中-公开
简体标题：处理液供应单元、基板处理设备及方法 UNIT FOR SUPPLYING TREATING LIQUID, AND APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING THE SAME
公开(公告)号：TW201030880A
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：TW098140153
申请日：2009-11-25
申请人：細美事有限公司
发明人：朴相旭 , 高在昇
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67103 , B05B9/002 , B05C11/1042 , G03F7/162 , H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/67109 , H01L21/6715 , H05B2203/032
摘要：本發明提供一種處理液供應單元,以及使用該單元的一種基板處理裝置及方法。無論是噴嘴臂在一待命位置待命時,或是在製程在一處理位置中執行時,或是在待命位置及處理位置移動中,透過一噴嘴臂與一等待區之間的熱傳遞,以及透過噴嘴臂與一噴嘴移動單元之間的熱傳遞,內建於噴嘴臂的一處理液管內的處理液可被維持在一預定的溫度。如此,藉由該處理液供應單元以及使用該單元的基板處理裝置及方法,一噴嘴所供應的處理液可被維持在一預定溫度。
简体摘要：本发明提供一种处理液供应单元,以及使用该单元的一种基板处理设备及方法。无论是喷嘴臂在一待命位置待命时,或是在制程在一处理位置中运行时,或是在待命位置及处理位置移动中,透过一喷嘴臂与一等待区之间的热传递,以及透过喷嘴臂与一喷嘴移动单元之间的热传递,内置于喷嘴臂的一处理液管内的处理液可被维持在一预定的温度。如此,借由该处理液供应单元以及使用该单元的基板处理设备及方法,一喷嘴所供应的处理液可被维持在一预定温度。

82. 发明专利

TW201016882A 用於低溫ＰＥＣＶＤ應用之基座加熱器 PEDESTAL HEATER FOR LOW TEMPERATURE PECVD APPLICATION 审中-公开
简体标题：用于低温ＰＥＣＶＤ应用之基座加热器 PEDESTAL HEATER FOR LOW TEMPERATURE PECVD APPLICATION
公开(公告)号：TW201016882A
公开(公告)日：2010-05-01
申请号：TW098121224
申请日：2009-06-24
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：周建華 , 葉立悠 , 斯科亞迪米奇 , 亞尤伯摩哈德 , 加納基拉曼卡希克 , 羅拉艾法瑞茲璜卡羅斯
IPC分类号： C23C
CPC分类号： C23C16/4586 , C23C16/46 , C23C16/52 , H01L21/67103 , H01L21/68792
摘要：提供一種用於提供功率給加熱支撐基座的方法和設備。在一實施例中，敘述一製程套組。該製程套組包含一空心軸，其由一導電材料製成，並在一端耦合至一基材支撐件，而在一相對端耦合至一基底組件，該基底組件適於耦合至一配置在一半導體處理工具上的功率箱。在一實施例中，該基底組件包含至少一暴露的電連接器，其配置在一由介電材料，例如，塑膠樹脂，製成的嵌件中。
简体摘要：提供一种用于提供功率给加热支撑基座的方法和设备。在一实施例中，叙述一制程套组。该制程套组包含一空心轴，其由一导电材料制成，并在一端耦合至一基材支撑件，而在一相对端耦合至一基底组件，该基底组件适于耦合至一配置在一半导体处理工具上的功率箱。在一实施例中，该基底组件包含至少一暴露的电连接器，其配置在一由介电材料，例如，塑胶树脂，制成的嵌件中。

83. 发明专利

TW201010493A 陶瓷加熱器及其製造方法與其形成薄膜之裝置 CERAMIC HEATER, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND APPARATUS FOR FORMING A THIN LAYER HAVING THE SAME 审中-公开
简体标题：陶瓷加热器及其制造方法与其形成薄膜之设备 CERAMIC HEATER, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND APPARATUS FOR FORMING A THIN LAYER HAVING THE SAME
公开(公告)号：TW201010493A
公开(公告)日：2010-03-01
申请号：TW098127758
申请日：2009-08-18
申请人：高美科股份有限公司
发明人：崔正德 , 李盛玟 , 崔鎮植
IPC分类号： H05B , C04B
CPC分类号： H05B3/143 , C23C16/4581 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01C7/043 , H01L21/67103 , Y10T29/49083
摘要：一種陶瓷加熱器、其製造方法及用以形成具有陶瓷加熱器的薄層的裝置。陶瓷加熱器包括一平板、一第一加熱層、一第二加熱層及一連接元件。第一加熱層及第二加熱層互相平行地設於平板內。連接元件包括具有負溫度係數的陶瓷材料並在溫度高於一預設目標溫度時電性連接第一加熱層與第二加熱層。
简体摘要：一种陶瓷加热器、其制造方法及用以形成具有陶瓷加热器的薄层的设备。陶瓷加热器包括一平板、一第一加热层、一第二加热层及一连接组件。第一加热层及第二加热层互相平行地设于平板内。连接组件包括具有负温度系数的陶瓷材料并在温度高于一默认目标温度时电性连接第一加热层与第二加热层。

