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21. 发明专利

TW201837453A 缺陷分析审中-公开
公开(公告)号：TW201837453A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW106144734
申请日：2017-12-20
申请人：美商FEI公司 , FEI COMPANY
发明人：米勒湯瑪士 , MILLER, THOMAS
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/95 , G01N25/72 , G01N27/20
摘要：本發明揭示一種用於分析缺陷之系統，其包括使用一晶圓檢測工具判定一缺陷之座標；識別接近該等缺陷座標之一所關注結構；引導一聚焦離子束朝向該晶圓以曝露該所關注結構；及形成該經曝露所關注結構之一影像，其中引導該聚焦離子束以在對應於該經識別所關注結構之一位置處而非在該缺陷之該等座標處研磨。
简体摘要：本发明揭示一种用于分析缺陷之系统，其包括使用一晶圆检测工具判定一缺陷之座标；识别接近该等缺陷座标之一所关注结构；引导一聚焦离子束朝向该晶圆以曝露该所关注结构；及形成该经曝露所关注结构之一影像，其中引导该聚焦离子束以在对应于该经识别所关注结构之一位置处而非在该缺陷之该等座标处研磨。

22. 发明专利

TW201826290A 測試插座以及導電顆粒审中-公开
简体标题：测试插座以及导电颗粒
公开(公告)号：TW201826290A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106115603
申请日：2017-05-11
申请人： ISC股份有限公司 , ISC CO., LTD.
发明人：鄭永倍 , CHUNG, YOUNG BAE
IPC分类号： H01B5/14 , H01B1/22 , G01N27/20
摘要：本發明是有關於一種測試插座。更具體而言，所述測試插座被配置成放置於測試目標裝置與測試設備之間，以將所述測試目標裝置的端子電性連接至所述測試設備的接墊。所述測試插座包括：多個導電部，排列於與測試目標裝置的端子對應的位置且在測試插座的表面方向上彼此間隔開，所述導電部中的每一者包括多個導電顆粒，所述多個導電顆粒包含於彈性絕緣材料中且在測試插座的厚度方向上對齊；以及絕緣支撐體，排列於彼此間隔開的導電部之間，以支撐所述導電部並使所述導電部在表面方向上彼此絕緣，其中導電顆粒中的每一者包括：本體，具有柱形狀；以及至少兩個突出部，自所述本體的上端部突出，其中在彼此相鄰的所述突出部之間設置有朝所述本體凹陷的凹陷部，所述突出部的端部具有凸的圓形形狀，且所述凹陷部的中心區具有凹的圓形形狀。
简体摘要：本发明是有关于一种测试插座。更具体而言，所述测试插座被配置成放置于测试目标设备与测试设备之间，以将所述测试目标设备的端子电性连接至所述测试设备的接垫。所述测试插座包括：多个导电部，排列于与测试目标设备的端子对应的位置且在测试插座的表面方向上彼此间隔开，所述导电部中的每一者包括多个导电颗粒，所述多个导电颗粒包含于弹性绝缘材料中且在测试插座的厚度方向上对齐；以及绝缘支撑体，排列于彼此间隔开的导电部之间，以支撑所述导电部并使所述导电部在表面方向上彼此绝缘，其中导电颗粒中的每一者包括：本体，具有柱形状；以及至少两个突出部，自所述本体的上端部突出，其中在彼此相邻的所述突出部之间设置有朝所述本体凹陷的凹陷部，所述突出部的端部具有凸的圆形形状，且所述凹陷部的中心区具有凹的圆形形状。

23. 发明专利

TWI589866B 孔蝕監控用測試件、孔蝕監控裝置以及孔蝕監控方法有权
简体标题：孔蚀监控用测试件、孔蚀监控设备以及孔蚀监控方法
公开(公告)号：TWI589866B
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW103101699
申请日：2014-01-17
申请人：栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：居安志 , IYASU, TAKASHI , 森信太郎 , MORI, SHINTAROU
IPC分类号： G01N27/00 , G01N17/00 , G01N27/20
CPC分类号： G01N17/02

