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    • 12. 发明专利
    • 於具金屬元件之反應器中,降低於半導體製程中金屬污染之方法
    • 于具金属组件之反应器中,降低于半导体制程中金属污染之方法
    • TW466596B
    • 2001-12-01
    • TW087102978
    • 1998-03-02
    • 矽谷集團熱系統有限責任公司
    • 羅伯特 貝里派翠克.布蘭狄
    • H01L
    • C23C8/80C23C8/10C23C16/4404C23C16/54Y10S438/909
    • 一種方法,將氧化鋁層形成於含鋁金屬合金的表面,該方法包含的步驟有:
      將該金屬合金於乾燥的氮氣氣氛下加熱至第一溫度;
      將該金屬合金於乾燥的氫氣氣氛下加熱至第二溫度;
      將該金屬合金於潮溼的氫氣氣氛下第一次浸漬於第二溫度,該氣氛的露點為約一40℃至約一20℃,使氧化鋁層形成於該金屬表面;
      將該金屬合金於乾燥的氫氣氣氛下第二次浸漬於第二溫度,以減少除了該氧化鋁層外任何氧化層的形成,且
      先將該金屬合金於乾燥的氫氣氣氛下冷卻至大約至少400℃,然後在乾燥的氮氣氛下冷卻至室溫,其中,大體為純的氧化鋁形成於該金屬合金的表面。
    • 一种方法,将氧化铝层形成于含铝金属合金的表面,该方法包含的步骤有: 将该金属合金于干燥的氮气气氛下加热至第一温度; 将该金属合金于干燥的氢气气氛下加热至第二温度; 将该金属合金于潮湿的氢气气氛下第一次浸渍于第二温度,该气氛的露点为约一40℃至约一20℃,使氧化铝层形成于该金属表面; 将该金属合金于干燥的氢气气氛下第二次浸渍于第二温度,以减少除了该氧化铝层外任何氧化层的形成,且 先将该金属合金于干燥的氢气气氛下冷却至大约至少400℃,然后在干燥的氮气氛下冷却至室温,其中,大体为纯的氧化铝形成于该金属合金的表面。
    • 20. 发明专利
    • 經摻雜之金屬氧化物顆粒的製造方法 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF DOPED METAL OXIDE PARTICLES
    • 经掺杂之金属氧化物颗粒的制造方法 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF DOPED METAL OXIDE PARTICLES
    • TWI339642B
    • 2011-04-01
    • TW095141330
    • 2006-11-08
    • 贏創德固賽有限責任公司
    • 凱伊 舒曼契爾雷納 高雀特漢慕特 羅德哈瑞德 艾夫安德利 麥特耶斯 羅奇尼亞
    • C01BC01GC09CC23C
    • C01B13/145C01G23/04C01P2002/52C01P2006/12C09C1/0081C09C1/3045C09C3/06C23C8/10
    • 一種經摻雜之金屬氧化物顆粒的製造方法,其中摻雜性成分係以區域形式存在於表面上,於該方法中-於第一反應區中,將作為摻雜劑的可氧化及/或可水解的金屬化合物與霧化氣體一起噴霧到金屬氧化物顆粒在載體氣體中的流之中,-其中該金屬氧化物顆粒的質量流與該摻雜劑的質量流係經選擇以使得該經摻雜之金屬氧化物顆粒含有10 ppm至10重量%的該摻雜性成分,其中要導入的該摻雜劑之量係以對應的氧化物之形式計算,且-其中在該第一反應區內的溫度係經選擇以使得在當時的反應條件下該溫度係低於該摻雜劑的沸點,及-然後,於一第二反應區中,將從該第一反應區所來的流與-隨意的至少一樣多的氧氣及/或蒸汽一起導入,該氧氣及/或蒸汽的量至少足以完全地轉化該摻雜劑,-其中該溫度為從300至2000℃,較佳為500至1000℃,及接著將該反應混合物冷卻或靜置冷卻且從氣體物質中分離出該經摻雜之金屬氧化物顆粒。
    • 一种经掺杂之金属氧化物颗粒的制造方法,其中掺杂性成分系以区域形式存在于表面上,于该方法中-于第一反应区中,将作为掺杂剂的可氧化及/或可水解的金属化合物与雾化气体一起喷雾到金属氧化物颗粒在载体气体中的流之中,-其中该金属氧化物颗粒的质量流与该掺杂剂的质量流系经选择以使得该经掺杂之金属氧化物颗粒含有10 ppm至10重量%的该掺杂性成分,其中要导入的该掺杂剂之量系以对应的氧化物之形式计算,且-其中在该第一反应区内的温度系经选择以使得在当时的反应条件下该温度系低于该掺杂剂的沸点,及-然后,于一第二反应区中,将从该第一反应区所来的流与-随意的至少一样多的氧气及/或蒸汽一起导入,该氧气及/或蒸汽的量至少足以完全地转化该掺杂剂,-其中该温度为从300至2000℃,较佳为500至1000℃,及接着将该反应混合物冷却或静置冷却且从气体物质中分离出该经掺杂之金属氧化物颗粒。