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    • 2. 发明专利
    • 噴墨塗布裝置及噴墨塗布方法
    • 喷墨涂布设备及喷墨涂布方法
    • TW201726263A
    • 2017-08-01
    • TW106100249
    • 2017-01-05
    • 東麗工程股份有限公司TORAY ENGINEERING CO., LTD.
    • 浅井一夫ASAI, KAZUO木浦敦之KIURA, ATSUYUKI福島雄悟FUKUSHIMA, YUGO東野繁TOHNO, SHIGERU
    • B05C13/02B05C9/10B05D1/26
    • B05C5/02B05C9/06B05D1/26B05D1/36B41J2/01B41M5/00
    • 本發明提供一種即便於產生噴出不良噴嘴之情形時,亦可抑制塗布膜形成條紋不均之噴墨塗布裝置及噴墨塗布方法。本發明之噴墨塗布裝置構成為藉由一面使塗布單元與載置台沿特定方向相對地移動,一面將設定塗布量之墨水供給至預先設定之基板上之設定噴附位置而於基板上形成塗布膜,且塗布單元具備:主噴嘴單元,其具有複數個噴嘴;及副噴嘴單元,其具有沿特定方向觀察時至少與主噴嘴單元之噴嘴位置對應之噴嘴;由主噴嘴單元噴出之噴附位置與由副噴嘴單元噴出之噴附位置設定成相同之上述設定噴附位置,且藉由主噴嘴單元及副噴嘴單元分別逐次將墨水噴出至設定噴附位置,而供給設定塗布量之墨水。
    • 本发明提供一种即便于产生喷出不良喷嘴之情形时,亦可抑制涂布膜形成条纹不均之喷墨涂布设备及喷墨涂布方法。本发明之喷墨涂布设备构成为借由一面使涂布单元与载置台沿特定方向相对地移动,一面将设置涂布量之墨水供给至预先设置之基板上之设置喷附位置而于基板上形成涂布膜,且涂布单元具备:主喷嘴单元,其具有复数个喷嘴;及副喷嘴单元,其具有沿特定方向观察时至少与主喷嘴单元之喷嘴位置对应之喷嘴;由主喷嘴单元喷出之喷附位置与由副喷嘴单元喷出之喷附位置设置成相同之上述设置喷附位置,且借由主喷嘴单元及副喷嘴单元分别逐次将墨水喷出至设置喷附位置,而供给设置涂布量之墨水。
    • 5. 发明专利
    • 排氣弁系統
    • 排气弁系统
    • TW201501814A
    • 2015-01-16
    • TW103120367
    • 2014-06-12
    • 東麗工程股份有限公司TORAY ENGINEERING CO., LTD.
    • 堀內展雄HORIUCHI, NOBUO
    • B05C9/10B05C5/02
    • 本發明之目的係提供一種排氣弁系統,其係可以短時間進行排氣弁處理,且可抑制塗佈液劣化而再利用以排氣弁處理排出之塗佈液。 本發明係一種塗佈裝置之排氣弁系統,該塗佈裝置係藉由使具有貯留塗佈液之岐管及狹縫噴嘴之口型板部自上述狹縫噴嘴噴出塗佈液且進行掃描而於基板上形成塗佈膜,且該排氣弁系統採用如下構成:於上述口型板部中,設置有將塗佈液供給於岐管之塗佈液供給孔、及藉由自該塗佈液供給孔供給塗佈液而排出存在於上述岐管之空氣之排氣弁孔,且包含:排氣弁槽,其貯留自上述排氣弁孔排出之包含空氣之塗佈液;及減壓器,其將上述排氣弁槽之壓力減壓。
    • 本发明之目的系提供一种排气弁系统,其系可以短时间进行排气弁处理,且可抑制涂布液劣化而再利用以排气弁处理排出之涂布液。 本发明系一种涂布设备之排气弁系统,该涂布设备系借由使具有贮留涂布液之岐管及狭缝喷嘴之口型板部自上述狭缝喷嘴喷出涂布液且进行扫描而于基板上形成涂布膜,且该排气弁系统采用如下构成:于上述口型板部中,设置有将涂布液供给于岐管之涂布液供给孔、及借由自该涂布液供给孔供给涂布液而排出存在于上述岐管之空气之排气弁孔,且包含:排气弁槽,其贮留自上述排气弁孔排出之包含空气之涂布液;及减压器,其将上述排气弁槽之压力减压。