84. 发明专利

TWI317156B 加熱元件 HEATING ELEMENT 失效
简体标题：加热组件 HEATING ELEMENT
公开(公告)号：TWI317156B
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：TW095128444
申请日：2006-08-03
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：木村昇 , 串橋卓馬
IPC分类号： H01L , H05B
CPC分类号： H01L21/67103 , H05B3/143
摘要：本發明之目的在提供一種加熱元件，其供電端子不會腐蝕，保護層壽命長，耐久性高，結構精簡而製造成本低廉。
本發明係一體成形所製成的加熱元件10，其具備一單體成形的耐熱性基材1，包含形成有加熱圖案3a的板狀部1a，與從板狀部1a一面突出並形成有導電路3b的棒狀部1b，以及位於棒狀部1b之與板狀部1a相反該端且形成有供電端子3c的尖端部1c；並在該耐熱性基材1表面上具備絶緣性之介電層2，且該介電層2上具備導電性之導電層3；而該導電層3，在該板狀部1a形成有加熱圖案3a，在該棒狀部1b形成有導電路3b，在該尖端部1c形成有供電端子3c；另該加熱圖案3a與該導電路3b的表面以絶緣性保護層4包覆。 This invention provides a heating element including feeder terminals free from corrosion, and protective layer having a long life and high durability. The heating element is compact and can be manufactured at a low cost. A heating element 10 is characterized by having an integrally formed heat－resistant base member 1 including a plate portion 1a formed with a heater pattern 3a, a rod－shaped portion 1b formed with a conductive path 3b projecting from one side of the plate portion 1a, and an end portion 1c which is connected to the rod－shaped portion 1b at the opposite end of the plate portion 1a and is formed with feeder terminal 3c. On the surface of the heat－resistant base member 1 is formed an insulative dielectric layer 2, on which is further formed an electrically conductive layer 3. The electrically conductive layer 3 includes the heater pattern 3a at the plate portion 1a, the conductive path 3b at the rod－shaped portion 1b, and the feeder terminal 3c at the end portion 1c. The aforementioned heater pattern 3a and the aforementioned conductive path 3b are integrally formed and covered, on their surfaces, with an insulative protection layer 4. 【創作特點】於是，本發明有鑑於上述問題點，目的在於提供一種加熱元件，其供電端子不會腐蝕，保護層壽命長，耐久性高，結構精簡而製造成本低廉。
為達成上述目的，本發明提供一種加熱元件，其係一體成形製成，至少具備一單體成形的耐熱性基材，其包含形成有加熱圖案的板狀部，與自該板狀部一面突出並形成有導電路的棒狀部，以及位於該棒狀部之與該板狀部相反的那一端且形成有供電端子的尖端部；並在該耐熱性基材表面上具備絶緣性之介電層，且在該介電層上具備導電性之導電層；而該導電層，在該板狀部形成有加熱圖案，在該棒狀部形成有導電路，在該尖端部形成有供電端子；另該加熱圖案與該導電路的表面以絶緣性保護層包覆(申請專利範圍第1項)。
若依如是之加熱元件，則由於在該板狀部上形成有該加熱圖案的加熱部，以及在該尖端部上形成有該供電端子的供電端子部二者，係利用形成有該導電路的棒狀部互相隔離開來，故可使供電端子部露出的供電端子不易因處理過程中的高溫氣體而消耗，使用壽命變長。
又，由於該耐熱性基材係一體成形之物，而非複數構件組合裝配而成，故結構精簡而製造成本低廉，且該耐熱性基材1所形成之夾層，不易因使用而產生裂縫，使用壽命長。
再者，由於該導電層係一成形，其如上所述形成了加熱圖案、導電路與供電端子，而該加熱圖案與該導電路的表面以保護層包覆，故結構簡單而製造成本低廉，且該保護層不易因使用而產生裂縫，使用壽命變長。
