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21. 发明专利

TWI610039B 沖洗線路變更用塊接頭及流體控制裝置有权
简体标题：冲洗线路变更用块接头及流体控制设备
公开(公告)号：TWI610039B
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW102106814
申请日：2013-02-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：余湖隆司 , YOGO, RYUJI , 四方出 , SHIKATA, IZURU , 小艾睦典 , KOYOMOGI, MUTSUNORI , 牧野惠 , MAKINO, MEGUMU , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO
IPC分类号： F16K27/00 , F16L41/02 , F17D1/04
CPC分类号： F16K27/003 , C23C16/45561 , H01L21/67017 , Y10T137/4259 , Y10T137/87885

22. 发明专利

TWI608189B 氣體淨化裝置及氣體淨化方法有权
简体标题：气体净化设备及气体净化方法
公开(公告)号：TWI608189B
公开(公告)日：2017-12-11
申请号：TW103128610
申请日：2014-08-20
申请人：村田機械股份有限公司 , MURATA MACHINERY, LTD.
发明人：村田正直 , MURATA, MASANAO , 山路孝 , YAMAJI, TAKASHI
IPC分类号： F17D1/04 , B05B1/00
CPC分类号： H01L21/67389 , G03F1/66 , H01L21/67393

23. 发明专利

TW201700908A 微電網及微氣網之多能源供應系統审中-公开
简体标题：微电网及微气网之多能源供应系统
公开(公告)号：TW201700908A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW104120052
申请日：2015-06-22
申请人：電聯運通股份有限公司
发明人：曾令遠 , 陳澤宗 , 王舜宇
IPC分类号： F17D1/04 , H01M8/06 , H02J7/00
摘要：一種微電網及微氣網之多能源供應系統，係包括至少一微型氣化站、氣化控制器、一以複數燃料電池模組組成之燃料電池發電群組及至少一發電群組控制器，其中，至少一微型氣化站連結輸入至少一列液態天然氣(Liquefied Natural Gas,LNG)運輸火車或槽運車輸運卸載之液態天然氣，該微型氣化站藉該氣化控制器控制，將該輸入之液態天然氣進行氣化處理，以產生天然氣輸出給至少一天然氣用戶供應之微氣網及該燃料電池發電群組，使該燃料電池發電群組產生發電電力，並藉由該發電群組控制器之控制，將輸出之電力供給至少一電力用戶供應之微電網，並且，該燃料電池發電群組中之燃料電池模組所產生之熱氣、熱水，並再反饋給微型氣化站作為液態天然氣氣化處理所需之熱源。
简体摘要：一种微电网及微气网之多能源供应系统，系包括至少一微型气化站、气化控制器、一以复数燃料电池模块组成之燃料电池发电群组及至少一发电群组控制器，其中，至少一微型气化站链接输入至少一列液态天然气(Liquefied Natural Gas,LNG)运输火车或槽运车输运卸载之液态天然气，该微型气化站藉该气化控制器控制，将该输入之液态天然气进行气化处理，以产生天然气输出给至少一天然气用户供应之微气网及该燃料电池发电群组，使该燃料电池发电群组产生发电电力，并借由该发电群组控制器之控制，将输出之电力供给至少一电力用户供应之微电网，并且，该燃料电池发电群组中之燃料电池模块所产生之热气、热水，并再反馈给微型气化站作为液态天然气气化处理所需之热源。

24. 发明专利

TW201634734A 流路構造、吸排氣構件及處理裝置审中-公开
简体标题：流路构造、吸排气构件及处理设备
公开(公告)号：TW201634734A
公开(公告)日：2016-10-01
申请号：TW104129991
申请日：2015-09-10
申请人：東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：寺田貴洋 , TERADA, TAKAHIRO , 田中正幸 , TANAKA, MASAYUKI , 加藤視紅磨 , KATO, SHIGUMA
IPC分类号： C23C16/455 , F17D1/04
CPC分类号： H01L21/67017 , B33Y80/00 , C23C16/4412 , F17D1/00 , F17D1/04
摘要：本發明之一實施形態之流路構造具有構件。於上述構件，設置複數個第1開口部、複數個第2開口部、流路、及複數個合流分支部。上述流路連接上述複數個第1開口部與上述複數個第2開口部之間。上述合流分支部各自具有：複數個第1部分，其等設置於上述流路，且各自具有相互連接之第1端部；及複數個第2部分，其等各自具有相互連接之第2端部，且於上述第1開口部與上述第2開口部之間之路徑中，較上述第1部分更靠近上述第2開口部。上述合流分支部之各個上述第1端部與上述第2端部連接。
简体摘要：本发明之一实施形态之流路构造具有构件。于上述构件，设置复数个第1开口部、复数个第2开口部、流路、及复数个合流分支部。上述流路连接上述复数个第1开口部与上述复数个第2开口部之间。上述合流分支部各自具有：复数个第1部分，其等设置于上述流路，且各自具有相互连接之第1端部；及复数个第2部分，其等各自具有相互连接之第2端部，且于上述第1开口部与上述第2开口部之间之路径中，较上述第1部分更靠近上述第2开口部。上述合流分支部之各个上述第1端部与上述第2端部连接。

25. 发明专利

TWI509100B 用於多通道脈衝氣體傳送的方法及裝置有权
简体标题：用于多信道脉冲气体发送的方法及设备
公开(公告)号：TWI509100B
公开(公告)日：2015-11-21
申请号：TW100135295
申请日：2011-09-29
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：丁軍華 , DING, JUNHUA , 比尼狄克特史考特 , BENEDICT, SCOTT , 畢薩拉傑洛斯羅 , PISERA, JAROSLAW
IPC分类号： C23C16/455 , F17D1/20 , F17D1/04
CPC分类号： G05D7/0635 , C23C16/45523 , C23C16/45557 , G05D7/0623

