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11. 发明专利

TW201303233A 液體加熱方法、液體加熱裝置以及加熱液體供給裝置审中-公开
简体标题：液体加热方法、液体加热设备以及加热液体供给设备
公开(公告)号：TW201303233A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW101108380
申请日：2012-03-13
申请人：栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：內田稔 , UCHIDA, MINORU
IPC分类号： F24H1/10
CPC分类号： F24H1/121 , B08B2203/007 , F24H9/2028 , H01L21/67017
摘要：本發明提供如下的液體加熱方法、液體加熱裝置以及加熱液體供給裝置，當於加熱用液體流路中產生了通液不良時，可防止液體沸騰，從而避免產生過熱蒸氣。上述液體加熱裝置包括：加熱元件7，具有形成硫酸溶液所通過的筒狀流路的流路構件與配置於筒狀流路的相對向的液體流路面中的至少一個面的外側的加熱器；構成除液機構的除液用管路10、大氣開放用管路12、閥11及閥13，上述除液機構將至少在筒狀流路的相對向的液體流路面之間的受熱區域中經加熱的硫酸溶液，排出至筒狀流路外；流量計6，對供給至筒狀流路的硫酸溶液的每單位時間的流量進行測定；以及控制部14，進行控制，以接收流量計6的測定結果，基於該測定結果對筒狀流路中的通液不良進行判定，並根據通液不良，藉由除液機構來將硫酸溶液予以排出。
简体摘要：本发明提供如下的液体加热方法、液体加热设备以及加热液体供给设备，当于加热用液体流路中产生了通液不良时，可防止液体沸腾，从而避免产生过热蒸气。上述液体加热设备包括：加热组件7，具有形成硫酸溶液所通过的筒状流路的流路构件与配置于筒状流路的相对向的液体流路面中的至少一个面的外侧的加热器；构成除液机构的除液用管路10、大气开放用管路12、阀11及阀13，上述除液机构将至少在筒状流路的相对向的液体流路面之间的受热区域中经加热的硫酸溶液，排出至筒状流路外；流量计6，对供给至筒状流路的硫酸溶液的每单位时间的流量进行测定；以及控制部14，进行控制，以接收流量计6的测定结果，基于该测定结果对筒状流路中的通液不良进行判定，并根据通液不良，借由除液机构来将硫酸溶液予以排出。

12. 发明专利

TW201429877A 含有過氧化氫及氨之水的處理方法及裝置审中-公开
简体标题：含有过氧化氢及氨之水的处理方法及设备
公开(公告)号：TW201429877A
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW102105375
申请日：2013-02-08
申请人：栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：內田稔 , UCHIDA, MINORU
IPC分类号： C02F1/20 , C02F1/58 , C02F9/08 , C02F101/10 , C02F101/16
摘要：本發明之課題在於安全且能源效率佳地處理含有過氧化氫及氨之水。其解決手段在於含有過氧化氫及氨之水的處理方法，係具有：汽提工序，其係將含有過氧化氫和氨之水導入汽提塔，並且將氣體吹入該汽提塔(1)以進行汽提處理；及觸媒氧化工序，其係以觸媒反應器(16)對來自該汽提塔之汽提氣體進行觸媒氧化處理；以及氣體循環工序，其係使觸媒氧化工序之處理氣體的一部分循環於前述汽提塔並與前述空氣一同吹入。將該汽提塔(1)之溫度設為45℃至70℃，並且相對於往該汽提塔之氣體吹入量，將前述處理氣體之循環氣體流量設為15倍至60倍。
简体摘要：本发明之课题在于安全且能源效率佳地处理含有过氧化氢及氨之水。其解决手段在于含有过氧化氢及氨之水的处理方法，系具有：汽提工序，其系将含有过氧化氢和氨之水导入汽提塔，并且将气体吹入该汽提塔(1)以进行汽提处理；及触媒氧化工序，其系以触媒反应器(16)对来自该汽提塔之汽提气体进行触媒氧化处理；以及气体循环工序，其系使触媒氧化工序之处理气体的一部分循环于前述汽提塔并与前述空气一同吹入。将该汽提塔(1)之温度设为45℃至70℃，并且相对于往该汽提塔之气体吹入量，将前述处理气体之循环气体流量设为15倍至60倍。

