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21. 发明专利

TWI391589B 壓力式流量控制裝置之節流機構下流側閥的動作異常檢測方法有权
简体标题：压力式流量控制设备之节流机构下流侧阀的动作异常检测方法
公开(公告)号：TWI391589B
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：TW096123108
申请日：2007-06-26
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀨正明 , NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 松本篤諮 , MATSUMOTO, ATSUSHI
IPC分类号： F16K17/00
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F15/005 , G01F15/022

22. 发明专利

TW201009528A 流量調整器用自動壓力調整器审中-公开
简体标题：流量调整器用自动压力调整器
公开(公告)号：TW201009528A
公开(公告)日：2010-03-01
申请号：TW098114862
申请日：2009-05-05
申请人：富士金股份有限公司
发明人：平田薰 , 杉田勝幸 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要：本發明之流量調整器用自動壓力調整器，係在變更流量調整器之輸出流量、或變更所流通的氣體種類時，避免在其輸出側之流量發生超越量（overshoot）。其解決手段在於提供一種供給至流量調整器的氣體供給壓力之自動壓力調整器（20），前述自動壓力調整器（20）係由：壓電元件驅動型壓力調整閥（15）、設置於壓力調整閥（15）之輸出側的控制壓力檢測器（14）、以及控制器（16）所構成，該控制器（16）係輸入有控制壓力檢測器（14）之檢測值P2及控制壓力之設定值Pst，且藉由比例控制方式供給控制信號至壓力調整閥（15）之壓電元件驅動部以進行閥之開啟度調整，並且藉由使積分動作無效，而將控制器之前述比例控制方式當作在控制壓力上產生殘留偏差的控制。
简体摘要：本发明之流量调整器用自动压力调整器，系在变更流量调整器之输出流量、或变更所流通的气体种类时，避免在其输出侧之流量发生超越量（overshoot）。其解决手段在于提供一种供给至流量调整器的气体供给压力之自动压力调整器（20），前述自动压力调整器（20）系由：压电组件驱动型压力调整阀（15）、设置于压力调整阀（15）之输出侧的控制压力检测器（14）、以及控制器（16）所构成，该控制器（16）系输入有控制压力检测器（14）之检测值P2及控制压力之设置值Pst，且借由比例控制方式供给控制信号至压力调整阀（15）之压电组件驱动部以进行阀之打开度调整，并且借由使积分动作无效，而将控制器之前述比例控制方式当作在控制压力上产生残留偏差的控制。

23. 发明专利

TWI698603B 流量控制方法及流量控制裝置有权
简体标题：流量控制方法及流量控制设备
公开(公告)号：TWI698603B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW108114656
申请日：2019-04-26
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 小川慎也 , OGAWA, SHINYA , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： F16K1/52 , G05D7/06

24. 发明专利

TWI684844B 流量控制裝置的自我診斷方法有权
简体标题：流量控制设备的自我诊断方法
公开(公告)号：TWI684844B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：TW107142359
申请日：2018-11-28
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 川田幸司 , KAWADA, KOJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI
IPC分类号： G05D16/20 , G05D7/06