此時，該耐熱性基材的材質宜以石墨為佳(申請專利範圍第2項)，蓋耐熱性基材的材質若是石墨，則因材料價格便宜而容易加工複雜形狀，故可進一步降低製造成本，且耐熱性也強。
又，該介電層之材質宜以氮化硼、熱分解氮化硼、氮化矽、CVD(Chemical Vapor Deposition；化學氣相沉積)氮化矽、氮化鋁、CVD氮化鋁其中任一種，或是該等物質之組合者為佳(申請專利範圍第3項)。
如是若介電層之材質係氮化硼、熱分解氮化硼、氮化矽、CVD氮化矽、氮化鋁、CVD氮化鋁其中任一種，或是該等物質之組合者，則絶緣性高，即使在要求高溫下使用仍無雜質飛散之高純度的加熱處理過程中也能因應之。
再者，該導電層之材質宜以熱分解碳、玻璃碳為佳(申請專利範圍第4項)。
如是若導電層之材質係熱分解碳、玻璃碳者，則其可高溫加熱，且因加工容易而可使加熱圖案作蛇行圖案，並可藉改變幅度任意調整溫度變化率，且因應高熱環境使熱度分散而均熱化也變容易。
又，該保護層的材質宜使用氮化硼、熱分解氮化硼、氮化矽、CVD氮化矽、氮化鋁、CVD氮化鋁其中任一種，或是該等物質之組合者為佳(申請專利範圍第5項)。
如是若保護層的材質使用氮化硼、熱分解氮化硼、氮化矽、CVD氮化矽、氮化鋁、CVD氮化鋁其中任一種，或是該等物質之組合者，則絶緣性高，且可成為即使在要求高溫下使用仍無雜質飛散之高純度的加熱處理過程中也能因應的保護膜。
又，該保護層宜至少2層以上所構成，且其最表層之材質宜為鋁、釔、矽，或是該等物質其中任一種之化合物為佳(申請專利範圍第6項)。
如是若保護層至少2層以上所構成，且其最表層之材質為鋁、釔、矽，或是該等物質其中任一種之化合物，則即使在鹵素系蝕刻氣體或氧等腐蝕環境中也能安定使用。尤其此時，保護層的第一層宜以上述氮化鋁等所作成，效果較佳。
再者，該棒狀部的長度宜以10~200mm為佳(申請專利範圍第7項)。如是若棒狀部之長度為10~200mm，則由於端子部與加熱部之間可取得充分的距離，便可使端子部充分低溫化，而能更有效果的防止端子部的消耗。
又可在該板狀部其該棒狀部突出側之面上形成加熱圖案，並在該板狀部其相反側之面上形成固定被加熱物用的静電吸盤圖案(申請專利範圍第8項)。
如是，若在該板狀部之該棒狀部突出該側的面上形成加熱圖案，並在該板狀部其相反側之面上形成固定被加熱物用的静電吸盤圖案的話，則由於能邊固定被加熱體邊加熱，故能有效率的加熱，並能以高精密度來設定加熱位置，進而能在離子植入、電漿蝕刻、噴鍍濺散等要求被加熱體位置精確度的情況下，更正確的進行所期望的加熱處理過程。
如是，本發明所提供之加熱元件，以棒狀部隔開加熱部與供電端子部，使供電端子部中所露出的供電端子不易因處理過程中的高溫氣體而消耗，且由於該耐熱性基材係一體成形之物，故結構精簡而製造成本低廉，且所形成之層面不易產生裂縫。
又，由於該導電層係一體成形所製成，其如上述形成了加熱圖案、導電路與供電端子，該加熱圖案與該導電路的表面以保護層包覆，故結構簡單而製造成本低廉，且該保護層不易因使用而產生裂縫，因而本發明之加熱元件使用壽命非常長。
尤其，耐熱性基材的材質係使用石墨，因其材料價格便宜而容易加工成複雜形狀，故可進一步降低製造成本，且耐熱性也強。
简体摘要：本发明之目的在提供一种加热组件，其供电端子不会腐蚀，保护层寿命长，耐久性高，结构精简而制造成本低廉。本发明系一体成形所制成的加热组件10，其具备一单体成形的耐热性基材1，包含形成有加热图案3a的板状部1a，与从板状部1a一面突出并形成有导电路3b的棒状部1b，以及位于棒状部1b之与板状部1a相反该端且形成有供电端子3c的尖端部1c；并在该耐热性基材1表面上具备绝缘性之介电层2，且该介电层2上具备导电性之导电层3；而该导电层3，在该板状部1a形成有加热图案3a，在该棒状部1b形成有导电路3b，在该尖端部1c形成有供电端子3c；另该加热图案3a与该导电路3b的表面以绝缘性保护层4包覆。 This invention provides a heating element including feeder terminals free from corrosion, and protective layer having a long life and high durability. The heating element is compact and can be manufactured at a low cost. A heating element 10 is characterized by having an integrally formed heat－resistant base member 1 including a plate portion 1a formed with a heater pattern 3a, a rod－shaped portion 1b formed with a conductive path 3b projecting from one side of the plate portion 1a, and an end portion 1c which is connected to the rod－shaped portion 1b at the opposite end of the plate portion 1a and is formed with feeder terminal 3c. On the surface of the heat－resistant base member 1 is formed an insulative dielectric