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热词
    • 2. 发明专利
    • 液體加熱器
    • 液体加热器
    • TW201308484A
    • 2013-02-16
    • TW101118711
    • 2012-05-25
    • 栗田工業股份有限公司KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
    • 內田稔UCHIDA, MINORU山川晴義YAMAKAWA, HARUYOSHI松本直樹MATSUMOTO, NAOKI
    • H01L21/67H05B6/06H05B6/80
    • F24H1/121F24H1/142F24H9/0015F24H9/2028
    • 本發明防止急速地將液體加熱的液體加熱器的機器本體的過熱等。液體加熱器1包括:供液體通過的加熱用液體流路2,配置在上述加熱用液體流路2的外側的加熱部3,與上述加熱部3的熱輻射側相向而配置的熱反射部(反射板4),及使冷卻介質向上述熱反射部的反射面的背面側流通而對上述熱反射部進行冷卻的冷卻部5,藉此利用熱反射部將未被液體吸收的輻射熱反射,而防止加熱器本體或周邊構件受到輻射熱變得高溫從而造成燒損或熔損,進而利用冷卻部5將反射輻射熱的熱反射部冷卻,由此將加熱器本體或周邊構件維持為規定溫度以下。
    • 本发明防止急速地将液体加热的液体加热器的机器本体的过热等。液体加热器1包括:供液体通过的加热用液体流路2,配置在上述加热用液体流路2的外侧的加热部3,与上述加热部3的热辐射侧相向而配置的热反射部(反射板4),及使冷却介质向上述热反射部的反射面的背面侧流通而对上述热反射部进行冷却的冷却部5,借此利用热反射部将未被液体吸收的辐射热反射,而防止加热器本体或周边构件受到辐射热变得高温从而造成烧损或熔损,进而利用冷却部5将反射辐射热的热反射部冷却,由此将加热器本体或周边构件维持为规定温度以下。
    • 4. 发明专利
    • 液體加熱方法、液體加熱裝置以及加熱液體供給裝置
    • 液体加热方法、液体加热设备以及加热液体供给设备
    • TW201303233A
    • 2013-01-16
    • TW101108380
    • 2012-03-13
    • 栗田工業股份有限公司KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
    • 內田稔UCHIDA, MINORU
    • F24H1/10
    • F24H1/121B08B2203/007F24H9/2028H01L21/67017
    • 本發明提供如下的液體加熱方法、液體加熱裝置以及加熱液體供給裝置,當於加熱用液體流路中產生了通液不良時,可防止液體沸騰,從而避免產生過熱蒸氣。上述液體加熱裝置包括:加熱元件7,具有形成硫酸溶液所通過的筒狀流路的流路構件與配置於筒狀流路的相對向的液體流路面中的至少一個面的外側的加熱器;構成除液機構的除液用管路10、大氣開放用管路12、閥11及閥13,上述除液機構將至少在筒狀流路的相對向的液體流路面之間的受熱區域中經加熱的硫酸溶液,排出至筒狀流路外;流量計6,對供給至筒狀流路的硫酸溶液的每單位時間的流量進行測定;以及控制部14,進行控制,以接收流量計6的測定結果,基於該測定結果對筒狀流路中的通液不良進行判定,並根據通液不良,藉由除液機構來將硫酸溶液予以排出。
    • 本发明提供如下的液体加热方法、液体加热设备以及加热液体供给设备,当于加热用液体流路中产生了通液不良时,可防止液体沸腾,从而避免产生过热蒸气。上述液体加热设备包括:加热组件7,具有形成硫酸溶液所通过的筒状流路的流路构件与配置于筒状流路的相对向的液体流路面中的至少一个面的外侧的加热器;构成除液机构的除液用管路10、大气开放用管路12、阀11及阀13,上述除液机构将至少在筒状流路的相对向的液体流路面之间的受热区域中经加热的硫酸溶液,排出至筒状流路外;流量计6,对供给至筒状流路的硫酸溶液的每单位时间的流量进行测定;以及控制部14,进行控制,以接收流量计6的测定结果,基于该测定结果对筒状流路中的通液不良进行判定,并根据通液不良,借由除液机构来将硫酸溶液予以排出。
    • 5. 发明专利
    • 功能性溶液供應系統 FUNCTIONAL SOLUTION PROVIDING SYSTEM AND METHOD
    • 功能性溶液供应系统 FUNCTIONAL SOLUTION PROVIDING SYSTEM AND METHOD
    • TW200949018A
    • 2009-12-01
    • TW098110659
    • 2009-03-31
    • 栗田工業股份有限公司
    • 內田稔永井達夫山川晴義
    • C25BH01L
    • C25B1/285C25B15/08
    • 一種功能性溶液供應系統,其可有效率地生成硫酸電解液以作為功能性溶液,且能夠有效率地抑制自我分解而將電解所生成的過硫酸供給至使用側。該功能性溶液供應系統將硫酸溶液予以電解以製造功能性溶液而供應至使用側。該功能性溶液供應系統具有:一用以儲存硫酸溶液的儲存槽2;一用以電解硫酸溶液的電解裝置(電解電池)3;一用以加熱硫酸溶液的加熱單元(加熱器5);一用以冷卻硫酸溶液的冷卻單元(冷卻器4);一第一循環線11,由儲存槽排出的硫酸溶液不通過該加熱單元單元而是通過電解裝置以回到儲存槽2;一第二循環線12,由使用側(洗淨機1)導入的硫酸溶液不通過該加熱單元,而是依序通過冷卻單元與該儲存槽2後回到使用側;以及一第三循環線13,由使用側導入的硫酸溶液不通過冷卻單元與儲存槽2,而是通過該加熱單元(加熱器5)以回到使用側。
