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21. 发明专利

TWI515434B 帶電探針及其電場量測方法有权
简体标题：带电探针及其电场量测方法
公开(公告)号：TWI515434B
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW102109996
申请日：2013-03-21
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：曾繁根 , TSENG, FAN GANG , 張佐民 , CHANG, JOE MING
IPC分类号： G01Q70/08 , G01R29/12

22. 发明专利

TWI464423B 藉由凱文探針分析檢驗靜電卡盤之方法有权
简体标题：借由凯文探针分析检验静电卡盘之方法
公开(公告)号：TWI464423B
公开(公告)日：2014-12-11
申请号：TW098106403
申请日：2009-02-27
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：雅維言亞門 , AVOYAN, ARMEN , 侍宏 , SHIH, HONG , 達芬提約翰 , DAUGHERTY, JOHN
IPC分类号： G01R29/12 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67069 , H01L21/67253

23. 发明专利

TW201437640A 帶電探針及其電場量測方法审中-公开
简体标题：带电探针及其电场量测方法
公开(公告)号：TW201437640A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW102109996
申请日：2013-03-21
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：曾繁根 , TSENG, FAN GANG , 張佐民 , CHANG, JOE MING
IPC分类号： G01Q70/08 , G01R29/12
摘要：本發明提供一種帶電探針及其電場量測方法，探針可充電於單一顆黏合於探針針尖的駐極體奈米球以形成帶電荷之探針，並可適用於掃描探針顯微術。探針包含絕緣針頭基座、懸臂樑及單一顆駐極體奈米球。懸臂樑用以支撐絕緣針頭基座，單一顆奈米設置於絕緣針頭基座之磨損平面上。在使用電極接觸法後，單一顆奈米球可儲存有單一電性之固定量電荷，利用虛像法電荷計算公式計算單一電性之固定量電荷。在於探針尖端的駐極體奈米球儲電後，此探針即可於原子力顯微鏡系統上以輕敲法掃描影像或力距離曲線擷取任何物件表面之電場分佈圖。
简体摘要：本发明提供一种带电探针及其电场量测方法，探针可充电於单一颗黏合于探针针尖的驻极体奈米球以形成带电荷之探针，并可适用于扫描探针显微术。探针包含绝缘针头基座、悬臂梁及单一颗驻极体奈米球。悬臂梁用以支撑绝缘针头基座，单一颗奈米设置于绝缘针头基座之磨损平面上。在使用电极接触法后，单一颗奈米球可存储有单一电性之固定量电荷，利用虚像法电荷计算公式计算单一电性之固定量电荷。在于探针尖端的驻极体奈米球储电后，此探针即可于原子力显微镜系统上以轻敲法扫描影像或力距离曲线截取任何对象表面之电场分布图。

24. 发明专利

TW201419110A 用於電場量測系統之電極設計审中-公开
简体标题：用于电场量测系统之电极设计
公开(公告)号：TW201419110A
公开(公告)日：2014-05-16
申请号：TW102137797
申请日：2013-10-18
申请人：微晶片科技德國第二公司 , MICROCHIP TECHNOLOGY GERMANY II GMBH & CO. KG
发明人：奧鮑爾羅藍 , AUBAUER, ROLAND , 卡特納克勞斯 , KALTNER, CLAUS
IPC分类号： G06F3/044 , G01R29/12
CPC分类号： H03K17/962 , G01R27/2605 , H03K2017/9602 , H03K2217/960755
摘要：本發明揭示一種用於具有一傳輸電極及至少一接收電極之一電場感測器裝置之電極配置，其可具有一非導電基板，該非導電基板具有一第一導電層及一第二導電層。一第一電極配置於該第一導電層中，其中該第一電極係該電場感測器裝置之一接收電極，及一第二電極配置於該第二導電層中，其中該第二電極係該電場感測器裝置之一傳輸電極，其中該第二電極覆蓋比該第一電極大之一區域，且其中該第二電極經紋理化以減小該第一電極與該第二電極之間之電容。
简体摘要：本发明揭示一种用于具有一传输电极及至少一接收电极之一电场传感器设备之电极配置，其可具有一非导电基板，该非导电基板具有一第一导电层及一第二导电层。一第一电极配置于该第一导电层中，其中该第一电极系该电场传感器设备之一接收电极，及一第二电极配置于该第二导电层中，其中该第二电极系该电场传感器设备之一传输电极，其中该第二电极覆盖比该第一电极大之一区域，且其中该第二电极经纹理化以减小该第一电极与该第二电极之间之电容。