layer 2, on which is further formed an electrically conductive layer 3. The electrically conductive layer 3 includes the heater pattern 3a at the plate portion 1a, the conductive path 3b at the rod－shaped portion 1b, and the feeder terminal 3c at the end portion 1c. The aforementioned heater pattern 3a and the aforementioned conductive path 3b are integrally formed and covered, on their surfaces, with an insulative protection layer 4. 【创作特点】于是，本发明有鉴于上述问题点，目的在于提供一种加热组件，其供电端子不会腐蚀，保护层寿命长，耐久性高，结构精简而制造成本低廉。为达成上述目的，本发明提供一种加热组件，其系一体成形制成，至少具备一单体成形的耐热性基材，其包含形成有加热图案的板状部，与自该板状部一面突出并形成有导电路的棒状部，以及位于该棒状部之与该板状部相反的那一端且形成有供电端子的尖端部；并在该耐热性基材表面上具备绝缘性之介电层，且在该介电层上具备导电性之导电层；而该导电层，在该板状部形成有加热图案，在该棒状部形成有导电路，在该尖端部形成有供电端子；另该加热图案与该导电路的表面以绝缘性保护层包覆(申请专利范围第1项)。若依如是之加热组件，则由于在该板状部上形成有该加热图案的加热部，以及在该尖端部上形成有该供电端子的供电端子部二者，系利用形成有该导电路的棒状部互相隔离开来，故可使供电端子部露出的供电端子不易因处理过程中的高温气体而消耗，使用寿命变长。又，由于该耐热性基材系一体成形之物，而非复数构件组合装配而成，故结构精简而制造成本低廉，且该耐热性基材1所形成之夹层，不易因使用而产生裂缝，使用寿命长。再者，由于该导电层系一成形，其如上所述形成了加热图案、导电路与供电端子，而该加热图案与该导电路的表面以保护层包覆，故结构简单而制造成本低廉，且该保护层不易因使用而产生裂缝，使用寿命变长。此时，该耐热性基材的材质宜以石墨为佳(申请专利范围第2项)，盖耐热性基材的材质若是石墨，则因材料价格便宜而容易加工复杂形状，故可进一步降低制造成本，且耐热性也强。又，该介电层之材质宜以氮化硼、热分解氮化硼、氮化硅、CVD(Chemical Vapor Deposition；化学气相沉积)氮化硅、氮化铝、CVD氮化铝其中任一种，或是该等物质之组合者为佳(申请专利范围第3项)。如是若介电层之材质系氮化硼、热分解氮化硼、氮化硅、CVD氮化硅、氮化铝、CVD氮化铝其中任一种，或是该等物质之组合者，则绝缘性高，即使在要求高温下使用仍无杂质飞散之高纯度的加热处理过程中也能因应之。再者，该导电层之材质宜以热分解碳、玻璃碳为佳(申请专利范围第4项)。如是若导电层之材质系热分解碳、玻璃碳者，则其可高温加热，且因加工容易而可使加热图案作蛇行图案，并可藉改变幅度任意调整温度变化率，且因应高热环境使热度分散而均热化也变容易。又，该保护层的材质宜使用氮化硼、热分解氮化硼、氮化硅、CVD氮化硅、氮化铝、CVD氮化铝其中任一种，或是该等物质之组合者为佳(申请专利范围第5项)。如是若保护层的材质使用氮化硼、热分解氮化硼、氮化硅、CVD氮化硅、氮化铝、CVD氮化铝其中任一种，或是该等物质之组合者，则绝缘性高，且可成为即使在要求高温下使用仍无杂质飞散之高纯度的加热处理过程中也能因应的保护膜。又，该保护层宜至少2层以上所构成，且其最表层之材质宜为铝、钇、硅，或是该等物质其中任一种之化合物为佳(申请专利范围第6项)。如是若保护层至少2层以上所构成，且其最表层之材质为铝、钇、硅，或是该等物质其中任一种之化合物，则即使在卤素系蚀刻气体或氧等腐蚀环境中也能安定使用。尤其此时，保护层的第一层宜以上述氮化铝等所作成，效果较佳。再者，该棒状部的长度宜以10~200mm为佳(申请专利范围第7项)。如是若棒状部之长度为10~200mm，则由于端子部与加热部之间可取得充分的距离，便可使端子部充分低温化，而能更有效果的防止端子部的消耗。又可在该板状部其该棒状部突出侧之面上形成加热图案，并在该板状部其相反侧之面上形成固定被加热物用的静电吸盘图案(申请专利范围第8项)。如是，若在该板状部之该棒状部突出该侧的面上形成加热图案，并在该板状部其相反侧之面上形成固定被加热物用的静电吸盘图案的话，则由于能边固定被加热体边加热，故能有效率的加热，并能以高精密度来设置加热位置，进而能在离子植入、等离子蚀刻、喷镀溅散等要求被加热体位置精确度的情况下，更正确的进行所期望的加热处理过程。如是，本发明所提供之加热组件，以棒状部隔开加热部与供电端子部，使供电端子部中所露出的供电端子不易因处理过程中的高温气体而消耗，且由于该耐热性基材系一体成形之物，故结构精简而制造成本低廉，且所形成之层面不易产生裂缝。又，由于该导电层系一体成形所制成，其如上述形成了加热图案、导电路与供电端子，该加热图案与该导电路的表面以保护层包覆，故结构简单而制造成本低廉，且该保护层不易因使用而产生裂缝，因而本发明之加热组件使用寿命非常长。尤其，耐热性基材的材质系使用石墨，因其材料价格便宜而容易加工成复杂形状，故可进一步降低制造成本，且耐热性也强。

