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11. 发明专利

TW200706479A 基板搬出入裝置及基板搬出入方法审中-公开
简体标题：基板搬出入设备及基板搬出入方法
公开(公告)号：TW200706479A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW095116598
申请日：2006-05-10
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：神近哲郎 KAMICHIKA, TETSURO , 上田智博 UEDA, TOMOHIRO
IPC分类号： B65G
摘要：本發明係提供一種為了由托盤取出基板,或將基板搬入到托盤的基板搬出入裝置。該基板搬出入裝置是將層積的托盤予以分離,使基板支撐銷進入到分離的空間內。在基板支撐銷位於搬出入對象托盤之下的狀態,使基板支撐銷插通到搬出入對象托盤的銷插通孔。在基板取出時.藉由基板支撐銷由托盤舉起基板,就能取出基板。
简体摘要：本发明系提供一种为了由托盘取出基板,或将基板搬入到托盘的基板搬出入设备。该基板搬出入设备是将层积的托盘予以分离,使基板支撑销进入到分离的空间内。在基板支撑销位于搬出入对象托盘之下的状态,使基板支撑销插通到搬出入对象托盘的销插通孔。在基板取出时.借由基板支撑销由托盘举起基板,就能取出基板。

12. 发明专利

TW200500283A 基板搬運系統失效
简体标题：基板搬运系统
公开(公告)号：TW200500283A
公开(公告)日：2005-01-01
申请号：TW093108382
申请日：2004-03-26
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：內藤靖 NAITO, YASUSHI
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67766 , H01L21/67769
摘要：提供一種在各種處理裝置上富於高自由度地可對應的通用性的基板搬運系統。所以，隧道101是佈置成連繫複數處理裝置102間。又，隧道101與處理裝置102是未直接連接，而是介於介面裝置103。亦即，隧道101是在其下面與介面裝置103相連接，介面裝置103是其側面與處理裝置102相連接。介面裝置103是在隧道101的下方，配置在按照處理裝置102的基板接受口的高度。
简体摘要：提供一种在各种处理设备上富于高自由度地可对应的通用性的基板搬运系统。所以，隧道101是布置成连系复数处理设备102间。又，隧道101与处理设备102是未直接连接，而是介于界面设备103。亦即，隧道101是在其下面与界面设备103相连接，界面设备103是其侧面与处理设备102相连接。界面设备103是在隧道101的下方，配置在按照处理设备102的基板接受口的高度。

13. 发明专利

TW200428477A 基板搬運系統审中-公开
简体标题：基板搬运系统
公开(公告)号：TW200428477A
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：TW093108418
申请日：2004-03-26
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：內藤靖 NAITO, YASUSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67778 , H01L21/67727 , H01L21/67736 , H01L21/67766 , H01L21/67775
摘要：對於處理裝置有效率地搬運基板的基板搬運系統。在隧道的內部側壁中，二條的軌道是呈上下方向平行設置。這些二條的軌道，是分別支撐的複數基板搬運車可能，基板搬運車，是藉由馬達的驅動沿著軌道自走。由此，隧道是在其內部，具有：搬運基板的第1搬運路、及在第1搬運路的上方搬運基板的第2搬運路。
简体摘要：对于处理设备有效率地搬运基板的基板搬运系统。在隧道的内部侧壁中，二条的轨道是呈上下方向平行设置。这些二条的轨道，是分别支撑的复数基板搬运车可能，基板搬运车，是借由马达的驱动沿着轨道自走。由此，隧道是在其内部，具有：搬运基板的第1搬运路、及在第1搬运路的上方搬运基板的第2搬运路。

