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    • 11. 发明专利
    • 擦除裝置以及擦除方法
    • 擦除设备以及擦除方法
    • TW202021815A
    • 2020-06-16
    • TW108142462
    • 2019-11-22
    • 日商東和化成股份有限公司TOWA KASEI CO., LTD.
    • 洞口勝則HORAGUCHI, KATSUNORI洞口勝也HORAGUCHI, KATSUYA
    • B32B38/10B05C9/10
    • 本發明將擦除部件連續地或以規定的時間間隔斷續地且穩定地向擦除對象物(25)移送。擦除裝置(10)具備放卷輥(11)、擦除頭(13)、驅動輥(15)以及卷取輥(17),在放卷輥、擦除頭、驅動輥、卷取輥之間懸架有擦除部件(23),放卷輥包括具有力矩調整單元的第一力矩馬達,驅動輥包括以第一力矩馬達的力矩以上的力把持擦除部件的夾持輥以及在驅動時以第一力矩馬達的力矩以上的力將擦除部件向卷取輥側移送的驅動馬達,卷取輥包括第二力矩馬達,該第二力矩馬達具有能夠卷取從驅動馬達被移送的擦除部件的力矩以上的力矩且具有力矩調整單元。
    • 本发明将擦除部件连续地或以规定的时间间隔断续地且稳定地向擦除对象物(25)移送。擦除设备(10)具备放卷辊(11)、擦除头(13)、驱动辊(15)以及卷取辊(17),在放卷辊、擦除头、驱动辊、卷取辊之间悬架有擦除部件(23),放卷辊包括具有力矩调整单元的第一力矩马达,驱动辊包括以第一力矩马达的力矩以上的力把持擦除部件的夹持辊以及在驱动时以第一力矩马达的力矩以上的力将擦除部件向卷取辊侧移送的驱动马达,卷取辊包括第二力矩马达,该第二力矩马达具有能够卷取从驱动马达被移送的擦除部件的力矩以上的力矩且具有力矩调整单元。
    • 17. 发明专利
    • 成膜系統
    • 成膜系统
    • TW201507040A
    • 2015-02-16
    • TW103122662
    • 2014-07-01
    • 東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 寺田尚司TERADA, TAKASHI原壮吾HARA, SHOGO
    • H01L21/56B05C9/10
    • H01L21/67103H01L21/67051H01L21/67092H01L21/6715H01L21/67167
    • 本發明之課題在於往表面被形成複數電路之基板上之塗布液供給量可抑制在少量,且適切地進行往基板上的塗布膜的成膜處理。 本發明之解決手段之成膜系統係具有研削晶圓(W)表面的塗布膜之研削裝置(50)、洗淨塗布膜被研削的晶圓(W)之洗淨裝置(51)、與搬送晶圓(W)之搬送裝置(55)。洗淨裝置(51)係具有洗淨晶圓(W)表面之表面洗淨單元(350)、洗淨晶圓(W)裏面之裏面洗淨單元(351)、與最終修整洗淨晶圓(W)表面之最終修整洗淨單元(352)。搬送裝置(55)係具有第1搬送臂(420)、第2搬送臂(421)、與第3搬送臂(422)。
    • 本发明之课题在于往表面被形成复数电路之基板上之涂布液供给量可抑制在少量,且适切地进行往基板上的涂布膜的成膜处理。 本发明之解决手段之成膜系统系具有研削晶圆(W)表面的涂布膜之研削设备(50)、洗净涂布膜被研削的晶圆(W)之洗净设备(51)、与搬送晶圆(W)之搬送设备(55)。洗净设备(51)系具有洗净晶圆(W)表面之表面洗净单元(350)、洗净晶圆(W)里面之里面洗净单元(351)、与最终修整洗净晶圆(W)表面之最终修整洗净单元(352)。搬送设备(55)系具有第1搬送臂(420)、第2搬送臂(421)、与第3搬送臂(422)。
    • 18. 发明专利
    • 密封膠條製造機之出膠裝置
    • 密封胶条制造机之出胶设备
    • TW201406468A
    • 2014-02-16
    • TW101129345
    • 2012-08-14
    • 王錦燕WANG, CHIN YEN王志猛WANG, CHIH MENG卓金星CHUO, CHIN HSING
    • 王錦燕WANG, CHIN YEN王志猛WANG, CHIH MENG卓金星CHUO, CHIN HSING
    • B05C5/02B05C9/10
    • 本發明提供一種密封膠條製造機之出膠裝置,包括一本體、一攪拌裝置、一出膠頭和一出膠控制器。該本體設有複數入料孔及一第一容室。該攪拌裝置設於該本體。該出膠頭設有一出膠口及一第二容室,該第二容室連通於該第一容室。該出膠控制器設於該出膠頭,該出膠控制器可於一關閉位置與一開啟位置之間位移。本發明之密封膠條製造機之出膠裝置透過出膠控制器選擇性地啟閉出膠口,達到精確地控制開始出膠以及停止出膠的時機,並且還可達到將不同膠體原料攪拌而成之密封膠條均勻地注入一工件中,提升出膠的效率以及注膠的良率。
    • 本发明提供一种密封胶条制造机之出胶设备,包括一本体、一搅拌设备、一出胶头和一出胶控制器。该本体设有复数入料孔及一第一容室。该搅拌设备设于该本体。该出胶头设有一出胶口及一第二容室,该第二容室连通于该第一容室。该出胶控制器设于该出胶头,该出胶控制器可于一关闭位置与一打开位置之间位移。本发明之密封胶条制造机之出胶设备透过出胶控制器选择性地启闭出胶口,达到精确地控制开始出胶以及停止出胶的时机,并且还可达到将不同胶体原料搅拌而成之密封胶条均匀地注入一工件中,提升出胶的效率以及注胶的良率。