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1. 实用新型

TW409939U 半導體設備內環境分析用的離子色層分析裝置失效
简体标题：半导体设备内环境分析用的离子色层分析设备
公开(公告)号：TW409939U
公开(公告)日：2000-10-21
申请号：TW088209279
申请日：1997-07-03
申请人：三星電子股份有限公司
发明人：周振豪 , 金尚慶 , 姜聖哲
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N30/96
摘要：一種在半導體設備中用於環境分析之離子色層分析裝置，其包括一個用以以壓力來輸送大氣之撞擊器裝置、以及一個離子色層分析器，該撞擊器裝置包括一個吸收性溶液容器、連接該容器到戶外之吸氣管與排氣管、以及用以以壓力來輸送大氧之幫浦，該離子色層分析器包括一個保護柱、一個分離柱、以及一個檢測器，該吸氣管具有一個位在即將被量測之目標取樣試件處的入口埠，該撞擊器裝置被連接到該離子色層分析器以便使該容器之吸收性溶液直接進人該離子色層分析器的取樣試件饋入口之中。
简体摘要：一种在半导体设备中用于环境分析之离子色层分析设备，其包括一个用以以压力来输送大气之撞击器设备、以及一个离子色层分析器，该撞击器设备包括一个吸收性溶液容器、连接该容器到户外之吸气管与排气管、以及用以以压力来输送大氧之帮浦，该离子色层分析器包括一个保护柱、一个分离柱、以及一个检测器，该吸气管具有一个位在即将被量测之目标采样试件处的入口端口，该撞击器设备被连接到该离子色层分析器以便使该容器之吸收性溶液直接进人该离子色层分析器的采样试件馈入口之中。

2. 发明专利

TW387058B 半導體樣品溶液之分析裝置及此裝置之控制方法失效
简体标题：半导体样品溶液之分析设备及此设备之控制方法
公开(公告)号：TW387058B
公开(公告)日：2000-04-11
申请号：TW086103578
申请日：1997-03-21
申请人：三星電子股份有限公司
发明人：周振豪 , 金尚慶 , 姜聖哲
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N33/18
摘要：本發明揭示用以偵測於樣品溶液中極微量離子雜質之樣品溶液分析裝置，及該裝置之控制方法。該裝置係含連接樣品容器10與正或負離子偵測器、且用以選擇性地將容器10之樣品溶液隨來自控制器l之控制訊號CSl而供應至該正或負離子偵測器之通道選擇閥13。於樣品充填步驟期間使用一充填溶液，該經填入之樣品溶液係藉由經一泵而泵送之充填溶液而推出該樣品環線而至導電度偵測器40。於樣品充填步驟之後，當再將來自容器10之新樣品溶液填入樣品環線18，係直接將先前經充填於樣環線18之充填溶液自環線18排出至該正及負離子偵測器之出口管線。
简体摘要：本发明揭示用以侦测于样品溶液中极微量离子杂质之样品溶液分析设备，及该设备之控制方法。该设备系含连接样品容器10与正或负离子侦测器、且用以选择性地将容器10之样品溶液随来自控制器l之控制信号CSl而供应至该正或负离子侦测器之信道选择阀13。于样品充填步骤期间使用一充填溶液，该经填入之样品溶液系借由经一泵而泵送之充填溶液而推出该样品环线而至导电度侦测器40。于样品充填步骤之后，当再将来自容器10之新样品溶液填入样品环线18，系直接将先前经充填于样环线18之充填溶液自环线18排出至该正及负离子侦测器之出口管线。

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