13. 发明专利

TWI417422B 功能性溶液供應系統及方法有权
简体标题：功能性溶液供应系统及方法
公开(公告)号：TWI417422B
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW098110659
申请日：2009-03-31
申请人：栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：內田稔 , UCHIDA, MINORU , 永井達夫 , NAGAI, TATSUO , 山川晴義 , YAMAKAWA, HARUYOSHI
IPC分类号： C25B1/28 , H01L21/306
CPC分类号： C25B1/285 , C25B15/08

14. 发明专利

TW200949018A 功能性溶液供應系統 FUNCTIONAL SOLUTION PROVIDING SYSTEM AND METHOD 审中-公开
简体标题：功能性溶液供应系统 FUNCTIONAL SOLUTION PROVIDING SYSTEM AND METHOD
公开(公告)号：TW200949018A
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：TW098110659
申请日：2009-03-31
申请人：栗田工業股份有限公司
发明人：內田稔 , 永井達夫 , 山川晴義
IPC分类号： C25B , H01L
CPC分类号： C25B1/285 , C25B15/08
摘要：一種功能性溶液供應系統，其可有效率地生成硫酸電解液以作為功能性溶液，且能夠有效率地抑制自我分解而將電解所生成的過硫酸供給至使用側。該功能性溶液供應系統將硫酸溶液予以電解以製造功能性溶液而供應至使用側。該功能性溶液供應系統具有：一用以儲存硫酸溶液的儲存槽2；一用以電解硫酸溶液的電解裝置(電解電池)3；一用以加熱硫酸溶液的加熱單元(加熱器5)；一用以冷卻硫酸溶液的冷卻單元(冷卻器4)；一第一循環線11，由儲存槽排出的硫酸溶液不通過該加熱單元單元而是通過電解裝置以回到儲存槽2；一第二循環線12，由使用側(洗淨機1)導入的硫酸溶液不通過該加熱單元，而是依序通過冷卻單元與該儲存槽2後回到使用側；以及一第三循環線13，由使用側導入的硫酸溶液不通過冷卻單元與儲存槽2，而是通過該加熱單元(加熱器5)以回到使用側。
简体摘要：一种功能性溶液供应系统，其可有效率地生成硫酸电解液以作为功能性溶液，且能够有效率地抑制自我分解而将电解所生成的过硫酸供给至使用侧。该功能性溶液供应系统将硫酸溶液予以电解以制造功能性溶液而供应至使用侧。该功能性溶液供应系统具有：一用以存储硫酸溶液的存储槽2；一用以电解硫酸溶液的电解设备(电解电池)3；一用以加热硫酸溶液的加热单元(加热器5)；一用以冷却硫酸溶液的冷却单元(冷却器4)；一第一循环线11，由存储槽排出的硫酸溶液不通过该加热单元单元而是通过电解设备以回到存储槽2；一第二循环线12，由使用侧(洗净机1)导入的硫酸溶液不通过该加热单元，而是依序通过冷却单元与该存储槽2后回到使用侧；以及一第三循环线13，由使用侧导入的硫酸溶液不通过冷却单元与存储槽2，而是通过该加热单元(加热器5)以回到使用侧。

