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81. 发明专利

TW201631299A 液面計及液體原料氣化供給裝置审中-公开
简体标题：液面计及液体原料气化供给设备
公开(公告)号：TW201631299A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW104137016
申请日：2015-11-10
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 山下哲 , YAMASHITA, SATORU , 平尾圭志 , HIRAO, KEIJI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F23/22 , C23C16/455 , B01J4/00 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/45561 , B01J4/00 , C23C16/448 , C23C16/4481 , G01F23/22 , G01F23/247 , G01F23/26 , H01L21/31 , H01L21/67248
摘要：提供可在由液相切換成氣相的感測時間減少流量依存性，並且縮短感測時間的液面計及液體原料氣化供給裝置。具備有：貯留液體原料的腔室(2)；收容有用以感測腔室(2)內的液面(L1)的測溫電阻體的至少一支保護管(3)；及控制由腔室(2)流出的氣體流量來進行供給的流量控制裝置(4)，保護管(3)以水平方向被插入在腔室(2)的側壁(2a)而予以固定。
简体摘要：提供可在由液相切换成气相的传感时间减少流量依存性，并且缩短传感时间的液面计及液体原料气化供给设备。具备有：贮留液体原料的腔室(2)；收容有用以传感腔室(2)内的液面(L1)的测温电阻体的至少一支保护管(3)；及控制由腔室(2)流出的气体流量来进行供给的流量控制设备(4)，保护管(3)以水平方向被插入在腔室(2)的侧壁(2a)而予以固定。

82. 发明专利

TWI534577B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI534577B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103136633
申请日：2014-10-23
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004

83. 发明专利

TW201610414A 內嵌型濃度測量裝置审中-公开
简体标题：内嵌型浓度测量设备
公开(公告)号：TW201610414A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104124254
申请日：2015-07-27
申请人：國立大學法人德島大學 , TOKUSHIMA UNIVERSITY , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：出口祥啓 , DEGUCHI, YOSHIHIRO , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 薬師神忠幸 , YAKUSHIJIN, TADAYUKI
IPC分类号： G01N21/31
CPC分类号： G01N21/27 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N2021/151 , G01N2201/08
摘要： [課題] 提供一種內嵌型濃度測量裝置，可以將光入射部附近的氣體滯留部縮小或是消除，將朝有機金屬材料的光入射部的堆積減少。 [技術內容] 具備：形成有氣體流路(5)的測量單元本體(15)、及與測量單元本體(15)連接且具備窗材(4)的光入射部(3)、及與測量單元本體(15)連接且具備窗材(6)的受光部(8)，氣體流路(5)，是具備：在光入射部(3)的窗材(4)及受光部(8)的窗材(6)之間形成直線狀而成為光路的光路用氣體流路部(5a)、及從形成於測量單元本體(15)的氣體流入口(5B1)連通至光路用氣體流路部(5a)的第一連通部(5B)、及從形成於測量單元本體(15)的氣體流出口(5C)連通至光路用氣體流路部(5a)的第二連通部(5C)，第一連通部(5B)是從氣體流入口(5B1)朝向光入射部(3)的窗材(4)傾斜延伸。
简体摘要： [课题] 提供一种内嵌型浓度测量设备，可以将光入射部附近的气体滞留部缩小或是消除，将朝有机金属材料的光入射部的堆积减少。 [技术内容] 具备：形成有气体流路(5)的测量单元本体(15)、及与测量单元本体(15)连接且具备窗材(4)的光入射部(3)、及与测量单元本体(15)连接且具备窗材(6)的受光部(8)，气体流路(5)，是具备：在光入射部(3)的窗材(4)及受光部(8)的窗材(6)之间形成直线状而成为光路的光路用气体流路部(5a)、及从形成于测量单元本体(15)的气体流入口(5B1)连通至光路用气体流路部(5a)的第一连通部(5B)、及从形成于测量单元本体(15)的气体流出口(5C)连通至光路用气体流路部(5a)的第二连通部(5C)，第一连通部(5B)是从气体流入口(5B1)朝向光入射部(3)的窗材(4)倾斜延伸。

84. 发明专利

TWI505386B 半導體製造裝置之氣體分流供給裝置有权
简体标题：半导体制造设备之气体分流供给设备
公开(公告)号：TWI505386B
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：TW101140130
申请日：2012-10-30
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 森崎和之 , MORISAKI, KAZUYUKI
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/2544