85. 发明专利

TW200937995A 耐腐蝕性疊層陶瓷構件 CORROSION-RESISTANT LAMINATED CERAMIC MEMBER 审中-公开
简体标题：耐腐蚀性叠层陶瓷构件 CORROSION-RESISTANT LAMINATED CERAMIC MEMBER
公开(公告)号：TW200937995A
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：TW097137276
申请日：2008-09-26
申请人：信越化學工業股份有限公司 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：狩野正樹 KANO, SHOJI , 山村和市 YAMAMURA, WAICHI , 久保田芳宏 KUBOTA, YOSHIHIRO
IPC分类号： H05B
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/67103 , H01L21/6833 , H01L21/68757 , H02N13/00 , H05B3/143
摘要：本發明提供一種即使曝露於腐蝕性氣體中也因為具有優異的耐腐蝕性而使用壽命很長的耐腐蝕性疊層陶瓷構件。本發明之耐腐蝕性疊層陶瓷構件,至少包含:陶瓷支持基板;電極層,其形成於該陶瓷支持基板上;供電構件,其連接該電極層;電性絕緣保護層,其以覆蓋該電極層的方式形成於該陶瓷支持基板上,其特徵為:在該陶瓷支持基板設有該電極層該側的表面上,以接觸形成於該陶瓷支持基板上的該電性絕緣保護層的方式接合陶瓷保護基板。
简体摘要：本发明提供一种即使曝露于腐蚀性气体中也因为具有优异的耐腐蚀性而使用寿命很长的耐腐蚀性叠层陶瓷构件。本发明之耐腐蚀性叠层陶瓷构件,至少包含:陶瓷支持基板;电极层,其形成于该陶瓷支持基板上;供电构件,其连接该电极层;电性绝缘保护层,其以覆盖该电极层的方式形成于该陶瓷支持基板上,其特征为:在该陶瓷支持基板设有该电极层该侧的表面上,以接触形成于该陶瓷支持基板上的该电性绝缘保护层的方式接合陶瓷保护基板。

