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61. 发明专利

TW201020332A 具有低溫高強度接合的濺鍍靶材組合 SPUTTER TARGET ASSEMBLY HAVING A LOW-TEMPERATURE HIGH-STRENGTH BOND 审中-公开
简体标题：具有低温高强度接合的溅镀靶材组合 SPUTTER TARGET ASSEMBLY HAVING A LOW-TEMPERATURE HIGH-STRENGTH BOND
公开(公告)号：TW201020332A
公开(公告)日：2010-06-01
申请号：TW098123620
申请日：2009-07-13
申请人：普雷瑟科技股份有限公司
发明人：柯尼格斯曼侯格 , 羅吉豐 , 吉爾曼保羅
IPC分类号： C23C
CPC分类号： H01J37/3491 , B23K1/0016 , C23C14/3407 , H01J37/3435
摘要：本發明揭示一種濺鍍靶組合,其中靶和支撐板經由低溫硬焊結合在一起而在靶和支撐板之間產生極佳的接合。
简体摘要：本发明揭示一种溅镀靶组合,其中靶和支撑板经由低温硬焊结合在一起而在靶和支撑板之间产生极佳的接合。

62. 发明专利

TW201013087A 供大宗特用氣體供應系統用之能量輸送提高機構 ENHANCED ENERGY DELIVERY MECHANISM FOR BULK SPECIALTY GAS SUPPLY SYSTEMS 审中-公开
简体标题：供大宗特用气体供应系统用之能量输送提高机构 ENHANCED ENERGY DELIVERY MECHANISM FOR BULK SPECIALTY GAS SUPPLY SYSTEMS
公开(公告)号：TW201013087A
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：TW098120113
申请日：2009-06-16
申请人：普雷瑟科技股份有限公司
发明人：薩里吉亞尼迪斯克里斯多 , 小伯格曼湯瑪斯 , 強森麥可 , 馬爾傑瑞 , 加克伐堤斯萊卡爾 , 朱漢 , 伯格斯肯尼斯 , 吉爾蒙德賈斯汀
IPC分类号： F17C , F28F , F16L
CPC分类号： F17C7/04 , F17C2201/0104 , F17C2201/035 , F17C2203/0643 , F17C2203/0646 , F17C2203/0648 , F17C2221/013 , F17C2223/0153 , F17C2223/035 , F17C2227/0302 , F17C2227/0383 , F17C2260/036 , F17C2260/046 , F17C2270/0518
摘要：本發明提供一種用於在高壓下從含有液化流體或二相流體之運輸槽輸送氣相流體的系統。該系統包含：（a）定位於實質水平之位置上的運輸槽；（b）一或多個安置於該運輸槽下部之能量輸送裝置，其中該能量輸送裝置包括加熱元件及安置於其間之導熱性非黏合層以達至間隙，而將實質均勻之能量提供給運輸槽。
简体摘要：本发明提供一种用于在高压下从含有液化流体或二相流体之运输槽输送气相流体的系统。该系统包含：（a）定位于实质水平之位置上的运输槽；（b）一或多个安置于该运输槽下部之能量输送设备，其中该能量输送设备包括加热组件及安置于其间之导热性非黏合层以达至间隙，而将实质均匀之能量提供给运输槽。

63. 发明专利

TW200948820A 有機金屬化合物，彼之製法與應用方法 ORGANOMETALLIC COMPOUNDS, PROCESSES AND METHODS OF USE 审中-公开
简体标题：有机金属化合物，彼之制法与应用方法 ORGANOMETALLIC COMPOUNDS, PROCESSES AND METHODS OF USE
公开(公告)号：TW200948820A
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：TW098101527
申请日：2009-01-16
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 , 英特爾股份有限公司
发明人：湯普森大衛 , 吉瑞瓊恩 , 拉瓦亞卓安 , 多明蓋茲瓊安
IPC分类号： C07F , C23C , H01L
CPC分类号： C07F15/0046
摘要：本發明係關於具有式(L1)yM(L2)z之有機金屬化合物，其中M是金屬或類金屬，L1係相同或不同且為：（i）經取代或未經取代陰離子性4電子供體配位子，或（ii）經取代或未經取代之具有懸垂的中性2電子供體部分之陰離子性4電子供體配位子，L2係相同或不同且為：（i）經取代或未經取代陰離子性2電子供體配位子，或（ii）經取代或未經取代中性2電子供體配位子；y是整數2；及z是0至2之整數；及其中M的氧化數與L1及L2之電荷的總合等於0；本發明亦關於一種製備有機金屬化合物之方法，以及一種從有機金屬化合物製造膜或塗層之方法。有機金屬化合物係在半導體應用中作為用於膜沈積之化學氣相或原子層沈積先質。
简体摘要：本发明系关于具有式(L1)yM(L2)z之有机金属化合物，其中M是金属或类金属，L1系相同或不同且为：（i）经取代或未经取代阴离子性4电子供体配位子，或（ii）经取代或未经取代之具有悬垂的中性2电子供体部分之阴离子性4电子供体配位子，L2系相同或不同且为：（i）经取代或未经取代阴离子性2电子供体配位子，或（ii）经取代或未经取代中性2电子供体配位子；y是整数2；及z是0至2之整数；及其中M的氧化数与L1及L2之电荷的总合等于0；本发明亦关于一种制备有机金属化合物之方法，以及一种从有机金属化合物制造膜或涂层之方法。有机金属化合物系在半导体应用中作为用于膜沉积之化学气相或原子层沉积先质。