85. 发明专利

TW201537146A 流路密封構造审中-公开
简体标题：流路密封构造
公开(公告)号：TW201537146A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW103145512
申请日：2014-12-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 安本直史 , YASUMOTO, NAOFUMI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F1/40 , G05D7/06
CPC分类号： F16L15/008 , F16L55/027 , G01F1/42 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：可省略將孔口板或過濾板利用熔接、填隙來固定在作為母材之孔口座或過濾器座的步驟，而能謀求更加小型化。本發明的流路密封構造，係具備：本體塊(1)，形成有本體流路(1a、1b)；凹部(12，13)，形成於本體塊(1)的側面，且在內周面形成有雌螺紋；薄板(6，8)，抵接於前述凹部之深處且形成有通孔；墊圈(16，17)，抵接於薄板(6，8)；按壓配管(20，21)，具有可與本體流路1a，1b連通之內部流路及擴徑部，且抵接於前述墊圈；以及緊固螺絲(22)，外插於前述按壓配管且旋入於前述雌螺紋，抵接於前述擴徑部而將前述按壓配管緊壓。
简体摘要：可省略将孔口板或过滤板利用熔接、填隙来固定在作为母材之孔口座或过滤器座的步骤，而能谋求更加小型化。本发明的流路密封构造，系具备：本体块(1)，形成有本体流路(1a、1b)；凹部(12，13)，形成于本体块(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于前述凹部之深处且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有可与本体流路1a，1b连通之内部流路及扩径部，且抵接于前述垫圈；以及紧固螺丝(22)，外插于前述按压配管且旋入于前述雌螺纹，抵接于前述扩径部而将前述按压配管紧压。

86. 发明专利

TWI497248B 氣體分流供給裝置及使用其之氣體分流供給方法有权
简体标题：气体分流供给设备及使用其之气体分流供给方法
公开(公告)号：TWI497248B
公开(公告)日：2015-08-21
申请号：TW102102889
申请日：2013-01-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：澤田洋平 , SAWADA, YOHEI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/0368 , Y10T137/776

87. 发明专利

TW201531668A 流量計及具備該流量計的流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TW201531668A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
摘要：本發明提供一種：有效地利用壓力式流量控制部所具備的高耐壓力變動特性，藉由將衰減式流量監測部組合於壓力式流量控制部的上游側，執行趨近於即時(real time)的流量監測，並藉由可對應於流量區域來切換監測流量，而能擴大監測流量範圍與提升監測精確度和流量控制之精確度之具有流量範圍切換型流量監測器的壓力式流量控制裝置。本發明，是由「設於上游側的衰減式流量監測部BDM」、和「設於其下游側的壓力式流量控制部FCS」、和「連結衰減式流量監測部BDM與壓力式流量控制部FCS，將衰減式流量監測部BDM的監測流量Q朝壓力式流量控制部FCS傳送的訊號傳送迴路CT」、及「設於壓力式流量控制部FCS，根據來自於前述衰減式流量監測部BDM的監測流量Q，調整壓力式流量控制部FCS之設定流量Qs的流量設定值調整機構QSR」所構成之具有衰減式流量監測器的壓力式流量控制裝置，前述衰減式流量監測部BDM的監測流量演算控制部CPb形成：當大流量時，使前述出口側開閉切換閥PV2保持開放狀態，並將入口側開閉切換閥PV1的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積，作為衰減容積而演算大監測流量Q1，此外，當小流量時，使入口側開閉切換閥PV1保持開放狀態，並將出口側開閉切換閥PV2的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積而演算小監測流量Q2的構造。
简体摘要：本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，借由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，运行趋近于实时(real time)的流量监测，并借由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制设备。本发明，是由“设于上游侧的衰减式流量监测部BDM”、和“设于其下游侧的压力式流量控制部FCS”、和“链接衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS发送的信号发送回路CT”、及“设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设置流量Qs的流量设置值调整机构QSR”所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制设备，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。

88. 发明专利

TWI485540B 附衰減式流量監測器流量控制裝置有权
简体标题：附衰减式流量监测器流量控制设备
公开(公告)号：TWI485540B
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：TW102115450
申请日：2013-04-30
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , Y10T137/7737

89. 发明专利

TW201512799A 流量控制用多孔型孔口板及使用該孔口板之流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量控制用多孔型孔口板及使用该孔口板之流量控制设备
公开(公告)号：TW201512799A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103114392
申请日：2014-04-21
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 廣瀬隆 , HIROSE, TAKASHI
IPC分类号： G05D7/01 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16L55/02718
摘要：本發明是針對控制流量控制用孔口板，當為了對應控制流量的增大而需加大孔口孔徑時，能夠防止符合臨界膨脹條件之孔口上游暨下游的壓力比P2/P1變動所造成的流量控制範圍變窄。本發明是構成為於流量控制用孔口板(7a)設有將指定流量之流體的流通上所需要之一個孔口的開口面積經分割後的複數個孔口(12)，該複數個孔口(12)的總開口面積等於上述開口面積。
简体摘要：本发明是针对控制流量控制用孔口板，当为了对应控制流量的增大而需加大孔口孔径时，能够防止符合临界膨胀条件之孔口上游暨下游的压力比P2/P1变动所造成的流量控制范围变窄。本发明是构成为于流量控制用孔口板(7a)设有将指定流量之流体的流通上所需要之一个孔口的开口面积经分割后的复数个孔口(12)，该复数个孔口(12)的总开口面积等于上述开口面积。