15. 发明专利

TW201202410A 洗淨系統以及洗淨方法 CLEANING SYSTEM AND CLEANING METHOD 审中-公开
简体标题：洗净系统以及洗净方法 CLEANING SYSTEM AND CLEANING METHOD
公开(公告)号：TW201202410A
公开(公告)日：2012-01-16
申请号：TW100119229
申请日：2011-06-01
申请人：栗田工業股份有限公司
发明人：內田稔 , 永井達夫
IPC分类号： C11D , C25B , H01L
CPC分类号： H01L21/02076 , C25B1/285 , C25B9/08 , F24H1/121 , G03F7/423 , H01L21/31133 , H01L21/67017
摘要：一種洗淨系統，即使當停止洗淨時，亦可於對洗淨裝置排出液中的抗蝕劑等進行分解的排出液蓄積部中，有效果地進行上述分解。該洗淨系統包括：對硫酸溶液進行電解而產生過硫酸的電解部；蓄積著經電解的硫酸溶液的電解液蓄積部；使硫酸溶液於電解部與電解液蓄積部之間循環的第1循環管路；使用包含過硫酸的硫酸溶液來將被洗淨材料予以洗淨的洗淨裝置；對洗淨裝置中所使用的硫酸溶液進行加熱的加熱部；蓄積著洗淨裝置中所使用的硫酸溶液的排出液蓄積部；第2循環管路，將電解部中經電解的硫酸溶液經由加熱部而輸送至洗淨裝置，且使於洗淨裝置中用於洗淨的硫酸溶液經由排出液蓄積部而環流；以及第3循環管路，將上述電解部中經電解的硫酸溶液不經由洗淨部而輸送至上述排出液蓄積部，且使上述硫酸溶液環流。
简体摘要：一种洗净系统，即使当停止洗净时，亦可于对洗净设备排出液中的抗蚀剂等进行分解的排出液蓄积部中，有效果地进行上述分解。该洗净系统包括：对硫酸溶液进行电解而产生过硫酸的电解部；蓄积着经电解的硫酸溶液的电解液蓄积部；使硫酸溶液于电解部与电解液蓄积部之间循环的第1循环管路；使用包含过硫酸的硫酸溶液来将被洗净材料予以洗净的洗净设备；对洗净设备中所使用的硫酸溶液进行加热的加热部；蓄积着洗净设备中所使用的硫酸溶液的排出液蓄积部；第2循环管路，将电解部中经电解的硫酸溶液经由加热部而输送至洗净设备，且使于洗净设备中用于洗净的硫酸溶液经由排出液蓄积部而环流；以及第3循环管路，将上述电解部中经电解的硫酸溶液不经由洗净部而输送至上述排出液蓄积部，且使上述硫酸溶液环流。

16. 发明专利

TW201015032A 液體加熱器與液體加熱方法 HEATER FOR LIQUID AND METHOD OF HEATING LIQUID 审中-公开
简体标题：液体加热器与液体加热方法 HEATER FOR LIQUID AND METHOD OF HEATING LIQUID
公开(公告)号：TW201015032A
公开(公告)日：2010-04-16
申请号：TW098129275
申请日：2009-08-31
申请人：栗田工業股份有限公司
发明人：內田稔 , 丸山剛
IPC分类号： F24H
CPC分类号： H05B3/10 , F24H1/101 , F24H1/121 , F24H1/162 , F24H9/0015 , F24H2250/14
摘要：一種在短時間內加熱過硫酸溶液等的流體至高溫的液體加熱器，具備：形成供液體流通且流道厚度為10mm或以下的流道4，且由透過近紅外線的材料形成之流道構件；及置於相對流道的流道面的至少一方的外側，且加熱流道內的液體之近紅外線加熱器7、8。藉由近紅外線來瞬間均勻地加熱流道中流通的液體。較佳是於流道4的內部更具備限制流道容量的隔片6。藉由減小加熱器內的流道容積並增大加熱器內的流速，來縮短液體在加熱器內的滯留時間，另外可盡量維持較大的傳熱面積，即便傳熱面溫度的設定溫度低，亦可於極短時間內使被加熱液體升溫至高溫。
简体摘要：一种在短时间内加热过硫酸溶液等的流体至高温的液体加热器，具备：形成供液体流通且流道厚度为10mm或以下的流道4，且由透过近红外线的材料形成之流道构件；及置于相对流道的流道面的至少一方的外侧，且加热流道内的液体之近红外线加热器7、8。借由近红外线来瞬间均匀地加热流道中流通的液体。较佳是于流道4的内部更具备限制流道容量的隔片6。借由减小加热器内的流道容积并增大加热器内的流速，来缩短液体在加热器内的滞留时间，另外可尽量维持较大的传热面积，即便传热面温度的设置温度低，亦可于极短时间内使被加热液体升温至高温。

