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    • 103. 发明专利
    • 介層充填方法
    • 介层充填方法
    • TW595294B
    • 2004-06-21
    • TW090108520
    • 2001-04-10
    • 新光電氣工業股份有限公司 SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
    • 片桐規貴花房孝嘉佐佐木正行
    • H05K
    • 本發明提供一種介質充填方法,係以比習知的更為小徑化之盲孔,施以PR電鍍可充分充填金屬。
      將在底面露出有導体層之盲孔24形成為絕緣性樹脂層,並於含有盲孔24底面之內壁面,形成金屬薄膜層26後,盲孔24內由於電鍍充填金屬而形成介質12時,在該盲孔24內充填有金屬通以正向電流,使陽極與陰極於規定的周期反轉,而由於在前述電流的流動方向之相反方向,通以逆向電流之PR電鍍,在盲孔24內之金屬薄膜12上形成金屬皮膜28後,於盲孔24內的殘餘部份,由於連續送入直流電流之直流電鍍而充填金屬。
    • 本发明提供一种介质充填方法,系以比习知的更为小径化之盲孔,施以PR电镀可充分充填金属。 将在底面露出有导体层之盲孔24形成为绝缘性树脂层,并于含有盲孔24底面之内壁面,形成金属薄膜层26后,盲孔24内由于电镀充填金属而形成介质12时,在该盲孔24内充填有金属通以正向电流,使阳极与阴极于规定的周期反转,而由于在前述电流的流动方向之相反方向,通以逆向电流之PR电镀,在盲孔24内之金属薄膜12上形成金属皮膜28后,于盲孔24内的残余部份,由于连续送入直流电流之直流电镀而充填金属。