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1. 发明专利

TWI698290B 塗布器洗淨裝置以及塗布裝置有权
简体标题：涂布器洗净设备以及涂布设备
公开(公告)号：TWI698290B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW105139832
申请日：2016-12-02
申请人：日商東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO
IPC分类号： B08B3/10 , B05B15/50

2. 发明专利

TWI698289B 塗布裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI698289B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW107103182
申请日：2018-01-30
申请人：日商東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 釜谷学 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05C5/02 , B05D1/26 , H01L21/31

3. 发明专利

TW201722569A 塗布器洗淨裝置以及塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布器洗净设备以及涂布设备
公开(公告)号：TW201722569A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105139832
申请日：2016-12-02
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO
IPC分类号： B08B3/10 , B05B15/02
摘要：本發明提供一種可抑制由洗淨液之溫度上升帶來之溫度差而使塗佈器產生由熱變形引起之應變的塗布器洗淨裝置以及塗布裝置。本發明之塗布器洗淨裝置係對自於一方向延伸之狹縫噴嘴噴出塗布液而於基板上形成塗布膜之塗布器進行洗淨者，其構成為，具備能夠浸漬塗布器之狹縫噴嘴之於一方向延伸之形狀之洗淨槽、對洗淨槽供給洗淨液之洗淨液供給部、及對洗淨槽內之洗淨液賦予振動波之振子，且洗淨液供給部以如下方式設定，即，遍及長度方向而向洗淨槽內供給洗淨液，並且洗淨液之供給量於洗淨槽之中央部分多於長度方向兩端部，洗淨槽於長度方向兩端部具有使洗淨液排出之溢流部，且在使上述狹縫噴嘴浸漬於洗淨槽中之狀態下，洗淨槽內之洗淨液之流動係自長度方向中央部分向溢流部流動。
简体摘要：本发明提供一种可抑制由洗净液之温度上升带来之温度差而使涂布器产生由热变形引起之应变的涂布器洗净设备以及涂布设备。本发明之涂布器洗净设备系对自于一方向延伸之狭缝喷嘴喷出涂布液而于基板上形成涂布膜之涂布器进行洗净者，其构成为，具备能够浸渍涂布器之狭缝喷嘴之于一方向延伸之形状之洗净槽、对洗净槽供给洗净液之洗净液供给部、及对洗净槽内之洗净液赋予振动波之振子，且洗净液供给部以如下方式设置，即，遍及长度方向而向洗净槽内供给洗净液，并且洗净液之供给量于洗净槽之中央部分多于长度方向两端部，洗净槽于长度方向两端部具有使洗净液排出之溢流部，且在使上述狭缝喷嘴浸渍于洗净槽中之状态下，洗净槽内之洗净液之流动系自长度方向中央部分向溢流部流动。

4. 发明专利

TWI565526B 噴嘴清洗方法及塗佈裝置有权
简体标题：喷嘴清洗方法及涂布设备
公开(公告)号：TWI565526B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW101124833
申请日：2012-07-10
申请人：東麗股份有限公司 , TORAY INDUSTRIES, INC. , 東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO, LTD.
发明人：林田健兒 , HAYASHIDA, KENJI , 川竹洋 , KAWATAKE, HIROSHI , 堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彥 , ITO, SADAHIKO , 釜谷學 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05B15/02 , B08B3/12

5. 发明专利

TW201501814A 排氣弁系統审中-公开
简体标题：排气弁系统
公开(公告)号：TW201501814A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103120367
申请日：2014-06-12
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO
IPC分类号： B05C9/10 , B05C5/02
摘要：本發明之目的係提供一種排氣弁系統，其係可以短時間進行排氣弁處理，且可抑制塗佈液劣化而再利用以排氣弁處理排出之塗佈液。本發明係一種塗佈裝置之排氣弁系統，該塗佈裝置係藉由使具有貯留塗佈液之岐管及狹縫噴嘴之口型板部自上述狹縫噴嘴噴出塗佈液且進行掃描而於基板上形成塗佈膜，且該排氣弁系統採用如下構成：於上述口型板部中，設置有將塗佈液供給於岐管之塗佈液供給孔、及藉由自該塗佈液供給孔供給塗佈液而排出存在於上述岐管之空氣之排氣弁孔，且包含：排氣弁槽，其貯留自上述排氣弁孔排出之包含空氣之塗佈液；及減壓器，其將上述排氣弁槽之壓力減壓。
简体摘要：本发明之目的系提供一种排气弁系统，其系可以短时间进行排气弁处理，且可抑制涂布液劣化而再利用以排气弁处理排出之涂布液。本发明系一种涂布设备之排气弁系统，该涂布设备系借由使具有贮留涂布液之岐管及狭缝喷嘴之口型板部自上述狭缝喷嘴喷出涂布液且进行扫描而于基板上形成涂布膜，且该排气弁系统采用如下构成：于上述口型板部中，设置有将涂布液供给于岐管之涂布液供给孔、及借由自该涂布液供给孔供给涂布液而排出存在于上述岐管之空气之排气弁孔，且包含：排气弁槽，其贮留自上述排气弁孔排出之包含空气之涂布液；及减压器，其将上述排气弁槽之压力减压。

