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    • 17. 发明专利
    • 監控用於檢測半導體晶圓表面上的缺陷的表面檢查系統的操作狀況的方法
    • 监控用于检测半导体晶圆表面上的缺陷的表面检查系统的操作状况的方法
    • TW201606292A
    • 2016-02-16
    • TW104124500
    • 2015-07-29
    • 世創電子材料公司SILTRONIC AG
    • 路柏 法蘭克LAUBE, FRANK
    • G01N21/95G01N21/93H01L21/66
    • G01N21/8851G01N21/93G01N21/9501G01N2021/8854
    • 一種監控用於檢測半導體晶圓表面上的缺陷的表面檢查系統的操作狀況的方法,包括:提供參考半導體晶圓,在所述參考半導體晶圓的檢查表面上具有特定數量和尺寸和密度的缺陷;經由利用所述表面檢查系統來實施參考半導體晶圓的參考檢查和參考半導體晶圓的至少一個控制檢查,來測量所述檢查表面上的缺陷的位置和尺寸;識別出因為其位置而被認為是所述參考檢查和控制檢查的共同缺陷的缺陷;對於每個共同缺陷,確定其基於所述參考檢查和控制檢查的尺寸比較所獲得的尺寸差值;以及基於所確定的尺寸差值來評估所述表面檢查系統的操作狀況。
    • 一种监控用于检测半导体晶圆表面上的缺陷的表面检查系统的操作状况的方法,包括:提供参考半导体晶圆,在所述参考半导体晶圆的检查表面上具有特定数量和尺寸和密度的缺陷;经由利用所述表面检查系统来实施参考半导体晶圆的参考检查和参考半导体晶圆的至少一个控制检查,来测量所述检查表面上的缺陷的位置和尺寸;识别出因为其位置而被认为是所述参考检查和控制检查的共同缺陷的缺陷;对于每个共同缺陷,确定其基于所述参考检查和控制检查的尺寸比较所获得的尺寸差值;以及基于所确定的尺寸差值来评估所述表面检查系统的操作状况。
    • 18. 发明专利
    • 校正白色光源的方法
    • TW201315974A
    • 2013-04-16
    • TW100135917
    • 2011-10-04
    • 潘煜標
    • 潘煜標周文隆
    • G01J3/457G01J3/52G01N21/93
    • 一種校正白色光源的方法,包括:用白色光源照射複數個白度樣本,可包括參考黑樣本、參考白樣本以及至少第一、第二、第三及第四白度樣本,係在標準白度的D65光源下具有已知白度;利用影像擷取裝置對該等白度樣本進行拍照以產生相對應影像的原始灰階值;第一、第二、第三及第四白度樣本的原始灰階值減去參考黑樣本的原始灰階值以產生相對應的雜訊校正灰階值,並乘上刻度因子再除以參考白樣本的灰階值以產生相對應的亮度校正灰階值;以及比較已知白度以及其相對應的亮度校正灰階值,用以校正白色光源並達到D65光源的光譜要求。
    • 一种校正白色光源的方法,包括:用白色光源照射复数个白度样本,可包括参考黑样本、参考白样本以及至少第一、第二、第三及第四白度样本,系在标准白度的D65光源下具有已知白度;利用影像截取设备对该等白度样本进行拍照以产生相对应影像的原始灰阶值;第一、第二、第三及第四白度样本的原始灰阶值减去参考黑样本的原始灰阶值以产生相对应的噪声校正灰阶值,并乘上刻度因子再除以参考白样本的灰阶值以产生相对应的亮度校正灰阶值;以及比较已知白度以及其相对应的亮度校正灰阶值,用以校正白色光源并达到D65光源的光谱要求。