14. 发明专利

TW200936478A 移載裝置 TRANSPORTING APPARATUS 审中-公开
简体标题：移载设备 TRANSPORTING APPARATUS
公开(公告)号：TW200936478A
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：TW097142481
申请日：2008-11-04
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：橘勝義 TACHIBANA, KATSUYOSHI , 江連薰 EZURE, KAORU
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H05K13/02 , B65G65/00
摘要：本發明之移載裝置係包含:搬入區域(A1),用以搬入台車;定位機構,包含左右擺動臂(60),該等左右擺動臂係為了能夠在搬入區域將台車以從左右兩側夾住的方式予以抬升而定位於預定的高度位置,而設置成可與台車扣合及脫離;和移載機構(110),用以在藉由定位機構所定位後的台車與移載區域之間移載被移載物。藉此構成,由於藉由擺動臂可將台車從左右兩側以及下方抬升而定位於自地面分離的位置,又,在擺動臂進行擺動動作時,可進行台車的位置對準,故不會受到地面的平面度所影響,更且,即使於每台台車具有尺寸上之組裝誤差等的情況,也可容易且高精確度地將台車定位於預定位置。
简体摘要：本发明之移载设备系包含:搬入区域(A1),用以搬入台车;定位机构,包含左右摆动臂(60),该等左右摆动臂系为了能够在搬入区域将台车以从左右两侧夹住的方式予以抬升而定位于预定的高度位置,而设置成可与台车扣合及脱离;和移载机构(110),用以在借由定位机构所定位后的台车与移载区域之间移载被移载物。借此构成,由于借由摆动臂可将台车从左右两侧以及下方抬升而定位于自地面分离的位置,又,在摆动臂进行摆动动作时,可进行台车的位置对准,故不会受到地面的平面度所影响,更且,即使于每台台车具有尺寸上之组装误差等的情况,也可容易且高精确度地将台车定位于预定位置。

15. 发明专利

TWI312856B 大型基板用多段式加熱裝置 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES 失效
简体标题：大型基板用多段式加热设备 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
公开(公告)号：TWI312856B
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW093101512
申请日：2004-01-20
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 HUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： H01L , F26B
CPC分类号： F26B9/066
摘要：本發明,係提供一種大型基板用多段式加熱裝置,其能保持大型基板之良好的乾燥品質、構造簡單、能降低製作成本、運轉成本等成本。
本發明之大型基板用多段式加熱裝置1,係用來將複數片作為被乾燥物之矩形大型基板6配置成多段狀並乾燥;且將內部具有發熱體之複數片兩面加熱式矩形平板加熱器4-1、4-2…4-n以上下方向相隔既定間隔之方式配置成多段;將上下相鄰之平板加熱器間的空間部當作用以加熱乾燥大型基板6之乾燥室7-1、7-2…7-(n-1);在沿上下方向形成多段之複數個乾燥室之周圍設置有氣流通路形成機構23-1、23-2…23-n、24,用以形成上升熱氣流所產生之空氣幕。
简体摘要：本发明,系提供一种大型基板用多段式加热设备,其能保持大型基板之良好的干燥品质、构造简单、能降低制作成本、运转成本等成本。本发明之大型基板用多段式加热设备1,系用来将复数片作为被干燥物之矩形大型基板6配置成多段状并干燥;且将内部具有发热体之复数片两面加热式矩形平板加热器4-1、4-2…4-n以上下方向相隔既定间隔之方式配置成多段;将上下相邻之平板加热器间的空间部当作用以加热干燥大型基板6之干燥室7-1、7-2…7-(n-1);在沿上下方向形成多段之复数个干燥室之周围设置有气流通路形成机构23-1、23-2…23-n、24,用以形成上升热气流所产生之空气幕。

16. 发明专利

TW200933800A 基板搬運裝置审中-公开
简体标题：基板搬运设备
公开(公告)号：TW200933800A
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW097119741
申请日：2008-05-28
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 FUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： H01L , B65G
CPC分类号： B65G49/068 , B65G49/064
摘要：本發明的基板搬運裝置,具備:在第1搬運方向進行水平搬運的第1搬運手段;及可將上述第1搬運手段上的上述基板在上述第1搬運方向正交方向的第2搬運方向進行水平搬運的第2搬運手段。上述第1搬運手段,是由彼此於上述第1搬運方向隔著間隔的複數列第1搬運單元所構成,上述第2搬運手段,是由彼此於上述第2搬運方向隔著間隔的複數列第2搬運單元所構成。各個上述第2搬運單元,具備有:配置在上述第1搬運單元間的空隙,可對上述基板從其下側進行支撐的支撐單元;配置在上述支撐單元下方可使上述支撐單元昇降的昇降單元;及配置在比上述第1搬運單元還下方的位置,可使上述支撐單元及上述昇降單元朝上述第2搬運方向移動的驅動單元。
简体摘要：本发明的基板搬运设备,具备:在第1搬运方向进行水平搬运的第1搬运手段;及可将上述第1搬运手段上的上述基板在上述第1搬运方向正交方向的第2搬运方向进行水平搬运的第2搬运手段。上述第1搬运手段,是由彼此于上述第1搬运方向隔着间隔的复数列第1搬运单元所构成,上述第2搬运手段,是由彼此于上述第2搬运方向隔着间隔的复数列第2搬运单元所构成。各个上述第2搬运单元,具备有:配置在上述第1搬运单元间的空隙,可对上述基板从其下侧进行支撑的支撑单元;配置在上述支撑单元下方可使上述支撑单元升降的升降单元;及配置在比上述第1搬运单元还下方的位置,可使上述支撑单元及上述升降单元朝上述第2搬运方向移动的驱动单元。

