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11. 发明专利

TW200742717A 光柵盒审中-公开
简体标题：光栅盒
公开(公告)号：TW200742717A
公开(公告)日：2007-11-16
申请号：TW096116310
申请日：2007-05-08
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：松鳥千明 CHIAKI MATSUTORI , 柳原公一 KOICHI YANAGIHARA
IPC分类号： B65D , H01L
CPC分类号： G03F7/70741 , H01L21/67353 , H01L21/67359 , H01L21/67393 , H01L21/67396
摘要：本發明係為了提供:能防止光柵盒的帶電、可防止灰塵等的異物靜電附著於光柵及光柵盒、且能確實掌握光柵資訊之技術手段。其第1手段,係在光柵盒的上下面設置透明窗。藉此可掌握光柵盒內之光柵狀態以及光柵資訊。其第2手段,透明窗以外的光柵盒係由非帶電性材料所形成且呈連續。藉此可防止光柵盒的帶電。其第3手段,係在光柵盒設置呼吸閥以及化學吸收器。藉此能使光柵盒內恒保持清淨的環境。且呼吸閥係採用不致突出光柵盒外表面的構造。因此,能使用形成於光柵盒本體與蓋體的側面之V槽,用固定滑件將光柵盒本體與蓋體予以結合固定。此外,能避免呼吸閥之破損而使光柵盒之操作變容易。
简体摘要：本发明系为了提供:能防止光栅盒的带电、可防止灰尘等的异物静电附着于光栅及光栅盒、且能确实掌握光栅信息之技术手段。其第1手段,系在光栅盒的上下面设置透明窗。借此可掌握光栅盒内之光栅状态以及光栅信息。其第2手段,透明窗以外的光栅盒系由非带电性材料所形成且呈连续。借此可防止光栅盒的带电。其第3手段,系在光栅盒设置呼吸阀以及化学吸收器。借此能使光栅盒内恒保持清净的环境。且呼吸阀系采用不致突出光栅盒外表面的构造。因此,能使用形成于光栅盒本体与盖体的侧面之V槽,用固定滑件将光栅盒本体与盖体予以结合固定。此外,能避免呼吸阀之破损而使光栅盒之操作变容易。

12. 发明专利

TW200708879A 背面投射型屏幕 REAR PROJECTION TYPE SCREEN 审中-公开
公开(公告)号：TW200708879A
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：TW095118077
申请日：2006-05-22
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：兵部行遠 YUKIHIRO HYOBU
IPC分类号： G03B
CPC分类号： G03B21/10 , G03B21/625
摘要：本發明之目的在於以廉價提供背面投射型屏幕,無須降低使用有微透鏡陣列之屏幕中的亮度或視角特性,即可提高對外光之遮光效果且對比度良好,且因難以吸附灰塵故長期使用亦不會引起畫質之劣化。上述背面投射型屏幕至少具有:透明微透鏡陣列片1,於一面排列使平行入射之光聚光於焦點之微透鏡3而成;以及指向性光吸收片2,具備透射來自特定方向之光並吸收其以外之光的開口,其中上述開口係排列開口於上述微透鏡3焦點附近之針孔5而成的針孔陣列,且上述針孔之開口部設為錐體梯形構造。
简体摘要：本发明之目的在于以廉价提供背面投射型屏幕,无须降低使用有微透镜数组之屏幕中的亮度或视角特性,即可提高对外光之遮光效果且对比度良好,且因难以吸附灰尘故长期使用亦不会引起画质之劣化。上述背面投射型屏幕至少具有:透明微透镜数组片1,于一面排列使平行入射之光聚光于焦点之微透镜3而成;以及指向性光吸收片2,具备透射来自特定方向之光并吸收其以外之光的开口,其中上述开口系排列开口于上述微透镜3焦点附近之针孔5而成的针孔数组,且上述针孔之开口部设为锥体梯形构造。

