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21. 发明专利

TWI328164B 工具效能之監控方法以及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING TOOL PERFORMANCE 有权
简体标题：工具性能之监控方法以及设备 METHOD AND APPARATUS FOR MONITORING TOOL PERFORMANCE
公开(公告)号：TWI328164B
公开(公告)日：2010-08-01
申请号：TW092113890
申请日：2003-05-22
申请人：東京威力科創股份有限公司
发明人：馬利特馮克 , 戶澤昌紀
IPC分类号： G06F
CPC分类号： H01L21/67276 , G05B19/4065 , G05B2219/37234 , G05B2219/45031 , H01L21/67253
摘要：一種用以監控在一半導體處理系統中之處理工具效能的方法及系統。該半導體處理系統包括複數個處理工具、複數個模組、複數個感應器及一警報管理系統。執行一工具健康控制策略，其中針對處理工具收集工具健康資料。執行工具健康分析策略，於其中分析該工具健康資料。當一警報發生時，一調停管理器可以暫停該處理工具。當未發生一警報時，該調停管理器可以防止暫停該處理工具。
简体摘要：一种用以监控在一半导体处理系统中之处理工具性能的方法及系统。该半导体处理系统包括复数个处理工具、复数个模块、复数个感应器及一警报管理系统。运行一工具健康控制策略，其中针对处理工具收集工具健康数据。运行工具健康分析策略，于其中分析该工具健康数据。当一警报发生时，一调停管理器可以暂停该处理工具。当未发生一警报时，该调停管理器可以防止暂停该处理工具。

22. 发明专利

TW200827659A 加工終點檢測方法、研磨方法及研磨裝置 PROCESSING END POINT DETECTING METHOD, POLISHING METHOD AND POLISHING APPARATUS 审中-公开
简体标题：加工终点检测方法、研磨方法及研磨设备 PROCESSING END POINT DETECTING METHOD, POLISHING METHOD AND POLISHING APPARATUS
公开(公告)号：TW200827659A
公开(公告)日：2008-07-01
申请号：TW096137408
申请日：2007-10-05
申请人：荏原製作所股份有限公司 EBARA CORPORATION , 東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：清水展 SHIMIZU, NOBURU , 大田真朗 OHTA, SHINRO , 丸山浩二 MARUYAMA, KOJI , 小林洋一 KOBAYASHI, YOICHI , 三谷隆一郎 MITANI, RYUICHIRO , 中井俊輔 NAKAI, SHUNSUKE , 重田厚 SHIGETA, ATSUSHI
IPC分类号： G01B , H01L
CPC分类号： B24B49/04 , B24B37/013 , B24B49/12 , B24B49/16 , B24D7/12 , G01B11/0675 , G01N21/55 , G01N21/9501 , G05B19/406 , G05B19/4065 , H01L22/26 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要：本發明係關於一種算出基板等加工對象物之被加工面的特性値,而檢測加工終點(研磨停止、研磨條件的變更等)的時序之方法。此方法係使用基準被加工物或藉由模擬計算,產生用以表示出加工終點之反射强度與波長之間的關係之分光波形,並根據上述分光波形,選擇成為反射强度的極大値及極小値之波長,從上述所選擇的波長之反射强度中算出對於被加工面之特性値,並將被加工物的加工終點之特性値的時間變化之特徵點設定為加工終點,於加工對象物的加工中藉由檢測上述特徵點而檢測被加工物的加工終點。
简体摘要：本发明系关于一种算出基板等加工对象物之被加工面的特性値,而检测加工终点(研磨停止、研磨条件的变更等)的时序之方法。此方法系使用基准被加工物或借由仿真计算,产生用以表示出加工终点之反射强度与波长之间的关系之分光波形,并根据上述分光波形,选择成为反射强度的极大値及极小値之波长,从上述所选择的波长之反射强度中算出对于被加工面之特性値,并将被加工物的加工终点之特性値的时间变化之特征点设置为加工终点,于加工对象物的加工中借由检测上述特征点而检测被加工物的加工终点。