    • 8. 发明专利
    • 用於將塗料施加到基板的方法及裝置
    • 用于将涂料施加到基板的方法及设备
    • TW201709985A
    • 2017-03-16
    • TW105110913
    • 2016-04-07
    • 蘇士微科技印刷術股份有限公司SUSS MICROTEC LITHOGRAPHY GMBH
    • 法克 歐瑪FAKHR, OMAR
    • B05C9/10
    • B05D1/34B05C5/02B05D1/02B05D1/28G03F7/16H01L21/0271H01L21/6715H01L21/67253
    • 本發明關於一種用於將塗料施加到基板(3)的裝置,其包括:計量裝置(5),塗料流體(2)可藉由計量裝置作為噴流而被施加到基板(3);以及溶劑分配器(10),以預定量的溶劑(14)可被施用到計量裝置(5)的前端的這種方式,其被偏心地佈置且被佈置到計量裝置(5)的前端的側邊。本發明亦關於一種用於藉由前述申請專利範圍任一項的裝置來將塗料施加到基板(3)的方法,其中,在塗料流體(2)被施加之前,以溶劑(14)接觸位在那裡的塗料流體(2)的這種方式,預定量的溶劑(14)被帶到計量裝置(5)的前端,以及,在等待期間之後,接著藉由計量裝置(5)將塗料流體(2)施加到基板(3)。
    • 本发明关于一种用于将涂料施加到基板(3)的设备,其包括:计量设备(5),涂料流体(2)可借由计量设备作为喷流而被施加到基板(3);以及溶剂分配器(10),以预定量的溶剂(14)可被施用到计量设备(5)的前端的这种方式,其被偏心地布置且被布置到计量设备(5)的前端的侧边。本发明亦关于一种用于借由前述申请专利范围任一项的设备来将涂料施加到基板(3)的方法,其中,在涂料流体(2)被施加之前,以溶剂(14)接触位在那里的涂料流体(2)的这种方式,预定量的溶剂(14)被带到计量设备(5)的前端,以及,在等待期间之后,接着借由计量设备(5)将涂料流体(2)施加到基板(3)。
    • 10. 发明专利
    • 可控制溶劑揮發速率的旋轉塗佈裝置
    • 可控制溶剂挥发速率的旋转涂布设备
    • TW201544194A
    • 2015-12-01
    • TW103117324
    • 2014-05-16
    • 億力鑫系統科技股份有限公司ELS SYSTEM TECHNOLOGY CO., LTD.
    • 鄧志明TENG, CHIH MING
    • B05C9/10B05C11/10H01L21/027
    • 一種可控制溶劑揮發速率的旋轉塗佈裝置,包含:一殼體、一承載座、一蓋體單元及一旋轉馬達。該承載座可旋轉地設置於該殼體內,並供一基板放置於該承載座上。該蓋體單元包括一可位移地蓋合該殼體的外蓋,及一可沿一上下方向位移地離開該外蓋,並罩覆於該基板上方的內蓋。藉此,可以依據需要形成在基板上的膜的厚薄程度,來調整該內蓋的上下位移,用以調整基板上方的空間,進而控制該溶劑的揮發速度。不論厚膜或是薄膜均可均勻形成在基板上。
    • 一种可控制溶剂挥发速率的旋转涂布设备,包含:一壳体、一承载座、一盖体单元及一旋转马达。该承载座可旋转地设置于该壳体内,并供一基板放置于该承载座上。该盖体单元包括一可位移地盖合该壳体的外盖,及一可沿一上下方向位移地离开该外盖,并罩覆于该基板上方的内盖。借此,可以依据需要形成在基板上的膜的厚薄程度,来调整该内盖的上下位移,用以调整基板上方的空间,进而控制该溶剂的挥发速度。不论厚膜或是薄膜均可均匀形成在基板上。