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    • 34. 发明专利
    • 照射裝置
    • 照射设备
    • TW201616513A
    • 2016-05-01
    • TW104126096
    • 2015-08-11
    • 岩崎電氣股份有限公司IWASAKI ELECTRIC CO., LTD.
    • 村本浩亮MURAMOTO, HIROAKI山本勝YAMAMOTO, MASARU
    • G21K5/08G21K5/00
    • 本發明提供一種可將保持光罩之光罩支架相對於裝置本體容易地裝卸之照射裝置。 照射裝置之構成為:具有裝置本體、設置於裝置本體上之導引部82、沿導引部82向正面側拉出自如之光罩支架40、及驅動光罩支架40且對支撐於光罩支架上之光罩50之位置進行微調整之對位驅動部60、70,對位驅動部60、70設置於正面側與背面側,正面側對位驅動部60具備驅動馬達61、及連結驅動馬達61及光罩支架40之連結軸62,連結軸62自驅動馬達61脫離自如,驅動馬達61係配置於自光罩支架40之拉出軌跡偏離之位置。
    • 本发明提供一种可将保持光罩之光罩支架相对于设备本体容易地装卸之照射设备。 照射设备之构成为:具有设备本体、设置于设备本体上之导引部82、沿导引部82向正面侧拉出自如之光罩支架40、及驱动光罩支架40且对支撑于光罩支架上之光罩50之位置进行微调整之对位驱动部60、70,对位驱动部60、70设置于正面侧与背面侧,正面侧对位驱动部60具备驱动马达61、及链接驱动马达61及光罩支架40之链接轴62,链接轴62自驱动马达61脱离自如,驱动马达61系配置于自光罩支架40之拉出轨迹偏离之位置。