24. 发明专利

TW201640108A 高壓放電檢測絕緣體破洞之系統及方法审中-公开
简体标题：高压放电检测绝缘体破洞之系统及方法
公开(公告)号：TW201640108A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：TW104115368
申请日：2015-05-14
申请人：國立高雄第一科技大學 , NATIONAL KAOHSIUNG FIRST UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人：張簡嘉壬 , CHANG CHIEN, JIA REN
IPC分类号： G01N27/20
摘要：本發明係有關於一種高壓放電檢測絕緣體破洞之系統及方法，其主要係令檢測系統對絕緣布料，先由第一級檢測單元對絕緣布料進行線狀檢測，再由第二級檢測單元對絕緣布料進行點狀檢測，並於檢測出絕緣布料具有破損時，利用標注器對絕緣布料上之破損位置進行標注；藉此，不僅能準確的檢測出絕緣布料破損之位置，且能對絕緣布料所檢測出之破損位置進行標注，以能清楚的辨別出絕緣布料之破損位置，而在其整體施行使用上更增實用功效特性者。
简体摘要：本发明系有关于一种高压放电检测绝缘体破洞之系统及方法，其主要系令检测系统对绝缘布料，先由第一级检测单元对绝缘布料进行线状检测，再由第二级检测单元对绝缘布料进行点状检测，并于检测出绝缘布料具有破损时，利用标注器对绝缘布料上之破损位置进行标注；借此，不仅能准确的检测出绝缘布料破损之位置，且能对绝缘布料所检测出之破损位置进行标注，以能清楚的辨别出绝缘布料之破损位置，而在其整体施行使用上更增实用功效特性者。

25. 发明专利

TW201604983A 在電漿處理設備中即時診斷部件狀態之方法及裝置审中-公开
简体标题：在等离子处理设备中实时诊断部件状态之方法及设备
公开(公告)号：TW201604983A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW104130540
申请日：2008-09-04
申请人：美商藍姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：派屈克羅傑 , PATRICK,ROGER
IPC分类号： H01L21/66 , G01N27/20
CPC分类号： G01N27/20 , C23C16/50 , G01N17/00 , G01N17/04 , Y10T29/49004
摘要：本發明揭示一種用於診斷一電漿反應室之一耗材部件狀態之裝置及方法，該耗材部件包括嵌入於其中的至少一傳導元件。該方法包括下列步驟：耦合該傳導元件至一電源供應器，致使相對於接地的一偏壓電位被施加至該傳導元件；使該耗材部件曝露於電漿腐蝕，直到在該傳導元件曝露於該電漿下該傳導元件自該電漿汲取一電流；測量該電流；及基於該測量之電流來評估歸因於該電漿所致之該耗材部件之一腐蝕程度。
简体摘要：本发明揭示一种用于诊断一等离子反应室之一耗材部件状态之设备及方法，该耗材部件包括嵌入于其中的至少一传导组件。该方法包括下列步骤：耦合该传导组件至一电源供应器，致使相对于接地的一偏压电位被施加至该传导组件；使该耗材部件曝露于等离子腐蚀，直到在该传导组件曝露于该等离子下该传导组件自该等离子汲取一电流；测量该电流；及基于该测量之电流来评估归因于该等离子所致之该耗材部件之一腐蚀程度。

26. 发明专利

TWI465715B 電路板孔內焊錫之測試方法有权
简体标题：电路板孔内焊锡之测试方法
公开(公告)号：TWI465715B
公开(公告)日：2014-12-21
申请号：TW101100629
申请日：2012-01-06
申请人：臻鼎科技股份有限公司 , ZHEN DING TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：白耀文 , BAI, YAO-WEN
IPC分类号： G01N27/20 , H05K3/00

27. 发明专利

TW201435338A 孔蝕監控用測試件、孔蝕監控裝置以及孔蝕監控方法审中-公开
简体标题：孔蚀监控用测试件、孔蚀监控设备以及孔蚀监控方法
公开(公告)号：TW201435338A
公开(公告)日：2014-09-16
申请号：TW103101699
申请日：2014-01-17
申请人：栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：居安志 , IYASU, TAKASHI , 森信太郎 , MORI, SHINTAROU
IPC分类号： G01N27/00 , G01N17/00 , G01N27/20
CPC分类号： G01N17/02
摘要：本發明提供一種亦可偵測微生物影響的新穎的孔蝕監控技術。本發明提供一種孔蝕監控用測試件，該孔蝕監控用測試件是用於評價水系統的金屬構件中產生的孔蝕的進展狀況的孔蝕監控，且包括：陰極部，包含與上述金屬構件相同的金屬材料，且至少於表面的一部分形成有凹凸；及陽極部，與該陰極部電性絕緣，且包含上述金屬材料。本發明的孔蝕監控用測試件可在陰極部中偵測微生物的影響，故而可更高感度地掌握陰極反應，其結果，可進行更高精度的孔蝕監控。
简体摘要：本发明提供一种亦可侦测微生物影响的新颖的孔蚀监控技术。本发明提供一种孔蚀监控用测试件，该孔蚀监控用测试件是用于评价水系统的金属构件中产生的孔蚀的进展状况的孔蚀监控，且包括：阴极部，包含与上述金属构件相同的金属材料，且至少于表面的一部分形成有凹凸；及阳极部，与该阴极部电性绝缘，且包含上述金属材料。本发明的孔蚀监控用测试件可在阴极部中侦测微生物的影响，故而可更高感度地掌握阴极反应，其结果，可进行更高精度的孔蚀监控。