64. 发明专利

TWI314177B 自由活塞裝置之活塞位置漂移控制器 PISTON POSITION DRIFT CONTROL FOR FREE-PISTON DEVICE 失效
简体标题：自由活塞设备之活塞位置漂移控制器 PISTON POSITION DRIFT CONTROL FOR FREE-PISTON DEVICE
公开(公告)号：TWI314177B
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：TW092132166
申请日：2003-11-17
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：約翰柯瑞 COREY, JOHN A. , 菲力普史布爾 SPOOR, PHILIP S.
IPC分类号： F01B , F02B
CPC分类号： F01B11/00 , F02B77/08 , F02G2243/54
摘要：本發明提供一種自由活塞裝置(112)之活塞位置漂移控制器(110)。控制器包括通道,連接自由活塞裝置的內部體積,通道(122)實際上短於自由活塞裝置的聲音波長;及止回閥(124),位在通道中,用以控制內部體積之間的流體交流,止回閥的打開壓力,在最大衝程下不低於該自由活塞裝置的最大壓力差之大約20%。控制器是被動的,一旦作用時無需主動控制,不容易被破壞或堵塞,及若需要可調整或維修。此外,控制器很小並且不貴,在其支撐的自由活塞裝置的整個操作範圍四處起作用。本案也提供包括具有該活塞位置漂移控制器之相關自由活塞裝置。
简体摘要：本发明提供一种自由活塞设备(112)之活塞位置漂移控制器(110)。控制器包括信道,连接自由活塞设备的内部体积,信道(122)实际上短于自由活塞设备的声音波长;及止回阀(124),位在信道中,用以控制内部体积之间的流体交流,止回阀的打开压力,在最大冲程下不低于该自由活塞设备的最大压力差之大约20%。控制器是被动的,一旦作用时无需主动控制,不容易被破坏或堵塞,及若需要可调整或维修。此外,控制器很小并且不贵,在其支撑的自由活塞设备的整个操作范围四处起作用。本案也提供包括具有该活塞位置漂移控制器之相关自由活塞设备。

