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    • 73. 发明专利
    • 半導體記憶裝置 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
    • 半导体记忆设备 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
    • TWI257098B
    • 2006-06-21
    • TW093109047
    • 2004-04-01
    • 松下電器產業股份有限公司 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 石倉聰 SATOSHI ISHIKURA里見勝治 KATSUJI SATOMI
    • G11C
    • H01L27/11H01L27/1104Y10S257/903
    • 在6電晶體型SRAM記憶單元中,大多使用橫型記憶單元布置,但是因為是橫向較長之形狀,所以例如在使位元線成為第2層布線之情況時,橫向行進之字線和VSS電源在同層接近並行,會有字線之寄生電容增大,或由於布線粒子使良率降低之問題。在使位元線成為第3層布線之情況時,位元線被VSS電源和VDD電源包夾而並行,會有位元線之寄生電容增大之問題。本發明是在第2層布線配置正/負位元線和在正/負位元線間配置VDD電源布線,在第3層布線配置字線,在第4層布線配置VSS電源布線。或是,在第2層布線配置字線,在第3層布線配置正/負位元線和在正/負位元線間配置VDD電源布線,在第4層布線配置VSS電源布線。或是,在第2層布線配置VDD電源布線,在第3層布線配置正/負位元線,在第4層布線配置字線,在第5層布線配置VSS電源布線。或是,在第2層布線配置正/負位元線,在第3層布線配置VDD電源布線,在第4層布線配置字線,在第5層布線配置VSS電源布線。
    • 在6晶体管型SRAM记忆单元中,大多使用横型记忆单元布置,但是因为是横向较长之形状,所以例如在使比特线成为第2层布线之情况时,横向行进之字线和VSS电源在同层接近并行,会有字线之寄生电容增大,或由于布线粒子使良率降低之问题。在使比特线成为第3层布线之情况时,比特线被VSS电源和VDD电源包夹而并行,会有比特线之寄生电容增大之问题。本发明是在第2层布线配置正/负比特线和在正/负比特线间配置VDD电源布线,在第3层布线配置字线,在第4层布线配置VSS电源布线。或是,在第2层布线配置字线,在第3层布线配置正/负比特线和在正/负比特线间配置VDD电源布线,在第4层布线配置VSS电源布线。或是,在第2层布线配置VDD电源布线,在第3层布线配置正/负比特线,在第4层布线配置字线,在第5层布线配置VSS电源布线。或是,在第2层布线配置正/负比特线,在第3层布线配置VDD电源布线,在第4层布线配置字线,在第5层布线配置VSS电源布线。
    • 74. 发明专利
    • 具有凹陷式裝置之記憶體 MEMORY WITH RECESSED DEVICES
    • 具有凹陷式设备之内存 MEMORY WITH RECESSED DEVICES
    • TW200620553A
    • 2006-06-16
    • TW094116378
    • 2005-05-19
    • 飛思卡爾半導體公司 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC.
    • 詹姆士D 柏奈特 BURNETT, JAMES D.蘇瑞希 凡卡提森 VENKATESAN, SURESH
    • H01L
    • H01L27/1104H01L27/11
    • 本發明揭示一種記憶體單元(100、101),其包括具有不同量級之相關隔離凹陷(908)之裝置。一對應電晶體之有效通道寬度係實質上等於一通道之頂面寬度加上該等隔離凹陷(908)所形成之一側壁寬度之兩倍。在一靜態隨機存取記憶體(SRAM)單元(100、101)中,一鎖存電晶體(112)藉由形成更大的凹陷(908)而此一相關的傳輸電晶體(108)具有一更大的有效通道寬度,且因此在圍繞該鎖存電晶體(112)並限制傳輸電晶體之此類凹陷之隔離層(906)中之側壁(1306、1310)更大。在該記憶體單元(100、101)製造期間,使用一遮罩來遮蓋傳輸電晶體(102)之一區域,同時使該鎖存電晶體(112)之一區域曝露。因此,形成該鎖存電晶體(112)周圍之一隔離層中之凹陷時並未影響該傳輸電晶體(108)周圍之一對應區域。
    • 本发明揭示一种内存单元(100、101),其包括具有不同量级之相关隔离凹陷(908)之设备。一对应晶体管之有效信道宽度系实质上等于一信道之顶面宽度加上该等隔离凹陷(908)所形成之一侧壁宽度之两倍。在一静态随机存取内存(SRAM)单元(100、101)中,一锁存晶体管(112)借由形成更大的凹陷(908)而此一相关的传输晶体管(108)具有一更大的有效信道宽度,且因此在围绕该锁存晶体管(112)并限制传输晶体管之此类凹陷之隔离层(906)中之侧壁(1306、1310)更大。在该内存单元(100、101)制造期间,使用一遮罩来遮盖传输晶体管(102)之一区域,同时使该锁存晶体管(112)之一区域曝露。因此,形成该锁存晶体管(112)周围之一隔离层中之凹陷时并未影响该传输晶体管(108)周围之一对应区域。
    • 80. 发明专利
    • 半導體元件及其製造方法 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
    • 半导体组件及其制造方法 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
    • TWI232551B
    • 2005-05-11
    • TW093105420
    • 2004-03-02
    • 富士通股份有限公司 FUJITSU LIMITED
    • 南孝宜 MINAMI, TAKAYOSHI說田雄二 SETTA, YUJI
    • H01L
    • H01L21/76895H01L21/823871H01L27/11H01L27/1104
    • 該半導體元件包含一個在一閘極絕緣薄膜22形成於一半導體基體14與它之間下形成在該半導體基體14上之包括一閘極電極的閘極互連線24a;一形成於該閘極互連線24a之末端附近的第一源極/汲極擴散層28;一形成遠離該閘極互連線24a與該第一源極/汲極擴散層28的第二源極/汲極擴散層34;及一形成於該閘極互連線24a、該第一源極/汲極擴散層28與該第二源極/汲極擴散層34上,並且具有一凹槽形開孔42a形成於其中的絕緣薄膜40,該絕緣薄膜40一體地曝露該閘極互連線24a、該第一源極/汲極擴散層28中之一者、及該第二源極/汲極擴散層34中之一者;及一被埋藏於該凹槽形開孔42a內的接觸層48a。供接觸層48a埋藏用的凹槽形開孔42a能夠在沒有故障下被形成。據此,要提供一種能夠在沒有可靠度降低與產量降低下實現微型化的半導體元件是有可能的。
    • 该半导体组件包含一个在一闸极绝缘薄膜22形成于一半导体基体14与它之间下形成在该半导体基体14上之包括一闸极电极的闸极互连接24a;一形成于该闸极互连接24a之末端附近的第一源极/汲极扩散层28;一形成远离该闸极互连接24a与该第一源极/汲极扩散层28的第二源极/汲极扩散层34;及一形成于该闸极互连接24a、该第一源极/汲极扩散层28与该第二源极/汲极扩散层34上,并且具有一凹槽形开孔42a形成于其中的绝缘薄膜40,该绝缘薄膜40一体地曝露该闸极互连接24a、该第一源极/汲极扩散层28中之一者、及该第二源极/汲极扩散层34中之一者;及一被埋藏于该凹槽形开孔42a内的接触层48a。供接触层48a埋藏用的凹槽形开孔42a能够在没有故障下被形成。据此,要提供一种能够在没有可靠度降低与产量降低下实现微型化的半导体组件是有可能的。