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1. 发明专利

TWI698729B 閥裝置、流體控制裝置、流體控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法有权
简体标题：阀设备、流体控制设备、流体控制方法、半导体制造设备及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI698729B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW108125005
申请日：2019-07-16
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：佐藤龍彥 , SATO, TATSUHIKO , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 三浦尊 , MIURA, TAKERU
IPC分类号： G05D16/02 , H01L21/683

2. 发明专利

TWI691703B 流體供給線的異常診斷方法有权
简体标题：流体供给线的异常诊断方法
公开(公告)号：TWI691703B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：TW107141873
申请日：2018-11-23
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 鈴木裕也 , SUZUKI, YUYA , 松田博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 米華克典 , KOMEHANA, KATSUNORI , 落石将彦 , OCHIISHI, MASAHIKO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： G01F1/34 , G05D7/06

3. 发明专利

TWI690669B 閥裝置、使用此閥裝置的流體控制裝置及半導體製造裝置有权
简体标题：阀设备、使用此阀设备的流体控制设备及半导体制造设备
公开(公告)号：TWI690669B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW107141361
申请日：2018-11-21
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：渡辺一誠 , WATANABE, KAZUNARI , 執行耕平 , SHIGYOU, KOHEI , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 松田博 , MATSUDA, TAKAHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16K31/12

4. 发明专利

TWI687658B 流體控制器的異常檢測裝置、異常檢測系統、異常檢測方法及流體控制器有权
简体标题：流体控制器的异常检测设备、异常检测系统、异常检测方法及流体控制器
公开(公告)号：TWI687658B
公开(公告)日：2020-03-11
申请号：TW107104994
申请日：2018-02-12
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 西野功二 , NISHINO, KOUJI , 土肥亮介 , DOHI, RYOUSUKE , 川田幸司 , KAWADA, KOJI , 杉田勝幸 , SUGITA, KATSUYUKI , 池田信一 , IKEDA, NOBUKAZU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 河内勇人 , KAWAUCHI, YUTO
IPC分类号： G01F15/02 , G05D16/20

5. 发明专利

TWI683070B 致動器、閥、及流體控制裝置有权
简体标题：致动器、阀、及流体控制设备
公开(公告)号：TWI683070B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：TW107133995
申请日：2018-09-27
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：中澤正彦 , NAKAZAWA, MASAHIKO , 中村伸夫 , NAKAMURA, NOBUO , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16K31/122 , F16K7/14

6. 发明专利

TW201825818A 閥及半導體製造裝置审中-公开
简体标题：阀及半导体制造设备
公开(公告)号：TW201825818A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106138896
申请日：2017-11-10
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：丹野竜太郎 , TANNO, RYUTARO , 柳田保昌 , YANAGIDA, YASUMASA , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU
IPC分类号： F16K7/17
摘要： [課題] 　　本發明係提供一種閥及半導體製造裝置，其係即使在高溫下使用，也不會發生黏著(seizure)等，而可長時間使用，並且不會對腔室內造成污染。 [解決手段] 　　閥(1)係具備：使驅動力增大的倍力機構(30)；承受被倍力機構(30)增大之力量而移動的第1桿(25)與第2桿(26)；以及可開閉流體通路(2b、2c)的膜片(11)。倍力機構(30)係具備：保持器(31)與軸承(32)；兩端被軸承(32)所支承的軸(33)；以及臂部(34)，該臂部(34)係被軸(33)支承成可搖動，並具有承受驅動力的外端部(34C)、以及增大驅動力並傳達給第1桿(25)的內端部(34B)，在保持器(31)、軸承(32)、軸(33)、以及臂部(34)，構成因臂部(34)的搖動而產生之滑動的軸(33)的兩端部與軸承(32)之中，軸承(32)係由碳纖維複合材料所構成。
简体摘要： [课题] 　　本发明系提供一种阀及半导体制造设备，其系即使在高温下使用，也不会发生黏着(seizure)等，而可长时间使用，并且不会对腔室内造成污染。 [解决手段] 　　阀(1)系具备：使驱动力增大的倍力机构(30)；承受被倍力机构(30)增大之力量而移动的第1杆(25)与第2杆(26)；以及可开闭流体通路(2b、2c)的膜片(11)。倍力机构(30)系具备：保持器(31)与轴承(32)；两端被轴承(32)所支承的轴(33)；以及臂部(34)，该臂部(34)系被轴(33)支承成可摇动，并具有承受驱动力的外端部(34C)、以及增大驱动力并传达给第1杆(25)的内端部(34B)，在保持器(31)、轴承(32)、轴(33)、以及臂部(34)，构成因臂部(34)的摇动而产生之滑动的轴(33)的两端部与轴承(32)之中，轴承(32)系由碳纤维复合材料所构成。

7. 发明专利

TWI684721B 流體控制器有权
简体标题：流体控制器
公开(公告)号：TWI684721B
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：TW105105779
申请日：2016-02-26
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：德田伊知郎 , TOKUDA, ICHIRO , 原田章弘 , HARADA, AKIHIRO , 木曾秀則 , KISO, HIDENORI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16K31/122

8. 发明专利

TWI683069B 閥系統、調整資訊產生方法、調整資訊產生裝置、流量調整方法、流體控制裝置、流量控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法有权
简体标题：阀系统、调整信息产生方法、调整信息产生设备、流量调整方法、流体控制设备、流量控制方法、半导体制造设备及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI683069B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：TW107133325
申请日：2018-09-21
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：近藤研太 , KONDO, KENTA , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO
IPC分类号： F16K31/02 , C23C16/54

9. 发明专利

TWI682058B 閥裝置、流量調整方法、流體控制裝置、流量控制方法、半導體製造裝置及半導體製造方法有权
简体标题：阀设备、流量调整方法、流体控制设备、流量控制方法、半导体制造设备及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI682058B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW107133324
申请日：2018-09-21
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：近藤研太 , KONDO, KENTA , 吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 相川献治 , AIKAWA, KENJI , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 滝本昌彦 , TAKIMOTO, MASAHIKO
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/52 , H01L21/306 , F16K13/02 , F16K7/14 , G05D7/06 , G01L9/08

10. 发明专利

TWI671483B 閥裝置、使用此閥裝置的流量控制方法及半導體製造方法有权
简体标题：阀设备、使用此阀设备的流量控制方法及半导体制造方法
公开(公告)号：TWI671483B
公开(公告)日：2019-09-11
申请号：TW106138368
申请日：2017-11-07
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：吉田俊英 , YOSHIDA, TOSHIHIDE , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 稲田敏之 , INADA, TOSHIYUKI , 船越高志 , FUNAKOSHI, TAKASHI
IPC分类号： F16K1/32 , F16K7/12 , F16K35/06

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