13. 发明专利

TW200624353A 薄板支持容器用蓋體及蓋體安裝方法 LID UNIT FOR THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND METHOD FOR ATTACHING LID UNIT 审中-公开
简体标题：薄板支持容器用盖体及盖体安装方法 LID UNIT FOR THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND METHOD FOR ATTACHING LID UNIT
公开(公告)号：TW200624353A
公开(公告)日：2006-07-16
申请号：TW094139865
申请日：2005-11-14
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：松鳥千明 CHIAKI MATSUTORI , 大林忠弘 TADAHIRO OBAYASHI , 井上忠利 TADATOSHI INOUE
IPC分类号： B65D
CPC分类号： H01L21/67373
摘要：本發明係針對收容半導體晶圓49之薄板支持容器11之容器本體12予以封閉的蓋體15。上述蓋體15之簡易裝卸機構32具備有：卡接構件42，其從本體部30延伸出，並卡接於容器本體12之被嵌合部24；導引構件43，其在上述本體部30輕輕嵌合於容器本體12側之狀態下，安裝於被嵌合部24上，用於將卡接構件42導引於被嵌合部24內；及突出構件44，其在與上述卡接構件42卡接之狀態下轉動，並使卡接構件42從上述本體部30延伸出，而卡接於上述容器本體12之被嵌合部24上。將上述突出構件44之轉動區域區分成：使上述卡接構件42卡接於上述容器本體12之被嵌合部24上，用以將上述蓋體固定在上述容器本體側之轉動區域；及在將上述蓋體固定於上述容器本體側之狀態下，進一步使上述突出構件轉動，用以固定該突出構件本身之轉動區域。
简体摘要：本发明系针对收容半导体晶圆49之薄板支持容器11之容器本体12予以封闭的盖体15。上述盖体15之简易装卸机构32具备有：卡接构件42，其从本体部30延伸出，并卡接于容器本体12之被嵌合部24；导引构件43，其在上述本体部30轻轻嵌合于容器本体12侧之状态下，安装于被嵌合部24上，用于将卡接构件42导引于被嵌合部24内；及突出构件44，其在与上述卡接构件42卡接之状态下转动，并使卡接构件42从上述本体部30延伸出，而卡接于上述容器本体12之被嵌合部24上。将上述突出构件44之转动区域区分成：使上述卡接构件42卡接于上述容器本体12之被嵌合部24上，用以将上述盖体固定在上述容器本体侧之转动区域；及在将上述盖体固定于上述容器本体侧之状态下，进一步使上述突出构件转动，用以固定该突出构件本身之转动区域。

14. 发明专利

TW200621598A 標線片搬運容器 RETICLE-CARRYING CONTAINER 失效
简体标题：标线片搬运容器 RETICLE-CARRYING CONTAINER
公开(公告)号：TW200621598A
公开(公告)日：2006-07-01
申请号：TW094138349
申请日：2005-11-02
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：松鳥千明 CHIAKI MATSUTORI , 柳原公一 KOICHI YANAGIHARA
IPC分类号： B65D , H01L
CPC分类号： G03F7/70741 , G03F1/66 , H01L21/67005 , H01L21/6735
摘要：即使標線片搬運容器11的方向錯誤也可安裝標線片貯存器2。一種具有：在一端具有開口且具有可收容標線片12之內部，可覆蓋塞住上述開口之門板14；及，以上述門板14塞住上述密閉莢式容器13時可氣密地密封內部之密封材料15；如此的標線片搬運容器11。使形成於上述門板14之外側表面，而在裝置側定位安裝用之活動銷槽61變更180°方向設有二組者。在上述密閉莢式容器13的外側表面中對應於上述活動銷槽61的位置，使接受上述活動銷槽61而保持之支承部22配設成從任一方向均可嵌合上述二組活動銷槽61。
简体摘要：即使标线片搬运容器11的方向错误也可安装标线片贮存器2。一种具有：在一端具有开口且具有可收容标线片12之内部，可覆盖塞住上述开口之门板14；及，以上述门板14塞住上述密闭荚式容器13时可气密地密封内部之密封材料15；如此的标线片搬运容器11。使形成于上述门板14之外侧表面，而在设备侧定位安装用之活动销槽61变更180°方向设有二组者。在上述密闭荚式容器13的外侧表面中对应于上述活动销槽61的位置，使接受上述活动销槽61而保持之支承部22配设成从任一方向均可嵌合上述二组活动销槽61。