17. 发明专利

TW201043734A 功能性溶液供給系統以及供給方法 FUNCTIONALITY SOLUTION SUPPLY SYSTEM AND FUNCTIONALITY SOLUTION SUPPLY METHOD 审中-公开
简体标题：功能性溶液供给系统以及供给方法 FUNCTIONALITY SOLUTION SUPPLY SYSTEM AND FUNCTIONALITY SOLUTION SUPPLY METHOD
公开(公告)号：TW201043734A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW099107137
申请日：2010-03-11
申请人：栗田工業股份有限公司
发明人：山川晴義 , 內田稔 , 大津徹
IPC分类号： C25B , H01L
CPC分类号： H01L21/02041 , C25B1/22 , C25B1/28 , C25B9/00 , H01L21/67017
摘要：本發明提供一種功能性溶液供給系統以及供給方法,對必需過硫酸濃度高或要求高液溫的化學藥液的單片式清洗裝置亦能可靠地供給滿足上述要求的功能性溶液。本發明的功能性溶液供給系統包括:電解部(電解裝置1),對硫酸濃度為75wt%-96wt%的硫酸溶液進行電解而生成過硫酸;氣液分離部(氣液分離槽10),對經電解的硫酸溶液進行氣液分離;循環線路11,使在上述氣液分離部中經氣液分離的硫酸溶液的一部分在與上述電解部之間循環;供給線路20,將在上述氣液分離部中經氣液分離的硫酸溶液的一部分供給於使用側(單片式清洗裝置100);以及加熱部22,嵌設於供給線路20中,將硫酸溶液加熱至120℃-190。其中,以將硫酸溶液導入至加熱部的入口起直至在使用側使用為止的通液時間為小於1分鐘的方式來進行設定。
简体摘要：本发明提供一种功能性溶液供给系统以及供给方法,对必需过硫酸浓度高或要求高液温的化学药液的单片式清洗设备亦能可靠地供给满足上述要求的功能性溶液。本发明的功能性溶液供给系统包括:电解部(电解设备1),对硫酸浓度为75wt%-96wt%的硫酸溶液进行电解而生成过硫酸;气液分离部(气液分离槽10),对经电解的硫酸溶液进行气液分离;循环线路11,使在上述气液分离部中经气液分离的硫酸溶液的一部分在与上述电解部之间循环;供给线路20,将在上述气液分离部中经气液分离的硫酸溶液的一部分供给于使用侧(单片式清洗设备100);以及加热部22,嵌设于供给线路20中,将硫酸溶液加热至120℃-190。其中,以将硫酸溶液导入至加热部的入口起直至在使用侧使用为止的通液时间为小于1分钟的方式来进行设置。