    • 一种功能性溶液供应系统,其可有效率地生成硫酸电解液以作为功能性溶液,且能够有效率地抑制自我分解而将电解所生成的过硫酸供给至使用侧。该功能性溶液供应系统将硫酸溶液予以电解以制造功能性溶液而供应至使用侧。该功能性溶液供应系统具有:一用以存储硫酸溶液的存储槽2;一用以电解硫酸溶液的电解设备(电解电池)3;一用以加热硫酸溶液的加热单元(加热器5);一用以冷却硫酸溶液的冷却单元(冷却器4);一第一循环线11,由存储槽排出的硫酸溶液不通过该加热单元单元而是通过电解设备以回到存储槽2;一第二循环线12,由使用侧(洗净机1)导入的硫酸溶液不通过该加热单元,而是依序通过冷却单元与该存储槽2后回到使用侧;以及一第三循环线13,由使用侧导入的硫酸溶液不通过冷却单元与存储槽2,而是通过该加热单元(加热器5)以回到使用侧。
    • 9. 发明专利
    • 洗淨系統以及洗淨方法 CLEANING SYSTEM AND CLEANING METHOD
    • 洗净系统以及洗净方法 CLEANING SYSTEM AND CLEANING METHOD
    • TW201202410A
    • 2012-01-16
    • TW100119229
    • 2011-06-01
    • 栗田工業股份有限公司
    • 內田稔永井達夫
    • C11DC25BH01L
    • H01L21/02076C25B1/285C25B9/08F24H1/121G03F7/423H01L21/31133H01L21/67017
    • 一種洗淨系統,即使當停止洗淨時,亦可於對洗淨裝置排出液中的抗蝕劑等進行分解的排出液蓄積部中,有效果地進行上述分解。該洗淨系統包括:對硫酸溶液進行電解而產生過硫酸的電解部;蓄積著經電解的硫酸溶液的電解液蓄積部;使硫酸溶液於電解部與電解液蓄積部之間循環的第1循環管路;使用包含過硫酸的硫酸溶液來將被洗淨材料予以洗淨的洗淨裝置;對洗淨裝置中所使用的硫酸溶液進行加熱的加熱部;蓄積著洗淨裝置中所使用的硫酸溶液的排出液蓄積部;第2循環管路,將電解部中經電解的硫酸溶液經由加熱部而輸送至洗淨裝置,且使於洗淨裝置中用於洗淨的硫酸溶液經由排出液蓄積部而環流;以及第3循環管路,將上述電解部中經電解的硫酸溶液不經由洗淨部而輸送至上述排出液蓄積部,且使上述硫酸溶液環流。
    • 一种洗净系统,即使当停止洗净时,亦可于对洗净设备排出液中的抗蚀剂等进行分解的排出液蓄积部中,有效果地进行上述分解。该洗净系统包括:对硫酸溶液进行电解而产生过硫酸的电解部;蓄积着经电解的硫酸溶液的电解液蓄积部;使硫酸溶液于电解部与电解液蓄积部之间循环的第1循环管路;使用包含过硫酸的硫酸溶液来将被洗净材料予以洗净的洗净设备;对洗净设备中所使用的硫酸溶液进行加热的加热部;蓄积着洗净设备中所使用的硫酸溶液的排出液蓄积部;第2循环管路,将电解部中经电解的硫酸溶液经由加热部而输送至洗净设备,且使于洗净设备中用于洗净的硫酸溶液经由排出液蓄积部而环流;以及第3循环管路,将上述电解部中经电解的硫酸溶液不经由洗净部而输送至上述排出液蓄积部,且使上述硫酸溶液环流。
    • 10. 发明专利
    • 液體加熱器與液體加熱方法 HEATER FOR LIQUID AND METHOD OF HEATING LIQUID
    • 液体加热器与液体加热方法 HEATER FOR LIQUID AND METHOD OF HEATING LIQUID
    • TW201015032A
    • 2010-04-16
    • TW098129275
    • 2009-08-31
    • 栗田工業股份有限公司
    • 內田稔丸山剛
    • F24H
    • H05B3/10F24H1/101F24H1/121F24H1/162F24H9/0015F24H2250/14
    • 一種在短時間內加熱過硫酸溶液等的流體至高溫的液體加熱器,具備:形成供液體流通且流道厚度為10mm或以下的流道4,且由透過近紅外線的材料形成之流道構件;及置於相對流道的流道面的至少一方的外側,且加熱流道內的液體之近紅外線加熱器7、8。藉由近紅外線來瞬間均勻地加熱流道中流通的液體。較佳是於流道4的內部更具備限制流道容量的隔片6。藉由減小加熱器內的流道容積並增大加熱器內的流速,來縮短液體在加熱器內的滯留時間,另外可盡量維持較大的傳熱面積,即便傳熱面溫度的設定溫度低,亦可於極短時間內使被加熱液體升溫至高溫。
    • 一种在短时间内加热过硫酸溶液等的流体至高温的液体加热器,具备:形成供液体流通且流道厚度为10mm或以下的流道4,且由透过近红外线的材料形成之流道构件;及置于相对流道的流道面的至少一方的外侧,且加热流道内的液体之近红外线加热器7、8。借由近红外线来瞬间均匀地加热流道中流通的液体。较佳是于流道4的内部更具备限制流道容量的隔片6。借由减小加热器内的流道容积并增大加热器内的流速,来缩短液体在加热器内的滞留时间,另外可尽量维持较大的传热面积,即便传热面温度的设置温度低,亦可于极短时间内使被加热液体升温至高温。