23. 发明专利

TW483796B 複合工具之壽命管理方法失效
简体标题：复合工具之寿命管理方法
公开(公告)号：TW483796B
公开(公告)日：2002-04-21
申请号：TW090114764
申请日：2001-06-18
申请人：山崎馬札庫股份有限公司
发明人：山崎恒彥 , 福村直慧 , 水門正良 , 木方一博 , 宮貞美 , 牧浩一
IPC分类号： B23Q , B23B
CPC分类号： G05B19/40938 , B23B51/04 , B23B2270/56 , B23Q3/155 , G05B19/00 , G05B19/4065 , G05B2219/36362 , G05B2219/37252 , G05B2219/49376 , Y02P90/265
摘要：將複數的嵌件22、23、25、26，單一或複數地同時使用，來行使旋轉切削加工及銑削(milling)加工之複合工具，其中前述複合工具的壽命判斷是藉由依照每一個嵌件，來累積計算加工時間要素UN、LN而行使的，且在至少有一個的嵌件被判斷為壽命到期的情形下，將安裝於該被判斷為壽命到期的嵌件之複合工具判斷為壽命到期。即使有任一個嵌件在達到壽命時，能立即的停止由該複工具所進行的加工，並能防止因繼續的使用已達壽命的嵌件而引起之加工精度惡化。且，因為隨照著個一個嵌件來累積計算加工時間要素的關係，所以能明白的區分出已達壽命和未達壽命之嵌件。
简体摘要：将复数的嵌件22、23、25、26，单一或复数地同时使用，来行使旋转切削加工及铣削(milling)加工之复合工具，其中前述复合工具的寿命判断是借由依照每一个嵌件，来累积计算加工时间要素UN、LN而行使的，且在至少有一个的嵌件被判断为寿命到期的情形下，将安装于该被判断为寿命到期的嵌件之复合工具判断为寿命到期。即使有任一个嵌件在达到寿命时，能立即的停止由该复工具所进行的加工，并能防止因继续的使用已达寿命的嵌件而引起之加工精度恶化。且，因为随照着个一个嵌件来累积计算加工时间要素的关系，所以能明白的区分出已达寿命和未达寿命之嵌件。

24. 发明专利

TW348089B 自一物件移除材料之製程的監視方法及系統失效
简体标题：自一对象移除材料之制程的监视方法及系统
公开(公告)号：TW348089B
公开(公告)日：1998-12-21
申请号：TW086100647
申请日：1997-01-22
申请人：陸克公司
发明人：何法克 , 李赫伯 , 周林均 , 季艾爾 , 崔修一 , 葛丹尼 , 蘇明
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B37/013 , B24B49/04 , B24B49/12 , G05B19/4065
摘要：在一種用以由一物件移去材料之裝置中，諸如一中介積體電路結構之一已暴露表面，這是藉著平坦化、拋光、蝕刻或其它類似方法，而一個感測器係機械式地耦合至該物件之一移動式載具，用以導引一電磁放射光束穿過該物件至其第一個側面，該放射光束具有一能大致穿透該結構之波長頻帶。在與該物件互相作用後即可偵測此光束，諸如由其已暴露之表面反射時，且該暴露表面處理狀態之最終資訊係由該移動式載具用放射傳送到一固定式接收器，而未使用任何物質傳送媒介，諸如電線或光纖。多個感測器係安裝在該移動式物件載具上，以便橫越該已暴露之物件表面提供該處理製程之一致性資訊。該固定式接收器所收到之放射訊號係用於監視或控制該處理製程，諸如藉此決定其一終點。
简体摘要：在一种用以由一对象移去材料之设备中，诸如一中介集成电路结构之一已暴露表面，这是借着平坦化、抛光、蚀刻或其它类似方法，而一个传感器系机械式地耦合至该对象之一移动式载具，用以导引一电磁放射光束穿过该对象至其第一个侧面，该放射光束具有一能大致穿透该结构之波长频带。在与该对象互相作用后即可侦测此光束，诸如由其已暴露之表面反射时，且该暴露表面处理状态之最终信息系由该移动式载具用放射发送到一固定式接收器，而未使用任何物质发送媒介，诸如电线或光纤。多个传感器系安装在该移动式对象载具上，以便横越该已暴露之对象表面提供该处理制程之一致性信息。该固定式接收器所收到之放射信号系用于监视或控制该处理制程，诸如借此决定其一终点。

25. 发明专利

TWI616736B 使用空間歪曲類似性進行工具失效分析的系統、方法、及電腦可讀媒介有权
简体标题：使用空间歪曲类似性进行工具失效分析的系统、方法、及电脑可读媒介
公开(公告)号：TWI616736B
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW105123001
申请日：2016-07-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：高斯豪桑吉 , KAUSHAL, SANJEEV , 帕特爾蘇凱斯家努百 , PATEL, SUKESH JANUBHAI , 波拉克沃夫岡 , POLAK, WOLFGANG , 沃爾夫奧利安 , WOLFE, ORION
IPC分类号： G05B19/048 , G05B19/408
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/37242 , G05B2219/37245 , G05B2219/45031

26. 发明专利

TW201806683A 工具機刀具管理系統與方法审中-公开
简体标题：工具机刀具管理系统与方法
公开(公告)号：TW201806683A
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW105126657
申请日：2016-08-19
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：鄭志平 , CHENG, CHIH-PING , 麥朝創 , MAI, CHAO-CHUANG
IPC分类号： B23B25/06 , G05B19/418
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/32422 , G05B2219/33079
摘要：一種工具機刀具管理系統，包括：讀取單元，根據刀具編碼，讀取類別參數；接收單元，以預定週期接收即時歷程資訊；儲存單元，記錄刀具編碼、類別參數與即時歷程資訊；處理單元，根據類別參數與即時歷程資訊，執行一權重演算以取得一結果；以及控制單元，根據結果，發送控制指令，例如停止使用等。
简体摘要：一种工具机刀具管理系统，包括：读取单元，根据刀具编码，读取类别参数；接收单元，以预定周期接收实时历程信息；存储单元，记录刀具编码、类别参数与实时历程信息；处理单元，根据类别参数与实时历程信息，运行一权重演算以取得一结果；以及控制单元，根据结果，发送控制指令，例如停止使用等。