17. 发明专利

TW200922851A 基板搬運系統审中-公开
简体标题：基板搬运系统
公开(公告)号：TW200922851A
公开(公告)日：2009-06-01
申请号：TW097135654
申请日：2008-09-17
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：蒲生徹 GAMO, TORU , 堀健彥 HORI, TAKEHIKO
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： B65G49/061 , B65G49/064 , B65G49/068 , H01L21/67742 , H01L21/67745
摘要：本發明是提供一種基板搬運系統,可在基板的收納卡匣、及處理裝置之間搬運基板。此基板搬運系統,是具備:可將複數枚基板同時搬運的第1輸送帶、及與前述第1輸送帶連續配置可將前述複數枚基板個別朝前述搬運方向搬運的第2輸送帶、及具有載置前述第2輸送帶上的前述基板用的載置部且在前述第2輸送帶上朝與前述搬運方向垂直的方向移動前述基板用的移動組件、及將前述載置部及前述第2輸送帶相對昇降用的昇降組件。
简体摘要：本发明是提供一种基板搬运系统,可在基板的收纳卡匣、及处理设备之间搬运基板。此基板搬运系统,是具备:可将复数枚基板同时搬运的第1输送带、及与前述第1输送带连续配置可将前述复数枚基板个别朝前述搬运方向搬运的第2输送带、及具有载置前述第2输送带上的前述基板用的载置部且在前述第2输送带上朝与前述搬运方向垂直的方向移动前述基板用的移动组件、及将前述载置部及前述第2输送带相对升降用的升降组件。

18. 发明专利

TW200833584A 運送裝置 CONVEYER APPARAUTS 审中-公开
简体标题：运送设备 CONVEYER APPARAUTS
公开(公告)号：TW200833584A
公开(公告)日：2008-08-16
申请号：TW096105439
申请日：2007-02-14
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：平田耕也 HIRATA, YASUNARI
IPC分类号： B65G
摘要：本發明之運送裝置係包含:殼體,用以界定以預定寬度朝被搬運物之搬運方向伸長的左右一對空隙部;搬運體,用以架撐被搬運物進行搬運而配置在左右一對空隙部的附近或鄰接區域而由殼體支撐;驅動機構,用以驅動搬運體而配置在殼體的內部空間;以及抽吸手段抽吸內部空間。藉由本發明,當利用抽吸手段抽吸殼體內的內部空間時,會產生通過空隙部而由外部流入內部空間的氣流,而配置於空隙部之下方附近的搬運體附近等產生的磨耗粉、塵埃等,會隨著該氣流被吸入,而防止其飛散至外部。
简体摘要：本发明之运送设备系包含:壳体,用以界定以预定宽度朝被搬运物之搬运方向伸长的左右一对空隙部;搬运体,用以架撑被搬运物进行搬运而配置在左右一对空隙部的附近或邻接区域而由壳体支撑;驱动机构,用以驱动搬运体而配置在壳体的内部空间;以及抽吸手段抽吸内部空间。借由本发明,当利用抽吸手段抽吸壳体内的内部空间时,会产生通过空隙部而由外部流入内部空间的气流,而配置于空隙部之下方附近的搬运体附近等产生的磨耗粉、尘埃等,会随着该气流被吸入,而防止其飞散至外部。

