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1. 发明专利

TW200723434A 薄板保持容器及薄板保持容器用處理裝置 THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER PROCESSING DEVICE 失效
简体标题：薄板保持容器及薄板保持容器用处理设备 THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER AND THIN-PLATE SUPPORTING CONTAINER PROCESSING DEVICE
公开(公告)号：TW200723434A
公开(公告)日：2007-06-16
申请号：TW095136234
申请日：2006-09-29
申请人：未來兒股份有限公司 MIRAIAL CO., LTD.
发明人：兵部行遠 YUKIHIRO HYOBU , 長田厚 ATSUSHI OSADA
IPC分类号： H01L , B65D , B65G
CPC分类号： H01L21/67346 , H01L21/67778
摘要：本發明提供一種薄板保持容器,對任意片數的半導體晶圓,於上下任一側皆柔軟地支持。保持多片半導體晶圓以用於搬送、保管、處理等之薄板保持容器,其具備有:處理托盤,多片該處理托盤在分別保持有至少1片半導體晶圓之狀態下被層疊;和結合機構,在層疊有多片該處理托盤之狀態下將該等結合成一體並可在任意位置處分割。處理托盤於一側面具備有用來保持至少1片半導體晶圓之一側固定保持部,同時於另一側面具備有另一側固定保持部,其藉與其他處理托盤之上述一側固定保持部相互嵌合,而形成與外部環境相隔離且用以固定及保持上述薄板的收納空間。如此,將片數對應於半導體晶圓之片數的處理托盤層疊,而構成本發明之薄板保持容器。
简体摘要：本发明提供一种薄板保持容器,对任意片数的半导体晶圆,于上下任一侧皆柔软地支持。保持多片半导体晶圆以用于搬送、保管、处理等之薄板保持容器,其具备有:处理托盘,多片该处理托盘在分别保持有至少1片半导体晶圆之状态下被层叠;和结合机构,在层叠有多片该处理托盘之状态下将该等结合成一体并可在任意位置处分割。处理托盘于一侧面具备有用来保持至少1片半导体晶圆之一侧固定保持部,同时于另一侧面具备有另一侧固定保持部,其藉与其他处理托盘之上述一侧固定保持部相互嵌合,而形成与外部环境相隔离且用以固定及保持上述薄板的收纳空间。如此,将片数对应于半导体晶圆之片数的处理托盘层叠,而构成本发明之薄板保持容器。

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