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1. 发明专利

TW201910778A 半導體裝置审中-公开
简体标题：半导体设备
公开(公告)号：TW201910778A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107115048
申请日：2018-05-03
申请人：台灣積體電路製造股份有限公司 , TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：張憲裕 , CHANG, HSIEN YU
IPC分类号： G01Q90/00 , G01Q70/08
摘要：半導體裝置包括管狀結構，包括彼此相疊的多個介電層與導體層；導體尖端，與位於管狀結構的上表面上的蓋導體層整體地形成，其中導體尖端延伸至管狀結構的中心孔；以及至少一光偵測器，形成於管狀結構的底部中。
简体摘要：半导体设备包括管状结构，包括彼此相叠的多个介电层与导体层；导体尖端，与位于管状结构的上表面上的盖导体层整体地形成，其中导体尖端延伸至管状结构的中心孔；以及至少一光侦测器，形成于管状结构的底部中。

2. 发明专利

TWI515434B 帶電探針及其電場量測方法有权
简体标题：带电探针及其电场量测方法
公开(公告)号：TWI515434B
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW102109996
申请日：2013-03-21
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：曾繁根 , TSENG, FAN GANG , 張佐民 , CHANG, JOE MING
IPC分类号： G01Q70/08 , G01R29/12

3. 发明专利

TW201437640A 帶電探針及其電場量測方法审中-公开
简体标题：带电探针及其电场量测方法
公开(公告)号：TW201437640A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW102109996
申请日：2013-03-21
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：曾繁根 , TSENG, FAN GANG , 張佐民 , CHANG, JOE MING
IPC分类号： G01Q70/08 , G01R29/12
摘要：本發明提供一種帶電探針及其電場量測方法，探針可充電於單一顆黏合於探針針尖的駐極體奈米球以形成帶電荷之探針，並可適用於掃描探針顯微術。探針包含絕緣針頭基座、懸臂樑及單一顆駐極體奈米球。懸臂樑用以支撐絕緣針頭基座，單一顆奈米設置於絕緣針頭基座之磨損平面上。在使用電極接觸法後，單一顆奈米球可儲存有單一電性之固定量電荷，利用虛像法電荷計算公式計算單一電性之固定量電荷。在於探針尖端的駐極體奈米球儲電後，此探針即可於原子力顯微鏡系統上以輕敲法掃描影像或力距離曲線擷取任何物件表面之電場分佈圖。
简体摘要：本发明提供一种带电探针及其电场量测方法，探针可充电於单一颗黏合于探针针尖的驻极体奈米球以形成带电荷之探针，并可适用于扫描探针显微术。探针包含绝缘针头基座、悬臂梁及单一颗驻极体奈米球。悬臂梁用以支撑绝缘针头基座，单一颗奈米设置于绝缘针头基座之磨损平面上。在使用电极接触法后，单一颗奈米球可存储有单一电性之固定量电荷，利用虚像法电荷计算公式计算单一电性之固定量电荷。在于探针尖端的驻极体奈米球储电后，此探针即可于原子力显微镜系统上以轻敲法扫描影像或力距离曲线截取任何对象表面之电场分布图。

4. 发明专利

TWI634331B 電子裝置的奈米探測系統及其奈米探針有权
简体标题：电子设备的奈米探测系统及其奈米探针
公开(公告)号：TWI634331B
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW106122148
申请日：2015-06-25
申请人：美商DCG系統公司 , DCG SYSTEMS, INC.
发明人：尼夫以色列 , NIV,ISRAEL , 弗拉迪米爾烏克蘭切夫 , VLADIMIR,UKRAINTSEV , 羅南班森 , RONEN,BENZION
IPC分类号： G01Q70/08 , H01J37/28 , G01R31/26