65. 发明专利

TW200915473A 由聚合物與陶瓷之混合物製成之靜電吸盤 POLYCERAMIC E-CHUCK 审中-公开
简体标题：由聚合物与陶瓷之混合物制成之静电吸盘 POLYCERAMIC E-CHUCK
公开(公告)号：TW200915473A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097120940
申请日：2008-06-05
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：馬慕德奈姆 NAIM, MAHMOOD
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H02N13/00 , H01J2237/2007 , H01L21/67109 , H01L21/6831 , H01L21/6875 , H01L21/68757 , Y10T279/23
摘要：本發明揭示一種用於夾持工作基底之靜電夾頭,該夾頭包含三層,其中選擇所包括之非導電層的介電常數以提供整體較低之電容予夾頭。在本發明之夾頭組合中,與基底(例如晶圓)接觸之介電頂層具有較佳大於約5之介電常數,且電阻率較佳大於約1E6 ohm.m,然而,介電底層具有較佳少於約5之介電常數及較佳大於約1E10 ohm.m之電阻率。中間層較佳具有電阻率少於約1 ohm.m之導電層。靜電夾頭可以結合至塗覆有抗電弧介電材料之熱槽(sink)。熱槽也可作為RF電極。熱槽可以提供冷卻劑及氣體通道以饋送冷卻用氣體至晶圓背面。熱槽可以具有送料直通以將動力供給靜電夾頭中之分段的電極。用於送料直通之通道、氣體送料孔及舉針(lift pins)可用陶瓷或聚合物作襯裡以防止任何放電至熱槽。靜電夾頭是用以夾持工作基底,例如半導體工具中所用之Si、GaAs、SiO2等。
简体摘要：本发明揭示一种用于夹持工作基底之静电夹头,该夹头包含三层,其中选择所包括之非导电层的介电常数以提供整体较低之电容予夹头。在本发明之夹头组合中,与基底(例如晶圆)接触之介电顶层具有较佳大于约5之介电常数,且电阻率较佳大于约1E6 ohm.m,然而,介电底层具有较佳少于约5之介电常数及较佳大于约1E10 ohm.m之电阻率。中间层较佳具有电阻率少于约1 ohm.m之导电层。静电夹头可以结合至涂覆有抗电弧介电材料之热槽(sink)。热槽也可作为RF电极。热槽可以提供冷却剂及气体信道以馈送冷却用气体至晶圆背面。热槽可以具有送料直通以将动力供给静电夹头中之分段的电极。用于送料直通之信道、气体送料孔及举针(lift pins)可用陶瓷或聚合物作衬里以防止任何放电至热槽。静电夹头是用以夹持工作基底,例如半导体工具中所用之Si、GaAs、SiO2等。

66. 发明专利

TW200900508A 鈍氣的注入方法 INJECTION METHOD FOR INERT GAS 审中-公开
简体标题：钝气的注入方法 INJECTION METHOD FOR INERT GAS
公开(公告)号：TW200900508A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW096148297
申请日：2007-12-17
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：威廉瑪哈尼 MAHONEY, WILLIAM JOHN , 蓋瑞法地恩 VARDIAN, GARY THOMAS
IPC分类号： C21C
CPC分类号： F23L7/00 , C21C5/4606 , F23D14/22 , F23D14/32 , F23L2900/07002 , F27D3/16
摘要：一種用於形成包含一鈍氣,譬如純氬及╱氬氧混合物,之內部護罩式超音速同軸噴流(coherent jets)的方法與設備。該方法與設備可被用來用一上吹管(top lance)在鹼性吹氧煉鋼中製造低碳鋼。
简体摘要：一种用于形成包含一钝气,譬如纯氩及╱氩氧混合物,之内部护罩式超音速同轴喷流(coherent jets)的方法与设备。该方法与设备可被用来用一上吹管(top lance)在碱性吹氧炼钢中制造低碳钢。

67. 发明专利

TW200844360A 試劑分配裝置及輸送方法 REAGENT DISPENSING APPARATUS AND DELIVERY METHOD 审中-公开
简体标题：试剂分配设备及输送方法 REAGENT DISPENSING APPARATUS AND DELIVERY METHOD
公开(公告)号：TW200844360A
公开(公告)日：2008-11-16
申请号：TW097103120
申请日：2008-01-28
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：羅納史彭 SPOHN, RONALD F. , 大衛彼得斯 PETERS, DAVID WALTER
IPC分类号： F17C , F16J
CPC分类号： C23C16/4409 , C23C16/4482 , F16J15/0887 , F16J15/128 , Y10T428/13
摘要：本發明係有關於一種氣相或液相試劑分配裝置,該分配裝置包含一容器40其包括一可拆下的頂壁件20,一側壁件22及一底壁件26其內具有一池穴(sump cavity),其被建構來形成一內部容器隔間;該側壁件22具有一突起24其延伸入到該內部容器隔間內鄰近該頂壁件20;該頂壁件20與該突起24具有相對的平坦表面,其中該相對的平坦表面的至少一部分被硬化30;一金屬密封件10其與被硬化之相對的平坦表面30對準並與其接觸;一溫度感測器75(即,熱電偶)及76(即,熱電偶套管)與一來源化學物位準感測器78。該分配裝置可被用於試劑,譬如用於半導體物質與裝置的製造中之物質沉積的前驅物,的分配。
简体摘要：本发明系有关于一种气相或液相试剂分配设备,该分配设备包含一容器40其包括一可拆下的顶壁件20,一侧壁件22及一底壁件26其内具有一池穴(sump cavity),其被建构来形成一内部容器隔间;该侧壁件22具有一突起24其延伸入到该内部容器隔间内邻近该顶壁件20;该顶壁件20与该突起24具有相对的平坦表面,其中该相对的平坦表面的至少一部分被硬化30;一金属密封件10其与被硬化之相对的平坦表面30对准并与其接触;一温度传感器75(即,热电偶)及76(即,热电偶套管)与一来源化学物位准传感器78。该分配设备可被用于试剂,譬如用于半导体物质与设备的制造中之物质沉积的前驱物,的分配。