6. 发明专利

TW201325728A 噴嘴清洗方法及塗佈裝置审中-公开
简体标题：喷嘴清洗方法及涂布设备
公开(公告)号：TW201325728A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101124833
申请日：2012-07-10
申请人：東麗股份有限公司 , TORAY INDUSTRIES, INC. , 東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO, LTD.
发明人：林田健兒 , HAYASHIDA, KENJI , 川竹洋 , KAWATAKE, HIROSHI , 堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彥 , ITO, SADAHIKO , 釜谷學 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05B15/02 , B08B3/12
摘要：本發明提供一種噴嘴清洗方法及塗佈裝置。於內部形成有在寬方向較長並於前端開口的狹縫7之噴嘴3中，可使以往振動波(由振動波所造成的空穴作用)的傳播不充足而殘留的固著物浮出，可在短時間內得到所求的清洗結果。使噴嘴前端9浸漬於清洗槽11內之帶有振動波的清洗液L中，使該清洗液L通過該狹縫7流入噴嘴內部。自此狀態中，使氣體遍及狹縫7的寬方向全長，通過狹縫7流入噴嘴內部。之後，使噴嘴前端9浸漬於清洗槽內11之帶有振動波的清洗液L中，使該清洗液L通過狹縫7流入噴嘴內部。
简体摘要：本发明提供一种喷嘴清洗方法及涂布设备。于内部形成有在宽方向较长并于前端开口的狭缝7之喷嘴3中，可使以往振动波(由振动波所造成的空穴作用)的传播不充足而残留的固着物浮出，可在短时间内得到所求的清洗结果。使喷嘴前端9浸渍于清洗槽11内之带有振动波的清洗液L中，使该清洗液L通过该狭缝7流入喷嘴内部。自此状态中，使气体遍及狭缝7的宽方向全长，通过狭缝7流入喷嘴内部。之后，使喷嘴前端9浸渍于清洗槽内11之带有振动波的清洗液L中，使该清洗液L通过狭缝7流入喷嘴内部。

7. 发明专利

TW201832832A 塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TW201832832A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW107103182
申请日：2018-01-30
申请人：日商東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 釜谷学 , KAMATANI, MANABU
IPC分类号： B05C5/02 , B05D1/26 , H01L21/31
摘要：本發明提供一種塗布裝置，其係即便於因圍繞塗布裝置之溫度變化之影響導致塗布器與樑部以各不相同之變形量變形之情形時，亦可均一地形成塗布膜。本發明之塗布裝置具備供載置基板之載台、及對載置於上述載台之基板噴出塗布液之塗布單元，且藉由一面使上述基板與上述塗布單元相對地移動，一面自上述塗布單元噴出塗布液，而於基板上形成塗布膜；且設為如下構成，即，上述塗布單元具有：塗布器，其具有於一方向延伸之形狀且噴出塗布液；及樑部，其具有於一方向延伸之形狀且支持上述塗布器；上述塗布器與上述樑部分別相互沿著長度方向排列配置，且由容許其等在長度方向相對地位移之連結部所連結。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备，其系即便于因围绕涂布设备之温度变化之影响导致涂布器与梁部以各不相同之变形量变形之情形时，亦可均一地形成涂布膜。本发明之涂布设备具备供载置基板之载台、及对载置于上述载台之基板喷出涂布液之涂布单元，且借由一面使上述基板与上述涂布单元相对地移动，一面自上述涂布单元喷出涂布液，而于基板上形成涂布膜；且设为如下构成，即，上述涂布单元具有：涂布器，其具有于一方向延伸之形状且喷出涂布液；及梁部，其具有于一方向延伸之形状且支持上述涂布器；上述涂布器与上述梁部分别相互沿着长度方向排列配置，且由容许其等在长度方向相对地位移之链接部所链接。