18. 发明专利

TW201241237A 硫酸電解方法以及硫酸電解裝置 METHOD FOR ELECTROLYZING SULFURIC ACID AND DEVICE FOR ELECTROLYZING SULFURIC ACID 审中-公开
简体标题：硫酸电解方法以及硫酸电解设备 METHOD FOR ELECTROLYZING SULFURIC ACID AND DEVICE FOR ELECTROLYZING SULFURIC ACID
公开(公告)号：TW201241237A
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：TW101106122
申请日：2012-02-24
申请人：栗田工業股份有限公司
发明人：內田稔
IPC分类号： C25B
CPC分类号： C25B1/285 , C25B9/06 , C25B11/12 , C25B15/02 , H01L21/31133
摘要：本發明消除對硫酸進行電解的電解單元中的硫的蓄積所引起的不良影響。本發明的電解裝置1包括：可供硫酸溶液出入的電解單元2；包含導電性金剛石電極的電極；對電解單元進行硫酸溶液的輸送的送液設備；對電極的陽極與陰極之間施加電壓的電源部3；以及電源控制部4，對電源部進行如下的控制，即，於通常的電解時對陽極與陰極之間施加順向電壓，並且於預定的條件下執行將施加至陽極與陰極之間的電壓逆轉的換極；電解裝置1中，進行對陽極與陰極間施加順向電壓而進行電解的通常動作，並進行將於通常動作期間施加至陽極與陰極的電壓逆轉的換極動作，而使於通常動作時在電解單元內生成的硫析出物於換極動作時溶解於硫酸溶液中，而可持續地進行穩定的電解。
简体摘要：本发明消除对硫酸进行电解的电解单元中的硫的蓄积所引起的不良影响。本发明的电解设备1包括：可供硫酸溶液出入的电解单元2；包含导电性金刚石电极的电极；对电解单元进行硫酸溶液的输送的送液设备；对电极的阳极与阴极之间施加电压的电源部3；以及电源控制部4，对电源部进行如下的控制，即，于通常的电解时对阳极与阴极之间施加顺向电压，并且于预定的条件下运行将施加至阳极与阴极之间的电压逆转的换极；电解设备1中，进行对阳极与阴极间施加顺向电压而进行电解的通常动作，并进行将于通常动作期间施加至阳极与阴极的电压逆转的换极动作，而使于通常动作时在电解单元内生成的硫析出物于换极动作时溶解于硫酸溶液中，而可持续地进行稳定的电解。

19. 发明专利

TW201218265A 洗淨系統與洗淨方法 CLEANING SYSTEM AND CLEANING METHOD 审中-公开
简体标题：洗净系统与洗净方法 CLEANING SYSTEM AND CLEANING METHOD
公开(公告)号：TW201218265A
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW100119233
申请日：2011-06-01
申请人：栗田工業股份有限公司
发明人：內田稔 , 大津徹
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/31133 , C25B1/285 , C25B9/08 , H01L21/67017
摘要：一種洗淨系統,即便於無塵室等設置受到制約的空間中,亦可抑制急速加熱器等的加熱部的液壓,將包含過硫酸的硫酸溶液用於洗淨。該洗淨系統包括:對硫酸溶液電解而產生過硫酸的電解部;蓄積著硫酸溶液的第1蓄積部;使硫酸溶液於電解部與第1蓄積部之間循環的循環管路;使用包含過硫酸的硫酸溶液來將被洗淨材料洗淨的洗淨裝置;將電解部中經電解的硫酸溶液輸送至洗淨裝置的供給管路;加熱部,插設於洗淨裝置的上游側的供給管路,對洗淨裝置中所使用的硫酸溶液加熱;以及插設於加熱部的上游側的供給管路的第2蓄積部,第2蓄積部與加熱部處於在空間上比第1蓄積部、電解部及循環管路更高的位置,因此,可以不對加熱部等施加高液壓的方式,空間效率良好地對裝置進行配置。
简体摘要：一种洗净系统,即便于无尘室等设置受到制约的空间中,亦可抑制急速加热器等的加热部的液压,将包含过硫酸的硫酸溶液用于洗净。该洗净系统包括:对硫酸溶液电解而产生过硫酸的电解部;蓄积着硫酸溶液的第1蓄积部;使硫酸溶液于电解部与第1蓄积部之间循环的循环管路;使用包含过硫酸的硫酸溶液来将被洗净材料洗净的洗净设备;将电解部中经电解的硫酸溶液输送至洗净设备的供给管路;加热部,插设于洗净设备的上游侧的供给管路,对洗净设备中所使用的硫酸溶液加热;以及插设于加热部的上游侧的供给管路的第2蓄积部,第2蓄积部与加热部处于在空间上比第1蓄积部、电解部及循环管路更高的位置,因此,可以不对加热部等施加高液压的方式,空间效率良好地对设备进行配置。

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