86. 发明专利

TWI311029B 供電元件及加熱裝置(二) POWER-SUPPLYING MEMBER AND HEATING APPARATUS USING THE SAME (二) 有权
简体标题：供电组件及加热设备(二) POWER-SUPPLYING MEMBER AND HEATING APPARATUS USING THE SAME (二)
公开(公告)号：TWI311029B
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：TW095113755
申请日：2006-04-18
申请人：日本子股份有限公司 NGK INSULATORS, LTD.
发明人：後藤義信 YOSHINOBU GOTO , 鶴田英芳 HIDEYOSHI TSURUTA
IPC分类号： H05B
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/68792
摘要： [課題] 提供可提高裝置耐久性的供電元件及利用此元件的加熱裝置。
[解決手段] 供電元件100係包括:第一棒狀元件101,與供電對象連接;第二棒狀元件103,與電源連接;以及熱作用元件102,設置在第一棒狀元件101和第二棒狀元件103之間,與第一棒狀元件101和第二棒狀元件103比較,軸方向的剖面積小,且表面積大。
简体摘要： [课题] 提供可提高设备耐久性的供电组件及利用此组件的加热设备。 [解决手段] 供电组件100系包括:第一棒状组件101,与供电对象连接;第二棒状组件103,与电源连接;以及热作用组件102,设置在第一棒状组件101和第二棒状组件103之间,与第一棒状组件101和第二棒状组件103比较,轴方向的剖面积小,且表面积大。

87. 发明专利

TWI309141B 供電元件及加熱裝置(一) POWER-SUPPLYING MEMBER AND HEATING APPARATUS USING THE SAME (一) 有权
简体标题：供电组件及加热设备(一) POWER-SUPPLYING MEMBER AND HEATING APPARATUS USING THE SAME (一)
公开(公告)号：TWI309141B
公开(公告)日：2009-04-21
申请号：TW095113756
申请日：2006-04-18
申请人：日本子股份有限公司 NGK INSULATORS, LTD.
发明人：後藤義信 YOSHINOBU GOTO , 鶴田英芳 HIDEYOSHI TSURUTA
IPC分类号： H05B
CPC分类号： H01L21/67103 , H05B3/143
摘要： [課題] 提供可提高裝置信賴性的供電元件及利用此元件的加熱裝置。
[解決手段] 供電元件100係包括:第一棒狀元件101,與供電對象連接;第二棒狀元件103,與電源連接;以及熱膨脹吸收元件102,設置在第一棒狀元件101和第二棒狀元件103之間,對應於根據第一棒狀元件101和第二棒狀元件103的熱膨脹的縱長方向的變形,在縱長方向收縮。
简体摘要： [课题] 提供可提高设备信赖性的供电组件及利用此组件的加热设备。 [解决手段] 供电组件100系包括:第一棒状组件101,与供电对象连接;第二棒状组件103,与电源连接;以及热膨胀吸收组件102,设置在第一棒状组件101和第二棒状组件103之间,对应于根据第一棒状组件101和第二棒状组件103的热膨胀的纵长方向的变形,在纵长方向收缩。