25. 发明专利

TW201837433A 流體控制器的異常檢測裝置、異常檢測系統、異常檢測方法及流體控制器审中-公开
简体标题：流体控制器的异常检测设备、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器
公开(公告)号：TW201837433A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107104994
申请日：2018-02-12
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 川田幸司 , KAWADA, KOJI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 河内勇人 , KAWAUCHI, YUTO
IPC分类号： G01F15/02 , G05D16/20
摘要：本發明之課題為：在流體控制器中，即使是流體的洩漏很少的情況也可檢測出洩漏；以及，藉由活用資訊通訊技術，而容易地監視位於遠處的流體控制器或複數個流體控制器之流體的洩漏異常。本發明提供一種異常檢測裝置1，用來檢測出設有流體可流通的流路211、利用隔離構件與流路211隔離的封閉空間S、及可使封閉空間S與外部連通的洩放口LP之流體控制器2的異常，該異常檢測裝置1係具有：檢測封閉空間S內的壓力之壓力感測器11；執行預定的資訊處理之處理模組；以及將壓力感測器11以可裝拆的方式固定至洩放口LP而且在固定狀態下將洩放口LP與外部阻斷之裝拆機構。處理模組係藉由比較壓力感測器11所檢測的檢測值與預定的閾值來判別出流體控制器2的異常，且將流體控制器2的異常之判別結果發送至伺服器。
简体摘要：本发明之课题为：在流体控制器中，即使是流体的泄漏很少的情况也可检测出泄漏；以及，借由活用信息通信技术，而容易地监视位于远处的流体控制器或复数个流体控制器之流体的泄漏异常。本发明提供一种异常检测设备1，用来检测出设有流体可流通的流路211、利用隔离构件与流路211隔离的封闭空间S、及可使封闭空间S与外部连通的泄放口LP之流体控制器2的异常，该异常检测设备1系具有：检测封闭空间S内的压力之压力传感器11；运行预定的信息处理之处理模块；以及将压力传感器11以可装拆的方式固定至泄放口LP而且在固定状态下将泄放口LP与外部阻断之装拆机构。处理模块系借由比较压力传感器11所检测的检测值与预定的阈值来判别出流体控制器2的异常，且将流体控制器2的异常之判别结果发送至服务器。

26. 发明专利

TW201632841A 液面偵測電路、液面計、具備其之容器、及使用該容器的汽化器审中-公开
简体标题：液面侦测电路、液面计、具备其之容器、及使用该容器的汽化器
公开(公告)号：TW201632841A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104140166
申请日：2015-12-01
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G01F23/22
CPC分类号： G01F23/246 , G01F23/241 , G01F23/243
摘要：關於本發明的液面計(30)係具備第1電阻測溫體(R11)、配置於第1電阻測溫體的附近的第1溫度測定體(R12)、及根據第1電阻測溫體及第1溫度測定體的溫度，偵測液面的位置的液面偵測部(39)，更具備：檢測出第1電阻測溫體及第1溫度測定體的溫度的溫度檢測部(37)、以藉由溫度檢測部所檢測出之第1電阻測溫體的溫度與第1溫度測定體的溫度的差成為第1一定值之方式，決定施加於第1電阻測溫體的電流值的電流控制部(38)、及將決定之電流值的電流，施加於第1電阻測溫體的電源部(32)，液面偵測部，係使用施加於第1電阻測溫體的電流值，判定第1電阻測溫體是存在於液體中，或存在於液體外。藉此，可不受到周圍溫度的影響而進行液面的檢測，以定溫度差進行溫度控制，故不會對電阻測溫體施加必要以上的電力，可謀求長壽命化。
简体摘要：关于本发明的液面计(30)系具备第1电阻测温体(R11)、配置于第1电阻测温体的附近的第1温度测定体(R12)、及根据第1电阻测温体及第1温度测定体的温度，侦测液面的位置的液面侦测部(39)，更具备：检测出第1电阻测温体及第1温度测定体的温度的温度检测部(37)、以借由温度检测部所检测出之第1电阻测温体的温度与第1温度测定体的温度的差成为第1一定值之方式，决定施加于第1电阻测温体的电流值的电流控制部(38)、及将决定之电流值的电流，施加于第1电阻测温体的电源部(32)，液面侦测部，系使用施加于第1电阻测温体的电流值，判定第1电阻测温体是存在于液体中，或存在于液体外。借此，可不受到周围温度的影响而进行液面的检测，以定温度差进行温度控制，故不会对电阻测温体施加必要以上的电力，可谋求长寿命化。

27. 发明专利

TWI534577B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TWI534577B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103136633
申请日：2014-10-23
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004

