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    • 7. 发明专利
    • 基板處理裝置
    • 基板处理设备
    • TW201703127A
    • 2017-01-16
    • TW105102836
    • 2016-01-29
    • 思可林集團股份有限公司SCREEN HOLDINGS CO,. LTD.
    • 中井仁司NAKAI, HITOSHI
    • H01L21/304H01L21/306G01N27/10
    • G01N27/10H01L21/304
    • 本發明提供一種基板處理裝置,該基板處理裝置之確認部(67)係具備檢查管路(671)、導電率取得部(672)及判斷部(673)。檢查管路(671)係具有在內周面分別朝向長邊方向延伸並且交替地配置於圓周方向的複數個導電部(675)以及複數個絕緣部(676)。導電率取得部(672)係取得二個導電部(675)間的導電率。判斷部(673)係根據導電率取得部(672)取得之導電率以判斷檢查管路(671)內的處理液(71)是否存在、或檢查管路(671)內的處理液(71)之種類。確認部(67)係可以遍及於比較長的檢查管路(671)之全長而判斷處理液(71)是否存在或處理液(71)之種類。因而,可以提高處理液(71)是否存在或種類的確認精度。
    • 本发明提供一种基板处理设备,该基板处理设备之确认部(67)系具备检查管路(671)、导电率取得部(672)及判断部(673)。检查管路(671)系具有在内周面分别朝向长边方向延伸并且交替地配置于圆周方向的复数个导电部(675)以及复数个绝缘部(676)。导电率取得部(672)系取得二个导电部(675)间的导电率。判断部(673)系根据导电率取得部(672)取得之导电率以判断检查管路(671)内的处理液(71)是否存在、或检查管路(671)内的处理液(71)之种类。确认部(67)系可以遍及于比较长的检查管路(671)之全长而判断处理液(71)是否存在或处理液(71)之种类。因而,可以提高处理液(71)是否存在或种类的确认精度。