25. 发明专利

TWI645200B 非接觸式靜電量測裝置有权
简体标题：非接触式静电量测设备
公开(公告)号：TWI645200B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW107100397
申请日：2018-01-04
申请人：國立彰化師範大學 , NATIONAL CHANGHUA UNIVERSITY OF EDUCATION
发明人：沈志雄 , SHEN, CHIH-HSIUNG , 郭宜庭 , KUO, I-TING
IPC分类号： G01R29/12 , G01R29/24

26. 发明专利

TWI598797B 用於電場量測系統之電極設計有权
简体标题：用于电场量测系统之电极设计
公开(公告)号：TWI598797B
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：TW102137797
申请日：2013-10-18
申请人：微晶片科技德國公司 , MICROCHIP TECHNOLOGY GERMANY GMBH
发明人：奧鮑爾羅藍 , AUBAUER, ROLAND , 卡特納克勞斯 , KALTNER, CLAUS
IPC分类号： G06F3/044 , G01R29/12
CPC分类号： H03K17/962 , G01R27/2605 , H03K2017/9602 , H03K2217/960755

27. 发明专利

TWI582876B 絕緣物狀態判定總成及方法有权
简体标题：绝缘物状态判定总成及方法
公开(公告)号：TWI582876B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW102100118
申请日：2013-01-03
申请人：托卡洛股份有限公司 , TOCALO CO., LTD.
发明人：虻川志向 , ABUKAWA, SHIKOU , 山崎良 , YAMASAKI, RYO , 竹內純一 , TAKEUCHI, JUNICHI
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/68 , G01R29/12
CPC分类号： G01R27/02 , G01R27/26 , G01R29/12 , G01R31/12 , G01R31/2886 , H01L22/14

28. 发明专利

TWI563263B 靜電偵測記錄方法有权
简体标题：静电侦测记录方法
公开(公告)号：TWI563263B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：TW104138839
申请日：2015-11-23
申请人：朝陽科技大學
发明人：張家濟 , 王奕盛 , 陳隆信
IPC分类号： G01R29/12

29. 发明专利

TW201623980A 靜電計审中-公开
简体标题：静电计
公开(公告)号：TW201623980A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104105183
申请日：2015-02-13
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：王新河 , WANG, XIN-HE , 李東琦 , LI, DONG-QI , 王江濤 , WANG, JIANG-TAO , 武文贇 , WU, WEN-YUN , 何宇俊 , HE, YU-JUN , 柳鵬 , LIU, PENG , 趙清宇 , ZHAO, QING-YU , 姜開利 , JIANG, KAI-LI , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： G01R29/12
CPC分类号： G01R29/12
摘要：一種靜電計，包括一個傳感單元和一個控制單元，所述傳感單元包括N個靜電傳感元件、N-1個第二電極；所述N個靜電傳感元件間隔設置並且通過所述N-1個第二電極串聯，形成由N個靜電傳感元件構成的串聯結構，所述靜電傳感元件為單壁或少壁奈米碳管，當帶有靜電的待測物靠近該靜電傳感元件時，該靜電傳感元件的電阻值產生變化；所述控制單元與所述串聯結構的兩個端點電連接，用於測量所述N個靜電傳感元件電阻變化值ΔR，並將該電阻變化值ΔR轉換成靜電信息輸出。
简体摘要：一种静电计，包括一个传感单元和一个控制单元，所述传感单元包括N个静电传感组件、N-1个第二电极；所述N个静电传感组件间隔设置并且通过所述N-1个第二电极串联，形成由N个静电传感组件构成的串联结构，所述静电传感组件为单壁或少壁奈米碳管，当带有静电的待测物靠近该静电传感组件时，该静电传感组件的电阻值产生变化；所述控制单元与所述串联结构的两个端点电连接，用于测量所述N个静电传感组件电阻变化值ΔR，并将该电阻变化值ΔR转换成静电信息输出。

30. 实用新型

TWM502848U 靜電放電檢測裝置有权
简体标题：静电放电检测设备
公开(公告)号：TWM502848U
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：TW103221042
申请日：2014-11-27
申请人：惠特科技股份有限公司 , FITTECH CO.,LTD
发明人：汪世盟 , WONG, STEVIE , 楊璧聰 , YANG, PI TSUNG , 洪育民 , HUNG, YU MINMR
IPC分类号： G01R29/12

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