15. 发明专利

TW200728163A 製載托盤及薄板保持容器 LOADING TRAY AND THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER 审中-公开
简体标题：制载托盘及薄板保持容器 LOADING TRAY AND THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER
公开(公告)号：TW200728163A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：TW095144918
申请日：2006-12-04
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：兵部行遠 YUKIHIRO HYOBU
IPC分类号： B65D
CPC分类号： H01L21/67346 , H01L21/67294 , H01L21/67379
摘要：本發明之裝載托盤可安全且可靠地支持薄板。本發明之裝載托盤係支持至少1片薄板之裝載托盤13。本發明之薄板保持容器具備:第1裝載部18,其設置於一側面,且裝載有至少1片薄板;第2裝載部19,其設置於另一側面,與其他裝載托盤13之上述第1裝載部18嵌合而形成與外部環境隔離之收納空間,同時於該收納空間內夾住上述薄板並使其上下顛倒時,裝載該薄板;鉤30,其設置於一側面,且與其他裝載托盤13結合;以及鉤扣止機構31,其設置於另一側面,且與其他裝載托盤13之鉤30結合。使數量與上述薄板之數量相一致之該裝載托盤13重疊,構成薄板保持容器11。該薄板保持容器11可自上下之任一方支持薄板。
简体摘要：本发明之装载托盘可安全且可靠地支持薄板。本发明之装载托盘系支持至少1片薄板之装载托盘13。本发明之薄板保持容器具备:第1装载部18,其设置于一侧面,且装载有至少1片薄板;第2装载部19,其设置于另一侧面,与其他装载托盘13之上述第1装载部18嵌合而形成与外部环境隔离之收纳空间,同时于该收纳空间内夹住上述薄板并使其上下颠倒时,装载该薄板;钩30,其设置于一侧面,且与其他装载托盘13结合;以及钩扣止机构31,其设置于另一侧面,且与其他装载托盘13之钩30结合。使数量与上述薄板之数量相一致之该装载托盘13重叠,构成薄板保持容器11。该薄板保持容器11可自上下之任一方支持薄板。

16. 发明专利

TW200723434A 薄板保持容器及薄板保持容器用處理裝置 THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER PROCESSING DEVICE 失效
简体标题：薄板保持容器及薄板保持容器用处理设备 THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER PROCESSING DEVICE
公开(公告)号：TW200723434A
公开(公告)日：2007-06-16
申请号：TW095136234
申请日：2006-09-29
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：兵部行遠 YUKIHIRO HYOBU , 長田厚 ATSUSHI OSADA
IPC分类号： H01L , B65D , B65G
CPC分类号： H01L21/67346 , H01L21/67778
摘要：本發明提供一種薄板保持容器,對任意片數的半導體晶圓,於上下任一側皆柔軟地支持。保持多片半導體晶圓以用於搬送、保管、處理等之薄板保持容器,其具備有:處理托盤,多片該處理托盤在分別保持有至少1片半導體晶圓之狀態下被層疊;和結合機構,在層疊有多片該處理托盤之狀態下將該等結合成一體並可在任意位置處分割。處理托盤於一側面具備有用來保持至少1片半導體晶圓之一側固定保持部,同時於另一側面具備有另一側固定保持部,其藉與其他處理托盤之上述一側固定保持部相互嵌合,而形成與外部環境相隔離且用以固定及保持上述薄板的收納空間。如此,將片數對應於半導體晶圓之片數的處理托盤層疊,而構成本發明之薄板保持容器。
简体摘要：本发明提供一种薄板保持容器,对任意片数的半导体晶圆,于上下任一侧皆柔软地支持。保持多片半导体晶圆以用于搬送、保管、处理等之薄板保持容器,其具备有:处理托盘,多片该处理托盘在分别保持有至少1片半导体晶圆之状态下被层叠;和结合机构,在层叠有多片该处理托盘之状态下将该等结合成一体并可在任意位置处分割。处理托盘于一侧面具备有用来保持至少1片半导体晶圆之一侧固定保持部,同时于另一侧面具备有另一侧固定保持部,其藉与其他处理托盘之上述一侧固定保持部相互嵌合,而形成与外部环境相隔离且用以固定及保持上述薄板的收纳空间。如此,将片数对应于半导体晶圆之片数的处理托盘层叠,而构成本发明之薄板保持容器。

