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11. 发明专利

TW201543189A 基板處理裝置、位置偏移修正方法及記憶媒體审中-公开
简体标题：基板处理设备、位置偏移修正方法及记忆媒体
公开(公告)号：TW201543189A
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：TW104105460
申请日：2015-02-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：飯田成昭 , IIDA, NARUAKI , 森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/677 , H01L21/68 , H01L21/687
CPC分类号： G05B19/4189 , G05B2219/45031 , H01L21/67766 , H01L21/681 , H01L21/68707 , Y02P90/28
摘要：當基板保持於基板保持具時，可修正基板的位置相對於基板保持具之偏移。一種基板處理裝置，包含：第1載置處及第2載置處(14B，1420)，可用來載置基板(W)；基板搬運裝置(13)，具有可保持基板之基板保持具(137)，可於至少第1載置處及第2載置處之間搬運基板；及基板位置測定部(1413)，可用來檢測保持於基板保持具之基板位置。該基板位置測定部係位在獨立於該基板搬運裝置(13)的位置，且可藉由該基板搬運裝置之基板保持具將被保持之基板送入該位置。
简体摘要：当基板保持于基板保持具时，可修正基板的位置相对于基板保持具之偏移。一种基板处理设备，包含：第1载置处及第2载置处(14B，1420)，可用来载置基板(W)；基板搬运设备(13)，具有可保持基板之基板保持具(137)，可于至少第1载置处及第2载置处之间搬运基板；及基板位置测定部(1413)，可用来检测保持于基板保持具之基板位置。该基板位置测定部系位在独立于该基板搬运设备(13)的位置，且可借由该基板搬运设备之基板保持具将被保持之基板送入该位置。

12. 发明专利

TW201536652A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201536652A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW103145387
申请日：2014-12-25
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 上田一成 , UEDA, ISSEI , 村田晃 , MURATA, AKIRA , 南田純也 , MINAMIDA, JUNYA
IPC分类号： B65G47/88 , B65G47/53 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/67178 , H01L21/67754 , H01L21/67757
摘要：本發明提供一種基板處理裝置，可達成處理量的提升。實施形態之基板處理裝置，具備複數之處理單元、及基板搬運裝置。複數之處理單元，於鉛直方向排列配置，用來處理基板。基板搬運裝置，可於鉛直方向移動，對處理單元進行基板的搬出入。此外，基板搬運裝置，具備第1搬運臂與第2搬運臂，於鉛直方向排列配置，且朝鉛直方向的可動範圍彼此重疊，獨立地朝鉛直方向移動。
简体摘要：本发明提供一种基板处理设备，可达成处理量的提升。实施形态之基板处理设备，具备复数之处理单元、及基板搬运设备。复数之处理单元，于铅直方向排列配置，用来处理基板。基板搬运设备，可于铅直方向移动，对处理单元进行基板的搬出入。此外，基板搬运设备，具备第1搬运臂与第2搬运臂，于铅直方向排列配置，且朝铅直方向的可动范围彼此重叠，独立地朝铅直方向移动。

13. 发明专利

TW201448087A 基板運送裝置、基板運送方法及記憶媒體审中-公开
简体标题：基板运送设备、基板运送方法及记忆媒体
公开(公告)号：TW201448087A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW102146421
申请日：2013-12-16
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO , 須中郁雄 , SUNAKA, IKUO , 中野征二 , NAKANO, SEIJI , 倉富一紀 , KURATOMI, KAZUNORI , 島津利郎 , SHIMAZU, TOSHIO
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265 , B65G2201/0297 , H01L21/67772 , H01L21/67778
摘要：本發明之目的在於提供一種技術，可在從收納基板並將其送入基板處理裝置的運送容器中送出基板時，避免基板的損傷及運送錯誤。為達成上述之目的，本發明提供一種從運送容器取出基板的基板運送裝置，該運送容器中，容器本體正面的基板取出口被蓋體氣密封蓋，且以棚架狀收納複數之基板並將其運送，而該基板運送裝置，係以具備下述元件的方式所構成：裝載埠，使該運送容器送入；檢測部，檢測被送入該裝載埠且該蓋體被卸下的容器本體內之該基板的收納狀況；基板運送機構，用以進入已檢測該收納狀況之容器本體內以取出基板；及修正機構，在以該基板運送機構從被該檢測部檢測出該收納狀況異常之容器本體取出基板之前，修正該容器本體內之基板的收納狀況。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种技术，可在从收纳基板并将其送入基板处理设备的运送容器中送出基板时，避免基板的损伤及运送错误。为达成上述之目的，本发明提供一种从运送容器取出基板的基板运送设备，该运送容器中，容器本体正面的基板取出口被盖体气密封盖，且以棚架状收纳复数之基板并将其运送，而该基板运送设备，系以具备下述组件的方式所构成：装载端口，使该运送容器送入；检测部，检测被送入该装载端口且该盖体被卸下的容器本体内之该基板的收纳状况；基板运送机构，用以进入已检测该收纳状况之容器本体内以取出基板；及修正机构，在以该基板运送机构从被该检测部检测出该收纳状况异常之容器本体取出基板之前，修正该容器本体内之基板的收纳状况。

14. 发明专利

TWI460814B 基板之支持裝置有权
简体标题：基板之支持设备
公开(公告)号：TWI460814B
公开(公告)日：2014-11-11
申请号：TW099109620
申请日：2010-03-30
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：中野征二 , NAKANO, SEIJI , 松下道明 , MATSUSHITA, MICHIAKI , 飯田成昭 , IIDA, NARUAKI , 榎木田卓 , ENOKIDA, SUGURU , 森川勝洋 , MORIKAWA, KATSUHIRO
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/68707

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