28. 发明专利

TW201323866A 顯示面板或其他圖案化裝置之斷裂的偵測审中-公开
简体标题：显示皮肤或其他图案化设备之断裂的侦测
公开(公告)号：TW201323866A
公开(公告)日：2013-06-16
申请号：TW101136179
申请日：2012-09-28
申请人：蘋果公司 , APPLE INC.
发明人：渥卓喬許亞葛瑞 , WURZEL, JOSHUA GREY , 畢亞飛 , BI, YAFEI , 姚維信 , YAO, WEI H.
IPC分类号： G01N27/20 , G09G3/00
CPC分类号： G06F11/0769 , G06F1/1601 , G06F1/1637 , G06F11/0742 , G06F11/0772 , G06F11/3044 , G06F11/3058 , G06F11/327 , G06F2200/1612 , G09G3/20 , G09G2330/12 , Y10T29/49004
摘要：本發明提供用於使用顯示面板60或其他圖案化裝置上之外部電阻性跡線20來偵測該顯示面板60或其他圖案化裝置之斷裂或微斷裂的系統、方法及裝置。為了提供僅僅一項實例，一種系統可包括一顯示器18及資料處理電路84。該顯示器18可包括一顯示面板60，該顯示面板60具有靠近該顯示面板60之邊緣而安置之一外部電阻性跡線20。該顯示器18可包括可偵測該外部電阻性跡線20之一不連續性之出現的不連續性偵測電路68。該資料處理電路84可至少部分地基於該不連續性之該出現來判定該顯示面板60是否很可能遭受一災難性故障。該資料處理電路84亦可在該顯示面板60很可能遭受該災難性故障時致使該顯示器18顯示一使用者警告。
简体摘要：本发明提供用于使用显示皮肤60或其他图案化设备上之外部电阻性迹线20来侦测该显示皮肤60或其他图案化设备之断裂或微断裂的系统、方法及设备。为了提供仅仅一项实例，一种系统可包括一显示器18及数据处理电路84。该显示器18可包括一显示皮肤60，该显示皮肤60具有靠近该显示皮肤60之边缘而安置之一外部电阻性迹线20。该显示器18可包括可侦测该外部电阻性迹线20之一不连续性之出现的不连续性侦测电路68。该数据处理电路84可至少部分地基于该不连续性之该出现来判定该显示皮肤60是否很可能遭受一灾难性故障。该数据处理电路84亦可在该显示皮肤60很可能遭受该灾难性故障时致使该显示器18显示一用户警告。

29. 发明专利

TW201300771A 絕緣測定用探針單元及絕緣測定裝置审中-公开
简体标题：绝缘测定用探针单元及绝缘测定设备
公开(公告)号：TW201300771A
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW101107335
申请日：2012-03-05
申请人：日本麥克隆尼股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
发明人：大地隆廣 , OHCHI, TAKAHIRO , 宇田隆 , UDA, TAKASHI , 前川貴史 , MAEKAWA, TAKAFUMI
IPC分类号： G01N27/20 , G01R31/12
CPC分类号： Y02E10/50
摘要：〔課題〕能夠在短時間內而容易地且高精確度地來進行對於基板之周邊部的殘膜之檢查。〔解決手段〕絕緣測定用探針單元，係對於基板表面之內側部和周邊部之間的絕緣狀態作測定。其係具備有：面探針，係被形成為與上述基板表面之周邊部相同形狀，並以面狀而與周邊部全體作接觸以作全面導通；和接觸探針，係與上述基板表面之內側部作接觸，對於上述面探針所作了接觸的上述基板表面之周邊部、和上述接觸探針所作了接觸的上述基板表面之內側部，其兩者間的絕緣狀態作測定。在具備有搬送機構、檢查平台、測定電路單元、升降機構等之絕緣測定裝置中，而將上述絕緣測定用探針單元作了組入。
简体摘要：〔课题〕能够在短时间内而容易地且高精确度地来进行对于基板之周边部的残膜之检查。〔解决手段〕绝缘测定用探针单元，系对于基板表面之内侧部和周边部之间的绝缘状态作测定。其系具备有：面探针，系被形成为与上述基板表面之周边部相同形状，并以面状而与周边部全体作接触以作全面导通；和接触探针，系与上述基板表面之内侧部作接触，对于上述面探针所作了接触的上述基板表面之周边部、和上述接触探针所作了接触的上述基板表面之内侧部，其两者间的绝缘状态作测定。在具备有搬送机构、检查平台、测定电路单元、直升电梯构等之绝缘测定设备中，而将上述绝缘测定用探针单元作了组入。

30. 发明专利

TWI645422B 測試插座以及導電顆粒有权
简体标题：测试插座以及导电颗粒
公开(公告)号：TWI645422B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW106115629
申请日：2017-05-11
申请人： ISC股份有限公司 , ISC CO., LTD.
发明人：鄭永倍 , CHUNG, YOUNG BAE
IPC分类号： H01B5/14 , H01B1/22 , G01N27/20

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