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热词
    • 11. 实用新型
    • 半導體設備內環境分析用的離子色層分析裝置
    • 半导体设备内环境分析用的离子色层分析设备
    • TW409939U
    • 2000-10-21
    • TW088209279
    • 1997-07-03
    • 三星電子股份有限公司
    • 周振豪金尚慶姜聖哲
    • H01L
    • G01N30/96
    • 一種在半導體設備中用於環境分析之離子色層分析裝置,其包括一個用以以壓力來輸送大氣之撞擊器裝置、以及一個離子色層分析器,該撞擊器裝置包括一個吸收性溶液容器、連接該容器到戶外之吸氣管與排氣管、以及用以以壓力來輸送大氧之幫浦,該離子色層分析器包括一個保護柱、一個分離柱、以及一個檢測器,該吸氣管具有一個位在即將被量測之目標取樣試件處的入口埠,該撞擊器裝置被連接到該離子色層分析器以便使該容器之吸收性溶液直接進人該離子色層分析器的取樣試件饋入口之中。
    • 一种在半导体设备中用于环境分析之离子色层分析设备,其包括一个用以以压力来输送大气之撞击器设备、以及一个离子色层分析器,该撞击器设备包括一个吸收性溶液容器、连接该容器到户外之吸气管与排气管、以及用以以压力来输送大氧之帮浦,该离子色层分析器包括一个保护柱、一个分离柱、以及一个检测器,该吸气管具有一个位在即将被量测之目标采样试件处的入口端口,该撞击器设备被连接到该离子色层分析器以便使该容器之吸收性溶液直接进人该离子色层分析器的采样试件馈入口之中。
    • 17. 发明专利
    • 組合電解質遏抑單元與分離式溶析液再生單元之裝置以及方法
    • 组合电解质遏抑单元与分离式溶析液再生单元之设备以及方法
    • TW561260B
    • 2003-11-11
    • TW090116640
    • 2001-07-06
    • 戴歐尼士公司
    • 劉元尼伯薩 艾夫達拉維克哈密須 史莫
    • G01N
    • G01N30/96G01N30/34G01N2030/965B01D15/361
    • 一種組合電解質電解質遏抑單元及分離式溶析液再生單元之裝置及方法。該遏抑單元係包括層析流出物流動通道、離子接收流動通道、及介於其間之第一個遏抑單元離子交換障壁層,可使電解質離子滲透,但液流無法滲透。來自該層析流出物間格之流出物流經該偵測器、該離子接收通道、而到達溶析液再生單元。該再生單元係包括位於第一個再生單元電極槽中之第一個再生單元電極,電解質離子儲存器,第一個充電再生單元障壁--分隔該第一個溶析液再生單元電極槽與該電解質離子儲存器,防止液體流動,但容許該電解質離子之輸送--及位於該第一個再生單元障壁與該第一個再生單元電極相反之側面上的第二個再生單元電極。流體自該離子接收流動通道流動經過該第二個再生單元電極。該第一個再生單元電極槽所電解生成之酸或鹼以溶析液流形式流至該層析分離單元。
    • 一种组合电解质电解质遏抑单元及分离式溶析液再生单元之设备及方法。该遏抑单元系包括层析流出物流动信道、离子接收流动信道、及介于其间之第一个遏抑单元离子交换障壁层,可使电解质离子渗透,但液流无法渗透。来自该层析流出物间格之流出物流经该侦测器、该离子接收信道、而到达溶析液再生单元。该再生单元系包括位于第一个再生单元电极槽中之第一个再生单元电极,电解质离子存储器,第一个充电再生单元障壁--分隔该第一个溶析液再生单元电极槽与该电解质离子存储器,防止液体流动,但容许该电解质离子之输送--及位于该第一个再生单元障壁与该第一个再生单元电极相反之侧面上的第二个再生单元电极。流体自该离子接收流动信道流动经过该第二个再生单元电极。该第一个再生单元电极槽所电解生成之酸或碱以溶析液流形式流至该层析分离单元。