68. 发明专利

TW200811303A 通氣槽改良之濺鍍靶材組成件及含有此濺鍍靶材組成件之裝置 VENT GROOVE MODIFIED SPUTTER TARGET ASSEMBLY AND APPARATUS CONTAINING SAME 失效
简体标题：通气槽改良之溅镀靶材组成件及含有此溅镀靶材组成件之设备 VENT GROOVE MODIFIED SPUTTER TARGET ASSEMBLY AND APPARATUS CONTAINING SAME
公开(公告)号：TW200811303A
公开(公告)日：2008-03-01
申请号：TW096111914
申请日：2007-04-03
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：聖皮爾布蘭奇 BLANCHET, JEAN-PIERRE , 許正勳 HUR, JUNG HOON , 施羅伯特 SHIH, ROBERT
IPC分类号： C23C
摘要：一濺鍍靶材組成件,包含具有某種組態的通氣槽,以便在薄膜之物理氣相沉積期間降低靶材之發弧。
简体摘要：一溅镀靶材组成件,包含具有某种组态的通气槽,以便在薄膜之物理气相沉积期间降低靶材之发弧。

69. 发明专利

TW200718357A 低溫生物保存單元 CRYOGENIC BIOLOGICAL PRESERVATION UNIT 审中-公开
简体标题：低温生物保存单元 CRYOGENIC BIOLOGICAL PRESERVATION UNIT
公开(公告)号：TW200718357A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：TW095117347
申请日：2006-05-16
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：布萊斯雷彭薩 RAMPERSAD, BRYCE , 約翰洛伊 ROYAL, JOHN H. , 理察費玆葛瑞德 FITZGERALD, RICHARD C.
IPC分类号： F25B , F24F
CPC分类号： A01N1/02 , A01N1/0257 , F17C2203/0391 , F17C2221/014 , F17C2223/0161 , F17C2223/033 , F17C2227/0353 , F17C2265/015 , F17C2270/02
摘要：一種用來對生物材料做低溫保的系統,具有一專用的低溫製冷機(10),與一絕緣容器(1)結合在一起,且最好具有一隔膜分離器(33),其可處理進給空氣(30)來提供氣態氮(34)進入至絕緣容器(1),以供由該專用低溫製冷機(10)所提供的冷凍效果加以冷凝。
简体摘要：一种用来对生物材料做低温保的系统,具有一专用的低温制冷机(10),与一绝缘容器(1)结合在一起,且最好具有一隔膜分离器(33),其可处理进给空气(30)来提供气态氮(34)进入至绝缘容器(1),以供由该专用低温制冷机(10)所提供的冷冻效果加以冷凝。

70. 发明专利

TW200718356A 具有活性冷卻的低溫生物保存單元 CRYOGENIC BIOLOGICAL PRESERVATION UNIT WITH ACTIVE COOLING 审中-公开
简体标题：具有活性冷却的低温生物保存单元 CRYOGENIC BIOLOGICAL PRESERVATION UNIT WITH ACTIVE COOLING
公开(公告)号：TW200718356A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：TW095117346
申请日：2006-05-16
申请人：普雷瑟科技股份有限公司 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.
发明人：布萊斯雷彭薩 RAMPERSAD, BRYCE
IPC分类号： A01N , F25B
CPC分类号： A01N1/02 , A01N1/0257 , F17C2270/0509
摘要：一種低溫生物保存單元及操作方法,其中該單元內的大氣與外側大氣間的密封隔絕是透過改變來自低溫製冷機(8、6)的冷凍效果的量而達成的壓力維持效果,而由一密封蓋利用維持於壓縮狀態並與該蓋相接觸的柔軟聚合材料來加以達成的。
简体摘要：一种低温生物保存单元及操作方法,其中该单元内的大气与外侧大气间的密封隔绝是透过改变来自低温制冷机(8、6)的冷冻效果的量而达成的压力维持效果,而由一密封盖利用维持于压缩状态并与该盖相接触的柔软聚合材料来加以达成的。

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