28. 发明专利

TW201531668A 流量計及具備該流量計的流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量计及具备该流量计的流量控制设备
公开(公告)号：TW201531668A
公开(公告)日：2015-08-16
申请号：TW103137005
申请日：2014-10-27
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0647 , F16K31/004 , F16K31/06 , G01F1/34 , G01F1/363 , G01F1/42 , G01F1/6847 , G01F15/002 , G01F15/005 , G01F15/04
摘要：本發明提供一種：有效地利用壓力式流量控制部所具備的高耐壓力變動特性，藉由將衰減式流量監測部組合於壓力式流量控制部的上游側，執行趨近於即時(real time)的流量監測，並藉由可對應於流量區域來切換監測流量，而能擴大監測流量範圍與提升監測精確度和流量控制之精確度之具有流量範圍切換型流量監測器的壓力式流量控制裝置。本發明，是由「設於上游側的衰減式流量監測部BDM」、和「設於其下游側的壓力式流量控制部FCS」、和「連結衰減式流量監測部BDM與壓力式流量控制部FCS，將衰減式流量監測部BDM的監測流量Q朝壓力式流量控制部FCS傳送的訊號傳送迴路CT」、及「設於壓力式流量控制部FCS，根據來自於前述衰減式流量監測部BDM的監測流量Q，調整壓力式流量控制部FCS之設定流量Qs的流量設定值調整機構QSR」所構成之具有衰減式流量監測器的壓力式流量控制裝置，前述衰減式流量監測部BDM的監測流量演算控制部CPb形成：當大流量時，使前述出口側開閉切換閥PV2保持開放狀態，並將入口側開閉切換閥PV1的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積，作為衰減容積而演算大監測流量Q1，此外，當小流量時，使入口側開閉切換閥PV1保持開放狀態，並將出口側開閉切換閥PV2的出口側與流量控制部FCS的控制閥CV之間的氣體通路內容積而演算小監測流量Q2的構造。
简体摘要：本发明提供一种：有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，借由将衰减式流量监测部组合于压力式流量控制部的上游侧，运行趋近于实时(real time)的流量监测，并借由可对应于流量区域来切换监测流量，而能扩大监测流量范围与提升监测精确度和流量控制之精确度之具有流量范围切换型流量监测器的压力式流量控制设备。本发明，是由“设于上游侧的衰减式流量监测部BDM”、和“设于其下游侧的压力式流量控制部FCS”、和“链接衰减式流量监测部BDM与压力式流量控制部FCS，将衰减式流量监测部BDM的监测流量Q朝压力式流量控制部FCS发送的信号发送回路CT”、及“设于压力式流量控制部FCS，根据来自于前述衰减式流量监测部BDM的监测流量Q，调整压力式流量控制部FCS之设置流量Qs的流量设置值调整机构QSR”所构成之具有衰减式流量监测器的压力式流量控制设备，前述衰减式流量监测部BDM的监测流量演算控制部CPb形成：当大流量时，使前述出口侧开闭切换阀PV2保持开放状态，并将入口侧开闭切换阀PV1的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积，作为衰减容积而演算大监测流量Q1，此外，当小流量时，使入口侧开闭切换阀PV1保持开放状态，并将出口侧开闭切换阀PV2的出口侧与流量控制部FCS的控制阀CV之间的气体通路内容积而演算小监测流量Q2的构造。

29. 发明专利

TW201512799A 流量控制用多孔型孔口板及使用該孔口板之流量控制裝置审中-公开
简体标题：流量控制用多孔型孔口板及使用该孔口板之流量控制设备
公开(公告)号：TW201512799A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103114392
申请日：2014-04-21
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：平田薰 , HIRATA, KAORU , 日高敦志 , HIDAKA, ATSUSHI , 永瀬正明 , NAGASE, MASAAKI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 廣瀬隆 , HIROSE, TAKASHI
IPC分类号： G05D7/01 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16L55/02718
摘要：本發明是針對控制流量控制用孔口板，當為了對應控制流量的增大而需加大孔口孔徑時，能夠防止符合臨界膨脹條件之孔口上游暨下游的壓力比P2/P1變動所造成的流量控制範圍變窄。本發明是構成為於流量控制用孔口板(7a)設有將指定流量之流體的流通上所需要之一個孔口的開口面積經分割後的複數個孔口(12)，該複數個孔口(12)的總開口面積等於上述開口面積。
简体摘要：本发明是针对控制流量控制用孔口板，当为了对应控制流量的增大而需加大孔口孔径时，能够防止符合临界膨胀条件之孔口上游暨下游的压力比P2/P1变动所造成的流量控制范围变窄。本发明是构成为于流量控制用孔口板(7a)设有将指定流量之流体的流通上所需要之一个孔口的开口面积经分割后的复数个孔口(12)，该复数个孔口(12)的总开口面积等于上述开口面积。

