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    • 85. 发明专利
    • 一種剝離裝置及利用該裝置剝離晶片封裝體表面蓋層的方法
    • 一种剥离设备及利用该设备剥离芯片封装体表面盖层的方法
    • TW201628101A
    • 2016-08-01
    • TW104102651
    • 2015-01-27
    • 精材科技股份有限公司XINTEC INC.
    • 何彥仕HO, YEN SHIH劉滄宇LIU, TSANG YU林佳昇LIN, CHIA SHENG張義民CHANG, YI MING
    • H01L21/50H01L23/32H01L21/67
    • 本發明提供一種剝離裝置,用於剝離一基底和一蓋層所構成之堆疊結構,其包括一真空吸嘴頭,具相對上、下表面的吸盤、一貫穿吸盤上、下表面的真空孔及一耦接真空孔和一真空泵的中空真空管、一平台,位在真空吸嘴頭下方且與吸盤實質對準,使堆疊結構可固定於平台上、一控制機構,耦接至真空吸嘴頭,使其可相對於平台被舉升或下降、及一第一刀具,具有第一本體及一第一刀刃部。蓋層被真空吸嘴頭吸附後,第一刀刃部經堆疊結構的第一側壁切入基底與蓋層間的介面層,並藉由真空吸取頭的吸力及真空吸嘴頭被向上舉升產生的舉升力,使基底與蓋層被剝離。
    • 本发明提供一种剥离设备,用于剥离一基底和一盖层所构成之堆栈结构,其包括一真空吸嘴头,具相对上、下表面的吸盘、一贯穿吸盘上、下表面的真空孔及一耦接真空孔和一真空泵的中空真空管、一平台,位在真空吸嘴头下方且与吸盘实质对准,使堆栈结构可固定于平台上、一控制机构,耦接至真空吸嘴头,使其可相对于平台被举升或下降、及一第一刀具,具有第一本体及一第一刀刃部。盖层被真空吸嘴头吸附后,第一刀刃部经堆栈结构的第一侧壁切入基底与盖层间的界面层,并借由真空吸取头的吸力及真空吸嘴头被向上举升产生的举升力,使基底与盖层被剥离。