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    • 61. 发明专利
    • X光檢測儀陣列單元的製作方法
    • X光检测仪数组单元的制作方法
    • TW544946B
    • 2003-08-01
    • TW091115600
    • 2002-07-12
    • 瀚宇彩晶股份有限公司
    • 施博盛
    • H01L
    • H01L31/115H01L27/14658
    • 一種X光檢測儀陣列單元的製作方法,用以減少使用光罩數量。第一道微影蝕刻步驟係定義閘極於基底上。第二道微影蝕刻步驟係定義矽島於位在電晶體區的閘極絕緣層上。第三道微影蝕刻步驟係定義共同線於閘極絕緣層上,並且定義源/汲極於矽島上而構成薄膜電晶體(TFT)結構。第四道微影蝕刻步驟係定義畫素電極於平坦化層上。第五道微影蝕刻步驟係定義第一介層洞與第二介層洞穿透介電層與平坦化層,其中第一介層洞係露出源極的表面,第二介層洞係露出部分第一導體層的表面與部分共同線的表面。第六道微影蝕刻步驟係定義電荷收集電極於介電層上。
    • 一种X光检测仪数组单元的制作方法,用以减少使用光罩数量。第一道微影蚀刻步骤系定义闸极于基底上。第二道微影蚀刻步骤系定义硅岛于位在晶体管区的闸极绝缘层上。第三道微影蚀刻步骤系定义共同线于闸极绝缘层上,并且定义源/汲极于硅岛上而构成薄膜晶体管(TFT)结构。第四道微影蚀刻步骤系定义像素电极于平坦化层上。第五道微影蚀刻步骤系定义第一介层洞与第二介层洞穿透介电层与平坦化层,其中第一介层洞系露出源极的表面,第二介层洞系露出部分第一导体层的表面与部分共同线的表面。第六道微影蚀刻步骤系定义电荷收集电极于介电层上。
    • 66. 发明专利
    • 輻射感測器及其製法
    • 辐射传感器及其制法
    • TW201605034A
    • 2016-02-01
    • TW104135939
    • 2010-06-17
    • 美國密西根州立大學THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MICHIGAN
    • 安東尼克 賴瑞EANTONUK, LARRY E.
    • H01L27/146G01T1/20G01T1/24
    • G01T1/208G01T1/2018G01T1/241H01L27/14612H01L27/1462H01L27/14632H01L27/14636H01L27/14658H01L27/14663H01L27/14687H01L27/14689H01L31/105
    • 一種輻射感測器包括:一閃爍層,該閃爍層經組態以在與電離輻射相互作用時發射光子;及一光偵測器,其按次序包括一第一電極、一感光層,及接近於該閃爍層而安置之一可透射光子之第二電極。該感光層經組態以在與該等光子之一部分相互作用時產生電子電洞對。該輻射感測器包括:像素電路,其電連接至該第一電極且經組態以量測指示在該感光層中所產生之該等電子電洞對之一成像信號;及一平坦化層,其安置於該像素電路上在該第一電極與該像素電路之間,以使得該第一電極高於包括該像素電路之一平面。該第一電極及該第二電極中之至少一者之一表面至少部分地重疊於該像素電路,且具有高於該像素電路之特徵之一表面反曲。該表面反曲具有大於1/2微米之曲率半徑。
    • 一种辐射传感器包括:一闪烁层,该闪烁层经组态以在与电离辐射相互作用时发射光子;及一光侦测器,其按次序包括一第一电极、一感光层,及接近于该闪烁层而安置之一可透射光子之第二电极。该感光层经组态以在与该等光子之一部分相互作用时产生电子电洞对。该辐射传感器包括:像素电路,其电连接至该第一电极且经组态以量测指示在该感光层中所产生之该等电子电洞对之一成像信号;及一平坦化层,其安置于该像素电路上在该第一电极与该像素电路之间,以使得该第一电极高于包括该像素电路之一平面。该第一电极及该第二电极中之至少一者之一表面至少部分地重叠于该像素电路,且具有高于该像素电路之特征之一表面反曲。该表面反曲具有大于1/2微米之曲率半径。