8. 发明专利

TW201801801A 塗布器及塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布器及涂布设备
公开(公告)号：TW201801801A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106119909
申请日：2017-06-15
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：谷野聖 , TANINO, KIYOSHI , 西野聡 , NISHINO, SO , 堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彦 , ITO, SADAHIKO
IPC分类号： B05C11/02 , B05B1/04
CPC分类号： B05C5/02
摘要：本發明提供一種即便優化塗布器之歧管之端部處之液體置換性，亦不會降低形成於被塗布構件之塗膜之膜厚精度的塗布器。本發明之塗布器10具有：供給口11，其被供給塗布液；狹縫15，其於一方向上較長地形成，且噴出塗布液；第一歧管12，其與供給口11相連；第二歧管14，其與狹縫15相連；及節流流路13，其連接該等歧管12、14之間，且於一方向上較長。供給口11與第一歧管12於中央相連。第一歧管之與一方向正交之剖面之截面面積係於一方向之端部E較於中央部C變小。於連接第一歧管12與第二歧管14之間之節流流路13中，端部E處之流路長度L1e為中央部C處之流路長度L1c以上。
简体摘要：本发明提供一种即便优化涂布器之歧管之端部处之液体置换性，亦不会降低形成于被涂布构件之涂膜之膜厚精度的涂布器。本发明之涂布器10具有：供给口11，其被供给涂布液；狭缝15，其于一方向上较长地形成，且喷出涂布液；第一歧管12，其与供给口11相连；第二歧管14，其与狭缝15相连；及节流流路13，其连接该等歧管12、14之间，且于一方向上较长。供给口11与第一歧管12于中央相连。第一歧管之与一方向正交之剖面之截面面积系于一方向之端部E较于中央部C变小。于连接第一歧管12与第二歧管14之间之节流流路13中，端部E处之流路长度L1e为中央部C处之流路长度L1c以上。

9. 发明专利

TW201611907A 塗布器、塗布裝置及塗布方法审中-公开
简体标题：涂布器、涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW201611907A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104124134
申请日：2015-07-24
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彦 , ITO, SADAHIKO , 西野聡 , NISHINO, SO , 川竹洋 , KAWATAKE, HIROSHI
IPC分类号： B05C5/02 , B05B7/04
摘要：本發明提供一種能夠將積存於塗佈器內之氣泡迅速地排出至外部之塗佈器。本發明之塗佈器包括：第1供給口31，其供給塗佈液；第1歧管11，其與第1供給口31連接；吐出狹縫22，其吐出塗佈液；第2歧管12，其與吐出狹縫22連接；及連結節流流路21，其將第1歧管11與第2歧管12連結；且於第1歧管11連接有將積存於第1歧管11內之氣泡排出至外部之第1排出口41，於第2歧管12連接有供給塗佈液之第2供給口32、及將積存於第2歧管12內之氣泡排出至外部之第2排出口42。
简体摘要：本发明提供一种能够将积存于涂布器内之气泡迅速地排出至外部之涂布器。本发明之涂布器包括：第1供给口31，其供给涂布液；第1歧管11，其与第1供给口31连接；吐出狭缝22，其吐出涂布液；第2歧管12，其与吐出狭缝22连接；及链接节流流路21，其将第1歧管11与第2歧管12链接；且于第1歧管11连接有将积存于第1歧管11内之气泡排出至外部之第1排出口41，于第2歧管12连接有供给涂布液之第2供给口32、及将积存于第2歧管12内之气泡排出至外部之第2排出口42。

10. 发明专利

TW201501803A 塗布器、及塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布器、及涂布设备
公开(公告)号：TW201501803A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103116615
申请日：2014-05-09
申请人：東麗工程股份有限公司 , TORAY ENGINEERING CO., LTD.
发明人：林田健兒 , HAYASHIDA, KENJI , 谷野聖 , TANINO, KIYOSHI , 川竹洋 , KAWATAKE, HIROSHI , 堀內展雄 , HORIUCHI, NOBUO , 伊藤禎彥 , ITO, SADAHIKO
IPC分类号： B05B1/04 , B05B1/30
摘要：本發明之目的係迅速排出塗布器3之歧管11、12內之空氣。本發明之塗布器3包含：流入口18，其流入塗布液；及噴出狹縫21，其係形成為於一方向上較長且於其正交方向上較窄，並噴出塗布液。再者，塗布器3包含：與流入口18連接之上側歧管11及與噴出狹縫21連接之下側歧管12；縮限流道22，其連接該等歧管11、12之間，且形成為於一方向上較長且於其正交方向上較窄；及通氣孔32，其係於包含該縮限流道22與下側歧管12之邊界40之區域A開口。
简体摘要：本发明之目的系迅速排出涂布器3之歧管11、12内之空气。本发明之涂布器3包含：流入口18，其流入涂布液；及喷出狭缝21，其系形成为于一方向上较长且于其正交方向上较窄，并喷出涂布液。再者，涂布器3包含：与流入口18连接之上侧歧管11及与喷出狭缝21连接之下侧歧管12；缩限流道22，其连接该等歧管11、12之间，且形成为于一方向上较长且于其正交方向上较窄；及通气孔32，其系于包含该缩限流道22与下侧歧管12之边界40之区域A开口。

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