27. 发明专利

TWI603826B 機器人保養支援裝置及方法有权
简体标题：机器人保养支持设备及方法
公开(公告)号：TWI603826B
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：TW104140969
申请日：2015-12-07
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：澤田洋美 , SAWADA, HIROMI , 吉村雅人 , YOSHIMURA, MASATO , 清水知也 , SHIMIZU, TOMOYA
IPC分类号： B25J19/00 , G05B23/00
CPC分类号： G05B19/4065 , B25J9/1674 , B25J19/0066 , G05B19/18 , G05B19/418 , G05B2219/39413 , G05B2219/50197

28. 发明专利

TWI581895B 振動切削加工診斷裝置有权
简体标题：振动切削加工诊断设备
公开(公告)号：TWI581895B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW104122512
申请日：2015-07-13
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：長岡弘太朗 , NAGAOKA, KOTARO , 田辺章 , TANABE, AKIRA , 東俊 , AZUMA, TOSHIHIRO
IPC分类号： B23Q17/12 , B23Q15/013 , B23B1/00
CPC分类号： G05B19/4065 , B23B5/36 , B23Q15/013 , B23Q15/08 , G05B19/406 , G05B2219/37087 , G05B2219/39241

29. 发明专利

TW201715320A 使用空間歪曲類似性進行工具失效分析审中-公开
简体标题：使用空间歪曲类似性进行工具失效分析
公开(公告)号：TW201715320A
公开(公告)日：2017-05-01
申请号：TW105123001
申请日：2016-07-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：高斯豪桑吉 , KAUSHAL, SANJEEV , 帕特爾蘇凱斯家努百 , PATEL, SUKESH JANUBHAI , 波拉克沃夫岡 , POLAK, WOLFGANG , 沃爾夫奧利安 , WOLFE, ORION
IPC分类号： G05B19/048 , G05B19/408
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/37242 , G05B2219/37245 , G05B2219/45031
摘要：本文中呈現用以促成關於製程的工具失效分析的系統與技術。監測元件基於由一組感測器所產生之關於一或更多製造工具的感測器數據判定關於一或更多製造工具的候選工具失效。符號元件基於關於一或更多製造工具的數據產生候選工具失效的符號數據集。比對元件基於符號數據集及關於至少一先前判定之工具失效之至少一其他的符號數據集，將候選工具失效與至少一先前判定之工具失效加以比對。
简体摘要：本文中呈现用以促成关于制程的工具失效分析的系统与技术。监测组件基于由一组传感器所产生之关于一或更多制造工具的传感器数据判定关于一或更多制造工具的候选工具失效。符号组件基于关于一或更多制造工具的数据产生候选工具失效的符号数据集。比对组件基于符号数据集及关于至少一先前判定之工具失效之至少一其他的符号数据集，将候选工具失效与至少一先前判定之工具失效加以比对。

30. 发明专利

TW201626125A 半導體製造設備之行動連接性及控制审中-公开
简体标题：半导体制造设备之行动连接性及控制
公开(公告)号：TW201626125A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104133127
申请日：2015-10-08
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：派崔克瑞哲 , PATRICK, ROGER , 黃忠河 , HUANG, CHUNG HO , 喬瑟林賽門 , GOSSELIN, SIMON , 翁文生 , WONG, VINCENT , 瑞納恩羅那得 , RAMNARINE, RONALD , 牛頓尼爾 K , NEWTON, NEAL K. , 沙穆克什 , SHAH, MUKESH , 哈佛斯坦克爾溫 , HOVERSTEN, KERWIN , 阿倫斯鮑伯 , AHRENS, BOB , 莫拉馬科 , MORA, MARCO
IPC分类号： G05B19/4065
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/31202 , G05B2219/45031 , G05B2219/50185
摘要：半導體機具保養操作整合於行動裝置上可使技術人員更準確地進行半導體機具保養，並允許更準確的數據分析以改善保養程序，使其更為可重複、一致、及有效率的。經由可攜式電子設備對半導體機具之保養操作進行遠端控制可減少維修半導體機具所需的時間，且因此提高產能。
简体摘要：半导体机具保养操作集成于行动设备上可使技术人员更准确地进行半导体机具保养，并允许更准确的数据分析以改善保养进程，使其更为可重复、一致、及有效率的。经由可携式电子设备对半导体机具之保养操作进行远程控制可减少维修半导体机具所需的时间，且因此提高产能。

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