19. 发明专利

TW200801424A 溫度處理裝置及溫度處理系統 TEMPERATURE PROCESSING APPARATUS AND TEMPERATURE PROCESSING SYSTEM 审中-公开
简体标题：温度处理设备及温度处理系统 TEMPERATURE PROCESSING APPARATUS AND TEMPERATURE PROCESSING SYSTEM
公开(公告)号：TW200801424A
公开(公告)日：2008-01-01
申请号：TW096105637
申请日：2007-02-15
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：松吉哲典 MATSUYOSHI, TETSUNORI , 小股浩明 KOMATA, HIROAKI , 森本耕司 MORIMOTO, KOUJI
IPC分类号： F27B
CPC分类号： F27B9/3005 , F27B9/36 , F27D7/02 , F27D7/04 , H01L21/324
摘要：本發明的溫度處理裝置,具備:外殼(210),係劃定對被層積的複數個被處理物施以溫度處理之處理室(211);以及流體循環機構,使對被搬入處理室(211)的被處理物施以溫度處理用之流體進行循環,其中,外殼(210)具有:搬入口(212)及搬出口(213),係在水平方向搬入及搬出被處理物,並且在溫度處理中被封閉;且在外殼(210)內的下方配置有用以托持被處理物且在水平方向進行搬入及搬出之輸送機(260),流體循環機構係配置於外殼(210)內,且形成為,朝被處理物的兩側或兩側及下側噴出流體,並且由被處理物的上方吸引流體而使其循環。據此,可達成設置面積的省空間化,且可高精確度地管理環境溫度,並進行穩定的溫度處理,提高生產性。
简体摘要：本发明的温度处理设备,具备:外壳(210),系划定对被层积的复数个被处理物施以温度处理之处理室(211);以及流体循环机构,使对被搬入处理室(211)的被处理物施以温度处理用之流体进行循环,其中,外壳(210)具有:搬入口(212)及搬出口(213),系在水平方向搬入及搬出被处理物,并且在温度处理中被封闭;且在外壳(210)内的下方配置有用以托持被处理物且在水平方向进行搬入及搬出之输送机(260),流体循环机构系配置于外壳(210)内,且形成为,朝被处理物的两侧或两侧及下侧喷出流体,并且由被处理物的上方吸引流体而使其循环。据此,可达成设置面积的省空间化,且可高精确度地管理环境温度,并进行稳定的温度处理,提高生产性。

20. 发明专利

TW200706476A 搬運裝置审中-公开
简体标题：搬运设备
公开(公告)号：TW200706476A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW094126915
申请日：2005-08-08
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：平澤洋一 HIRASAWA, YOICHI , 木村哲也 KIMURA, TETSUYA
IPC分类号： B65G
摘要：本發明之目的在於提供一種搬送裝置,係使搬送對象物以不從輥子脫落的方式,導引至搬送方向,並且使相鄰的輥子間的間距狹窄。本發明之搬送裝置係具備與搬送對象物的搬送方向並列,且載置有前述搬送對象物的複數個輥子,其特徵為,前述複數個輥子係包含:第1輥子、及與前述第1輥子鄰接的第2輥子,前述第1輥子係具有:載置有前述搬送對象物的第1載置部;及比該第1載置部的直徑大,且導引前述搬送對象物到前述搬送方向的大直徑部,前述第2輥子係具有:載置有前述搬送對象物的第2載置部;及比該第2載置部的直徑小,防止前述大直徑部與前述第2輥子干涉的小直徑部。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种搬送设备,系使搬送对象物以不从辊子脱落的方式,导引至搬送方向,并且使相邻的辊子间的间距狭窄。本发明之搬送设备系具备与搬送对象物的搬送方向并列,且载置有前述搬送对象物的复数个辊子,其特征为,前述复数个辊子系包含:第1辊子、及与前述第1辊子邻接的第2辊子,前述第1辊子系具有:载置有前述搬送对象物的第1载置部;及比该第1载置部的直径大,且导引前述搬送对象物到前述搬送方向的大直径部,前述第2辊子系具有:载置有前述搬送对象物的第2载置部;及比该第2载置部的直径小,防止前述大直径部与前述第2辊子干涉的小直径部。

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