5. 发明专利

TW201634928A 測試機台的探針組件及其製作方法审中-公开
简体标题：测试机台的探针组件及其制作方法
公开(公告)号：TW201634928A
公开(公告)日：2016-10-01
申请号：TW104116159
申请日：2015-05-21
申请人：華亞科技股份有限公司 , INOTERA MEMORIES, INC.
发明人：王威智 , WANG, WEI-CHIH
IPC分类号： G01Q70/08 , G01Q70/16
CPC分类号： G01Q70/16 , B22C9/22 , B22D19/00 , B22D21/022 , B22D25/02 , B23K26/21 , B23K31/02 , G01Q60/48 , G01Q70/08 , G01Q70/14
摘要：本發明提供一新穎的方法，用以製作一測試機台的探針組件，以及其安裝、拆卸的方法，其中包含一主體、一連接部分、一基座部分，以及一探針針尖，自該基座部分相對於該連接部分的一端延伸出，其中該探針針尖與該基座部分由相同材料一體成形構成，並與該連接部分為不同材料。
简体摘要：本发明提供一新颖的方法，用以制作一测试机台的探针组件，以及其安装、拆卸的方法，其中包含一主体、一连接部分、一基座部分，以及一探针针尖，自该基座部分相对于该连接部分的一端延伸出，其中该探针针尖与该基座部分由相同材料一体成形构成，并与该连接部分为不同材料。

6. 发明专利

TW201600861A 電子裝置的奈米探測裝置及方法审中-公开
简体标题：电子设备的奈米探测设备及方法
公开(公告)号：TW201600861A
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW104120477
申请日：2015-06-25
申请人： DCG系統公司 , DCG SYSTEMS, INC.
发明人：以色列尼夫 , ISRAEL, NIV , 烏克蘭切夫弗拉迪米爾 , UKRAINTSEV, VLADIMIR , 班森羅南 , BENZION, RONEN
IPC分类号： G01Q70/08 , H01J37/28 , G01R31/26
CPC分类号： G01Q30/02 , G01R31/26 , G01R31/2601 , G01R31/2891 , H01J37/28 , H01J2237/2008 , H01J2237/208 , H01J2237/2817
摘要：本發明提供一種方法，用於使用掃描電子顯微鏡（SEM）和奈米探針的組合，測試一待測半導體裝置（DUT），該方法包括：取得該DUT內一注意區域（ROI ）的SEM影像；取得該ROI的CAD設計影像；將該CAD設計影像與該SEM影像對準，以辨認應接觸目標；取得一對應於該應接觸目標的網表，並使用該網表以判斷該等應接觸目標中，應選為測試目標的應接觸目標；及導航奈米探針，以將奈米探針著陸在各個測試目標，並形成該奈米探針與相應的測試目標之間的電性接觸。
简体摘要：本发明提供一种方法，用于使用扫描电子显微镜（SEM）和奈米探针的组合，测试一待测半导体设备（DUT），该方法包括：取得该DUT内一注意区域（ROI ）的SEM影像；取得该ROI的CAD设计影像；将该CAD设计影像与该SEM影像对准，以辨认应接触目标；取得一对应于该应接触目标的网表，并使用该网表以判断该等应接触目标中，应选为测试目标的应接触目标；及导航奈米探针，以将奈米探针着陆在各个测试目标，并形成该奈米探针与相应的测试目标之间的电性接触。

7. 发明专利

TWI603087B 電子裝置的奈米探測方法有权
简体标题：电子设备的奈米探测方法
公开(公告)号：TWI603087B
公开(公告)日：2017-10-21
申请号：TW104120477
申请日：2015-06-25
申请人： DCG系統公司 , DCG SYSTEMS, INC.
发明人：以色列尼夫 , ISRAEL, NIV , 烏克蘭切夫弗拉迪米爾 , UKRAINTSEV, VLADIMIR , 班森羅南 , BENZION, RONEN
IPC分类号： G01Q70/08 , H01J37/28 , G01R31/26
CPC分类号： G01Q30/02 , G01R31/26 , G01R31/2601 , G01R31/2891 , H01J37/28 , H01J2237/2008 , H01J2237/208 , H01J2237/2817