90. 发明专利

TW201504606A 壓力檢測器之安裝構造审中-公开
简体标题：压力检测器之安装构造
公开(公告)号：TW201504606A
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW103109920
申请日：2014-03-17
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED , 日本電產科寶電子股份有限公司 , NIDEC COPAL ELECTRONICS CORPORATION
发明人：土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 深澤政紀 , FUKAZAWA, MASANORI , 石黒勝巳 , ISHIGURO, KATSUMI
IPC分类号： G01L19/00
CPC分类号： F16L21/03 , F16L21/04 , F16L41/008 , G01L9/0051 , G01L19/003 , G01L19/145 , G01L19/147
摘要：本發明係即使在壓力檢測器組裝在安裝具本體之後，亦完全不會有對隔膜的應力影響，此外，不會受到因經年變化所致之影響。本發明係一種壓力檢測器之安裝構造，其係將壓力檢測器(1)以氣密狀安裝在已安裝於配管路或機械裝置的安裝具本體(15)的插裝孔(16)內之壓力檢測器(1)之安裝構造，該壓力檢測器(1)係具備有：形成有壓力導入孔(10)的殼體(2)、設在該殼體(2)內且與前述壓力導入孔(10)相連通的受壓室(4)、對應受壓室(4)的壓力而位移的隔膜(3)、及藉由隔膜(3)的位移而將壓力轉換成電訊號之壓力檢測元件(6)，其中，前述壓力檢測器(1)之安裝構造係具備有：在朝外方突出的狀態下被設在殼體(2)，形成壓力導入孔(10)的導管(pipe)(9)；被設在導管(9)的前端部，比導管(9)更為大徑之環狀的墊片按壓件(11)；被設在安裝具本體(15)的插裝孔(16)的底面，為墊片按壓件 (11)的前端面所抵接之環狀的墊片(12)；抵接於與墊片按壓件(11)的前端面為相反側的面的開口環(13)；及安裝卸下自如地被插裝在安裝具本體(15)的插裝孔(16)內，按壓開口環(13)的罩蓋(14)，將前述墊片按壓件(11)及開口環(13)插入在安裝具本體(15)的插裝孔(16)內，並且將前述罩蓋(14)插裝在插裝孔(16)，將該罩蓋(14)緊固在安裝具本體(15)側，藉由開口環(13)按壓墊片按壓件(11)及墊片(12)，將墊片(12)的一端面與插裝孔(16)的底面之間及墊片(12)的另一端面與墊片按壓件(11)的前端面之間分別形成為密封部。
简体摘要：本发明系即使在压力检测器组装在安装具本体之后，亦完全不会有对隔膜的应力影响，此外，不会受到因经年变化所致之影响。本发明系一种压力检测器之安装构造，其系将压力检测器(1)以气密状安装在已安装于配管路或机械设备的安装具本体(15)的插装孔(16)内之压力检测器(1)之安装构造，该压力检测器(1)系具备有：形成有压力导入孔(10)的壳体(2)、设在该壳体(2)内且与前述压力导入孔(10)相连通的受压室(4)、对应受压室(4)的压力而位移的隔膜(3)、及借由隔膜(3)的位移而将压力转换成电信号之压力检测组件(6)，其中，前述压力检测器(1)之安装构造系具备有：在朝外方突出的状态下被设在壳体(2)，形成压力导入孔(10)的导管(pipe)(9)；被设在导管(9)的前端部，比导管(9)更为大径之环状的垫片按压件(11)；被设在安装具本体(15)的插装孔(16)的底面，为垫片按压件 (11)的前端面所抵接之环状的垫片(12)；抵接于与垫片按压件(11)的前端面为相反侧的面的开口环(13)；及安装卸下自如地被插装在安装具本体(15)的插装孔(16)内，按压开口环(13)的罩盖(14)，将前述垫片按压件(11)及开口环(13)插入在安装具本体(15)的插装孔(16)内，并且将前述罩盖(14)插装在插装孔(16)，将该罩盖(14)紧固在安装具本体(15)侧，借由开口环(13)按压垫片按压件(11)及垫片(12)，将垫片(12)的一端面与插装孔(16)的底面之间及垫片(12)的另一端面与垫片按压件(11)的前端面之间分别形成为密封部。

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