88. 发明专利

TWI309061B 熱處理板之溫度設定方法,熱處理板之溫度設定裝置,熱處理板之溫度設定用程式,及記錄有程式之電腦可讀取之記錄媒體有权
简体标题：热处理板之温度设置方法,热处理板之温度设置设备,热处理板之温度设置用进程,及记录有进程之电脑可读取之记录媒体
公开(公告)号：TWI309061B
公开(公告)日：2009-04-21
申请号：TW095104750
申请日：2006-02-13
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：城惠 JYOUSAKA, MEGUMI , 富田浩 TOMITA, HIROSHI , 田所真任 TADOKORO, MASAHIDE
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67109 , G03F7/38 , H01L21/67103 , H01L21/67178 , H01L21/67184 , H01L21/67248 , H01L21/67748
摘要：進行熱板之溫度設定,以使阻劑圖案之線寬於晶圓面內形成為均勻。PEB裝置之熱板,被分割為多數熱板區域,可依每一熱板區域進行溫度設定。於熱板之各熱板區域分別設定熱板上載置之晶圓面內溫度調整用的溫度補正値,該熱板之各熱板區域之溫度補正値,係藉由在熱板被施予熱處理形成之阻劑圖案之線寬與溫度補正値間之相關而作成的算出模型被算出、設定。算出模型M,係依據阻劑圖案之線寬測定値,而算出基板面內之線寬成為均勻的溫度補正値。
简体摘要：进行热板之温度设置,以使阻剂图案之线宽于晶圆面内形成为均匀。PEB设备之热板,被分割为多数热板区域,可依每一热板区域进行温度设置。于热板之各热板区域分别设置热板上载置之晶圆面内温度调整用的温度补正値,该热板之各热板区域之温度补正値,系借由在热板被施予热处理形成之阻剂图案之线宽与温度补正値间之相关而作成的算出模型被算出、设置。算出模型M,系依据阻剂图案之线宽测定値,而算出基板面内之线宽成为均匀的温度补正値。

89. 发明专利

TW200910514A 靜電夾頭 ELECTROSTATIC CHUCK 审中-公开
简体标题：静电夹头 ELECTROSTATIC CHUCK
公开(公告)号：TW200910514A
公开(公告)日：2009-03-01
申请号：TW097124859
申请日：2008-07-02
申请人：新光電氣工業股份有限公司 SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：米倉寬 YONEKURA, HIROSHI , 吉川忠義 YOSHIKAWA, TADAYOSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67103 , H02N13/00
摘要：本發明之靜電夾頭,包括:一底部;一熱絕緣層,結合於該底部上;及一夾頭功能部,結合於該熱絕緣層上,且藉由將一加熱器電極及一靜電夾頭(ESC)電極備置於一陶瓷基材部中而組成。黏附層分別地備置在熱絕緣層之兩表面側邊上。在底部與夾頭功能部以高黏附强度結合在一起的事例中,開口形成於熱絕緣層中且被黏附層填滿。
简体摘要：本发明之静电夹头,包括:一底部;一热绝缘层,结合于该底部上;及一夹头功能部,结合于该热绝缘层上,且借由将一加热器电极及一静电夹头(ESC)电极备置于一陶瓷基材部中而组成。黏附层分别地备置在热绝缘层之两表面侧边上。在底部与夹头功能部以高黏附强度结合在一起的事例中,开口形成于热绝缘层中且被黏附层填满。

90. 发明专利

TW200842973A 載置台構造及處理裝置审中-公开
简体标题：载置台构造及处理设备
公开(公告)号：TW200842973A
公开(公告)日：2008-11-01
申请号：TW097101801
申请日：2008-01-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：小松智仁 KOMATSU, TOMOHITO , 山本弘彥 YAMAMOTO, HIROHIKO , 鳥屋大輔 TORIYA, DAISUKE
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67103 , C23C16/4586
摘要：在陶瓷製之載置台本體72內部埋設有被供電導體部94、96。在載置台本體72表面形成凹部形態之連接孔112,在其連接孔112內部露出有由電性接合於被供電導體部之高熔點金屬、其合金或是其化合物所構成之連接端子110。被設置在供電用管線構件之前端之供電用連接部114為了執行對被供電導體部供電,被插入於連接孔內。應力緩和構件116被介設於連接端子和供電用連接部之間。藉由硬焊料120接合應力緩和構件和連接端子。應力緩和構件由不含有鈷及鎳之金屬其合金所構成。依此,可以防止在連接端子和供電用連接部之接合部中產生金屬元素熱擴散,防止接合强度惡化。
简体摘要：在陶瓷制之载置台本体72内部埋设有被供电导体部94、96。在载置台本体72表面形成凹部形态之连接孔112,在其连接孔112内部露出有由电性接合于被供电导体部之高熔点金属、其合金或是其化合物所构成之连接端子110。被设置在供电用管线构件之前端之供电用连接部114为了运行对被供电导体部供电,被插入于连接孔内。应力缓和构件116被介设于连接端子和供电用连接部之间。借由硬焊料120接合应力缓和构件和连接端子。应力缓和构件由不含有钴及镍之金属其合金所构成。依此,可以防止在连接端子和供电用连接部之接合部中产生金属元素热扩散,防止接合强度恶化。

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