8. 发明专利

TW201625954A 掃描探針顯微鏡审中-公开
简体标题：扫描探针显微镜
公开(公告)号：TW201625954A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104132352
申请日：2015-10-01
申请人：荷蘭TNO自然科學組織公司 , NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
发明人：塔巴克菲克C , TABAK, FEMKE C. , 賽德克海馬納尼哈米德 , SADEGHIAN MARNANI, HAMED , 范艾斯馬丁胡博圖斯 , VAN ES, MAARTEN HUBERTUS
IPC分类号： G01Q30/12 , G01Q70/04 , G01Q70/08 , G01Q60/32
CPC分类号： G01Q70/04 , G01Q30/12 , G01Q30/18 , G01Q60/32
摘要：提供了一種掃描探針顯微鏡，包括一掃描探針(10)，一基座(5)以握持於不含液體環境內之一試樣(SMP)。於其內提供一掃描機構(20)，沿該試樣(SMP)之表面以感應該掃描探針(10)相對於該試樣(SMP)之一相對移動。一驅動器(30)，生成感應該掃描探針(10)相對於欲掃描之該試樣之表面之一振盪運動之一驅動訊號(Sd)。一量測單元(40)，量測該掃描探針(10)之偏移，及提供表明該偏移之一偏移訊號(Sδ)。一振幅偵測器(50)，偵測為該偏移訊號(Sδ)所顯示之該震盪運動之一振幅，及提供表明該振幅之一振幅訊號(Sa)。該掃描探針(10)係至少部分地容置於包括以減緩該掃描探針之運動之一液體(L)，其內具有少於或等於5之一品質因子Q。該掃描探針(10)係容置於包括該液體(L)之一外殼(90)之內，該掃描探針(10)包括一可撓載具(11)，該可撓載具含有具有一尖端(12)之一可移動部，其中尖端(12)延伸穿過該外殼內之一開口(91)。
简体摘要：提供了一种扫描探针显微镜，包括一扫描探针(10)，一基座(5)以握持于不含液体环境内之一试样(SMP)。于其内提供一扫描机构(20)，沿该试样(SMP)之表面以感应该扫描探针(10)相对于该试样(SMP)之一相对移动。一驱动器(30)，生成感应该扫描探针(10)相对于欲扫描之该试样之表面之一振荡运动之一驱动信号(Sd)。一量测单元(40)，量测该扫描探针(10)之偏移，及提供表明该偏移之一偏移信号(Sδ)。一振幅侦测器(50)，侦测为该偏移信号(Sδ)所显示之该震荡运动之一振幅，及提供表明该振幅之一振幅信号(Sa)。该扫描探针(10)系至少部分地容置于包括以减缓该扫描探针之运动之一液体(L)，其内具有少于或等于5之一品质因子Q。该扫描探针(10)系容置于包括该液体(L)之一外壳(90)之内，该扫描探针(10)包括一可挠载具(11)，该可挠载具含有具有一尖端(12)之一可移动部，其中尖端(12)延伸穿过该外壳内之一开口(91)。

9. 发明专利

TWI474004B 多頭探針及其製造與掃瞄方法有权
简体标题：多头探针及其制造与扫瞄方法
公开(公告)号：TWI474004B
公开(公告)日：2015-02-21
申请号：TW101125367
申请日：2012-07-13
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：曾繁根 , TSENG, FAN GANG , 張佐民 , CHANG, JOE MING
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q70/08
CPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/38 , G01Q70/06

10. 发明专利

TW201403071A 多頭探針及其製造與掃瞄方法审中-公开
简体标题：多头探针及其制造与扫瞄方法
公开(公告)号：TW201403071A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：TW101125367
申请日：2012-07-13
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：曾繁根 , TSENG, FAN GANG , 張佐民 , CHANG, JOE MING
IPC分类号： G01Q60/38 , G01Q70/08
CPC分类号： G01Q60/24 , G01Q60/38 , G01Q70/06
摘要：本發明提供了本發明提供一種多頭探針，適用於一原子力顯微鏡，其中，多頭探針包含：一針頭基座，具有一尖端，且該尖端係被磨損以產生一平面；單一懸臂樑，連結於該針頭基座並用以支撐該針頭基座；以及至少兩個針頭設置於平面上。
简体摘要：本发明提供了本发明提供一种多头探针，适用于一原子力显微镜，其中，多头探针包含：一针头基座，具有一尖端，且该尖端系被磨损以产生一平面；单一悬臂梁，链接于该针头基座并用以支撑该针头基座；以及至少两个针头设置于平面上。

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