17. 发明专利

TW200711026A 氣密容器 AIRTIGHT CONTAINER 审中-公开
简体标题：气密容器 AIRTIGHT CONTAINER
公开(公告)号：TW200711026A
公开(公告)日：2007-03-16
申请号：TW095105718
申请日：2006-02-21
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：小南佐年 SATOSHI KOMINAMI
IPC分类号： H01L , B65D
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67383
摘要：蓋體14內之空間可被擴大,且內部所收納之構件的設計自由度可提高。一種氣密容器11,其包含:內部收納複數片半導體晶圓W的容器本體12;用於封閉容器本體12的蓋體14;及將容器本體12和蓋體14之間密封之密封材料74。蓋體14之內側板部30A上具備有各一片支持半導體晶圓W的支持槽41。支持槽41於蓋體14之內側板部30A上,面向容器本體12側開口而形成,其由各一片嵌合支持半導體晶圓W之長槽所構成。支持槽41底部形成有V形槽部42。其他構成之支持槽61由隙槽部62和薄板支持體63所構成;而隙槽部62形成於內側板部30A上;且薄板支持體63相對應於隙槽部62,而設置於蓋板65和內側板部30A之間之薄板支持空間S,各一片支持隙槽部62上所嵌合之半導體晶圓W。
简体摘要：盖体14内之空间可被扩大,且内部所收纳之构件的设计自由度可提高。一种气密容器11,其包含:内部收纳复数片半导体晶圆W的容器本体12;用于封闭容器本体12的盖体14;及将容器本体12和盖体14之间密封之密封材料74。盖体14之内侧板部30A上具备有各一片支持半导体晶圆W的支持槽41。支持槽41于盖体14之内侧板部30A上,面向容器本体12侧开口而形成,其由各一片嵌合支持半导体晶圆W之长槽所构成。支持槽41底部形成有V形槽部42。其他构成之支持槽61由隙槽部62和薄板支持体63所构成;而隙槽部62形成于内侧板部30A上;且薄板支持体63相对应于隙槽部62,而设置于盖板65和内侧板部30A之间之薄板支持空间S,各一片支持隙槽部62上所嵌合之半导体晶圆W。

18. 发明专利

TW200707624A 薄板貯存容器 THIN PLATE STORAGE CONTAINER 审中-公开
简体标题：薄板贮存容器 THIN PLATE STORAGE CONTAINER
公开(公告)号：TW200707624A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW095113382
申请日：2003-04-14
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：松鳥千明 CHIAKI MATSUTORI , 小山貴立 TAKAHARU OYAMA
IPC分类号： H01L , B65D
摘要：本發明係為具備容器本體2及蓋體3,在將容器本體2橫置的狀態下取出放入半導體矽晶圓的晶圓貯存容器1。其具備設於容器本體2的蓋體支承部7的支持片10;及頂接於支持片10以支持蓋體3的頂接片16。設有支持容器本體2的支持零件4。支持零件4具備:支持容器本體2的底板部21;從底板部21的兩側立起而形成的側板部22、23;及設於側板部22、23,且在抬起容器本體2時用以抓住容器本體2的手柄24。薄板支持零件51具備:支持半導體矽晶圓的頂接片52;彈性地支持該頂接片52的支持部53;及支持該支持部53的基端支持棒部54。支持部53的前端係頂接於支持台62的嵌合部62A,並從其兩側彈性地支持頂接片52。
简体摘要：本发明系为具备容器本体2及盖体3,在将容器本体2横置的状态下取出放入半导体硅晶圆的晶圆贮存容器1。其具备设于容器本体2的盖体支承部7的支持片10;及顶接于支持片10以支持盖体3的顶接片16。设有支持容器本体2的支持零件4。支持零件4具备:支持容器本体2的底板部21;从底板部21的两侧立起而形成的侧板部22、23;及设于侧板部22、23,且在抬起容器本体2时用以抓住容器本体2的手柄24。薄板支持零件51具备:支持半导体硅晶圆的顶接片52;弹性地支持该顶接片52的支持部53;及支持该支持部53的基端支持棒部54。支持部53的前端系顶接于支持台62的嵌合部62A,并从其两侧弹性地支持顶接片52。