26. 发明专利

TW201533377A 群集質量流裝置及將其併入之複式線路質量流裝置审中-公开
简体标题：群集质量流设备及将其并入之复式线路质量流设备
公开(公告)号：TW201533377A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103131346
申请日：2014-09-11
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：塔斯卡馬克 , TASKAR, MARK , 沙瑞夫艾克柏 , SHAREEF, IQBAL
IPC分类号： F17D3/01 , F17D1/04
CPC分类号： G05D7/0641 , F16K27/003 , G05D7/0652 , Y10T137/2499
摘要：本發明提供用以將二或更多流體受控制地輸送至製程腔室中的複式線路質量流裝置。複式線路質量流裝置包含群集質量流控制歧管及複式入口歧管。群集質量流控制歧管包含控制器、氣體歧管裝設塊體、及二或更多氣體流控制站。複式入口歧管包含複式入口裝設塊體、及裝設於該複式入口裝設塊體上的二或更多隔離閥。
简体摘要：本发明提供用以将二或更多流体受控制地输送至制程腔室中的复式线路质量流设备。复式线路质量流设备包含群集质量流控制歧管及复式入口歧管。群集质量流控制歧管包含控制器、气体歧管装设块体、及二或更多气体流控制站。复式入口歧管包含复式入口装设块体、及装设于该复式入口装设块体上的二或更多隔离阀。

27. 发明专利

TWI495820B 氣體供給裝置有权
简体标题：气体供给设备
公开(公告)号：TWI495820B
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：TW101135867
申请日：2012-09-28
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：廣瀨隆 , HIROSE, TAKASHI , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F17D1/04 , F17D3/01 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： F16K27/003 , Y10T137/4259 , Y10T137/86485 , Y10T137/86493 , Y10T137/87885

28. 发明专利

TW201530041A 促進對於多腔室的系統單點連接之緊密危險性氣體線分配审中-公开
简体标题：促进对于多腔室的系统单点连接之紧密危险性气体线分配
公开(公告)号：TW201530041A
公开(公告)日：2015-08-01
申请号：TW103134779
申请日：2014-10-06
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：狄馬斯丹尼斯L , DEMARS, DENNIS L.
IPC分类号： F17D1/04 , F17D3/01
CPC分类号： F17D1/04 , F17D1/065 , F17D3/01 , Y10T137/0402 , Y10T137/8326 , Y10T137/86083
摘要：於此揭露一種藉由使用真空系統及氣體輸送系統的用於安全地致能設施中至少一個氣體線的輸送至至少一個使用點的系統及方法，其中該氣體輸送系統被罩在該真空系統內。包含至少一個氣體線於其中的管道之內部體積維持處於減低的壓力，氣體線的一個端連接至氣體來源而氣體線之另一端連接至使用點。藉由使用管道以封閉個別氣體線及使用針對各氣體的單一饋送線，揭露於此的實施例減低了經由設施所需運行的個別氣體線的數量。
简体摘要：于此揭露一种借由使用真空系统及气体输送系统的用于安全地致能设施中至少一个气体线的输送至至少一个使用点的系统及方法，其中该气体输送系统被罩在该真空系统内。包含至少一个气体线于其中的管道之内部体积维持处于减低的压力，气体线的一个端连接至气体来源而气体线之另一端连接至使用点。借由使用管道以封闭个别气体线及使用针对各气体的单一馈送线，揭露于此的实施例减低了经由设施所需运行的个别气体线的数量。

29. 发明专利

TW201407078A 廢氣處理管路、製程設備及其氣流導引方法审中-公开
简体标题：废气处理管路、制程设备及其气流导引方法
公开(公告)号：TW201407078A
公开(公告)日：2014-02-16
申请号：TW101129053
申请日：2012-08-10
申请人：聯華電子股份有限公司 , UNITED MICROELECTRONICS CORP.
发明人：許晉銘 , HSU, CHIN MING , 黃冠評 , HUANG, GUAN PING
IPC分类号： F17D1/04
摘要：一種廢氣處理管路，包括一主管路以及一排氣接管。主管路具有一第一管壁以及一形成於第一管壁之一接入口。排氣接管之一端藉由接入口連接至第一管壁。排氣接管具有一第二管壁。第二管壁與第一管壁以一傾斜角接觸，且排氣接管沿著第一管壁通入一氣體於主管路中，以導引氣體以傾斜角沿著一螺旋路徑流動。此外，本發明亦揭露一種製程設備及其氣流導引方法。
简体摘要：一种废气处理管路，包括一主管路以及一排气接管。主管路具有一第一管壁以及一形成于第一管壁之一接入口。排气接管之一端借由接入口连接至第一管壁。排气接管具有一第二管壁。第二管壁与第一管壁以一倾斜角接触，且排气接管沿着第一管壁通入一气体于主管路中，以导引气体以倾斜角沿着一螺旋路径流动。此外，本发明亦揭露一种制程设备及其气流导引方法。

30. 发明专利

TWI411742B 氣體供應集合單元有权
简体标题：气体供应集合单元
公开(公告)号：TWI411742B
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：TW094102114
申请日：2005-01-25
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：川久保修 , OSAMU KAWAKUBO , 武市昭宏 , AKIHIRO TAKEICHI , 井上貴史 , TAKASHI INOUE , 三輪敏一 , TOSHIKAZU MIWA
IPC分类号： F17D1/04 , F17D3/14
CPC分类号： F17C13/04 , F17D1/04 , H01L21/02 , H01L21/205

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