30. 发明专利

TW201405269A 半導體製造裝置之氣體分流供應裝置审中-公开
简体标题：半导体制造设备之气体分流供应设备
公开(公告)号：TW201405269A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102112366
申请日：2013-04-08
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 平田薰 , HIRATA, KAORU , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0641 , G05D7/0664 , Y10T137/87772
摘要：本發明的課題為實現半導體製造裝置之氣體分流供應裝置的大幅小型化，並且對同時進行並行之相同處理的複數處理室，可從一個氣體供應源將製程氣體以高精度流量控制的同時加以分流供應。其解決手段為該半導體製造裝置之氣體分流供應裝置，具備：連接在製程氣體入口(11)之壓力式流量控制部(1a)構成用的控制閥(3)；連通於控制閥(3)下游側的氣體供應主管(8)；以並列狀連接在氣體供應主管(8)下游側的複數分岐管路(9a、9n)；間設在各分岐管路(9a、9n)的分岐管路開閉閥(10a、10n)；設置在分岐管路開閉閥(10a、10n)下游側的節流孔(6a、6n)；設置在上述控制閥(3)和節流孔(6a、6n)之間的製程氣體通路附近的溫度感測器(4)；設置在上述控制閥(3)和節流孔(6a、6n)之間的製程氣體通路的壓力感測器(5)；設置在上述節流孔(6a、6n)出口側的分流氣體出口(11a、11n)；及被輸入有來自於上述壓力感測器(5)的壓力訊號及來自於溫度感測器(4)的溫度訊號，對流通在上述節流孔(6a、6n)的製程氣體之總流量(Q)進行運算的同時，對閥驅動部(3a)輸出使上述控制閥(3)朝運算出之流量值與流量設定值的差值之減少方向開閉動作的控制訊號(Pd)之壓力式流量運算控制部(7a)所成的運算控制部(7)，構成為由壓力式流量控制部(1a)執行流量控制。
简体摘要：本发明的课题为实现半导体制造设备之气体分流供应设备的大幅小型化，并且对同时进行并行之相同处理的复数处理室，可从一个气体供应源将制程气体以高精度流量控制的同时加以分流供应。其解决手段为该半导体制造设备之气体分流供应设备，具备：连接在制程气体入口(11)之压力式流量控制部(1a)构成用的控制阀(3)；连通于控制阀(3)下游侧的气体供应主管(8)；以并列状连接在气体供应主管(8)下游侧的复数分岐管路(9a、9n)；间设在各分岐管路(9a、9n)的分岐管路开闭阀(10a、10n)；设置在分岐管路开闭阀(10a、10n)下游侧的节流孔(6a、6n)；设置在上述控制阀(3)和节流孔(6a、6n)之间的制程气体通路附近的温度传感器(4)；设置在上述控制阀(3)和节流孔(6a、6n)之间的制程气体通路的压力传感器(5)；设置在上述节流孔(6a、6n)出口侧的分流气体出口(11a、11n)；及被输入有来自于上述压力传感器(5)的压力信号及来自于温度传感器(4)的温度信号，对流通在上述节流孔(6a、6n)的制程气体之总流量(Q)进行运算的同时，对阀驱动部(3a)输出使上述控制阀(3)朝运算出之流量值与流量设置值的差值之减少方向开闭动作的控制信号(Pd)之压力式流量运算控制部(7a)所成的运算控制部(7)，构成为由压力式流量控制部(1a)运行流量控制。

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