19. 发明专利

TW200621596A 標線片搬運容器 RETICLE-CARRYING CONTAINER 失效
简体标题：标线片搬运容器 RETICLE-CARRYING CONTAINER
公开(公告)号：TW200621596A
公开(公告)日：2006-07-01
申请号：TW094137795
申请日：2005-10-28
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：松鳥千明 CHIAKI MATSUTORI , 柳原公一 KOICHI YANAGIHARA
IPC分类号： B65D , H01L
CPC分类号： H01L21/67353 , G03F1/66 , G03F7/70741 , H01L21/67005 , H01L21/67359 , H01L21/67383 , H01L21/67386
摘要：可安全且確實地支持標線片12。一種具備有：可收容標線片12的密閉莢式容器13；及，可氣密地密封堵塞此密閉莢式容器13之門板14及密封材料15的標線片搬運容器11。在密閉莢式容器13或門板14之各內側面具有一對標線片保持器25、45，各標線片保持器25、45具有可抵接而彈性地支持標線片12的周緣之上側角部12A或下側角部12B的傾斜面部28。在傾斜面部28的內側，具有抵接標線片12周緣的上側角部12A或下側角部12B時具有可容許上述傾斜面部28之彎曲且可彈性地支持之緩衝功能的凹部31、52。
简体摘要：可安全且确实地支持标线片12。一种具备有：可收容标线片12的密闭荚式容器13；及，可气密地密封堵塞此密闭荚式容器13之门板14及密封材料15的标线片搬运容器11。在密闭荚式容器13或门板14之各内侧面具有一对标线片保持器25、45，各标线片保持器25、45具有可抵接而弹性地支持标线片12的周缘之上侧角部12A或下侧角部12B的倾斜面部28。在倾斜面部28的内侧，具有抵接标线片12周缘的上侧角部12A或下侧角部12B时具有可容许上述倾斜面部28之弯曲且可弹性地支持之缓冲功能的凹部31、52。

20. 发明专利

TW200618160A 薄板支承容器用夾緊裝置 THIN PLATE SUPPORTING CONTAINER CLAMPING DEVICE 审中-公开
简体标题：薄板支承容器用夹紧设备 THIN PLATE SUPPORTING CONTAINER CLAMPING DEVICE
公开(公告)号：TW200618160A
公开(公告)日：2006-06-01
申请号：TW094134466
申请日：2005-10-03
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：大林忠弘 TADAHIRO OBAYASHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67766
摘要：防止自動執行薄板進出入時發生薄板破損狀況。將內部收容著半導體晶圓的薄板支承容器1，載置於搬送目的處之晶圓載入機20上，並自動執行半導體晶圓進出入之際，用以固定上述薄板支承容器之薄板支承容器用夾緊裝置。具備有：卡接於薄板支承容器1的擋止部15中，並支承薄板支承容器1整體的鉤部24；將該鉤部24可上下動作地支承著，並在將該鉤部24卡接於上述擋止部15中的狀態下，回拉支承著薄板支承容器1的驅動部25；以及將由該驅動部25對上述鉤部24所作用的回拉力，於薄板支承容器1的蓋體4進行裝卸時便控制為較強，而當執行半導體晶圓進出入時便控制為較弱的控制部31。控制部31便根據壁厚感測器32、位置感測器33及回拉力檢測感測器34的檢測值，調整鉤部24的回拉力。
简体摘要：防止自动运行薄板进出入时发生薄板破损状况。将内部收容着半导体晶圆的薄板支承容器1，载置于搬送目的处之晶圆加载机20上，并自动运行半导体晶圆进出入之际，用以固定上述薄板支承容器之薄板支承容器用夹紧设备。具备有：卡接于薄板支承容器1的挡止部15中，并支承薄板支承容器1整体的钩部24；将该钩部24可上下动作地支承着，并在将该钩部24卡接于上述挡止部15中的状态下，回拉支承着薄板支承容器1的驱动部25；以及将由该驱动部25对上述钩部24所作用的回拉力，于薄板支承容器1的盖体4进行装卸时便控制为较强，而当运行半导体晶圆进出入时便控制为较弱的控制部31。控制部31便根据壁厚传感器32、位置传感器33及回拉力检测传感器34的检测值，调整钩部24的回拉力。

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