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1. 发明专利

TWI690014B 靜電吸盤裝置及其製造方法有权
简体标题：静电吸盘设备及其制造方法
公开(公告)号：TWI690014B
公开(公告)日：2020-04-01
申请号：TW105126705
申请日：2016-08-22
申请人：日商新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/3065

2. 发明专利

TW201842622A 基板夾具及基板固定裝置审中-公开
简体标题：基板夹具及基板固定设备
公开(公告)号：TW201842622A
公开(公告)日：2018-12-01
申请号：TW107106385
申请日：2018-02-26
申请人：日商新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00
摘要：一種基板夾具包括：一單極吸盤主體，其包括一絕緣板及一嵌入該絕緣板中之電極；一托盤，其放置在該吸盤主體上，具有一上表面，在該上表面中形成有複數個凹部，以便容納複數個基板於其中，並且其係由一具有等於或小於該絕緣板之體積電阻率的體積電阻率之絕緣體所形成；以及一氧化釔層，其形成於該托盤之上表面上。
简体摘要：一种基板夹具包括：一单极吸盘主体，其包括一绝缘板及一嵌入该绝缘板中之电极；一托盘，其放置在该吸盘主体上，具有一上表面，在该上表面中形成有复数个凹部，以便容纳复数个基板于其中，并且其系由一具有等于或小于该绝缘板之体积电阻率的体积电阻率之绝缘体所形成；以及一氧化钇层，其形成于该托盘之上表面上。

3. 发明专利

TWI640054B 托盤及晶圓固持裝置有权
简体标题：托盘及晶圆固持设备
公开(公告)号：TWI640054B
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW104118706
申请日：2015-06-10
申请人：日商新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：玉川晃樹 , TAMAGAWA, KOKI , 白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 吉川忠義 , YOSHIKAWA, TADAYOSHI , 渡部直人 , WATANABE, NAOTO , 齋藤美喜 , SAITO, MIKI
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/683

4. 发明专利

TW201613019A 托盤及晶圓固持裝置审中-公开
简体标题：托盘及晶圆固持设备
公开(公告)号：TW201613019A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW104118706
申请日：2015-06-10
申请人：新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：玉川晃樹 , TAMAGAWA, KOKI , 白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 吉川忠義 , YOSHIKAWA, TADAYOSHI , 渡部直人 , WATANABE, NAOTO , 齋藤美喜 , SAITO, MIKI
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833 , H01L21/67109 , H01L21/6875 , H01L21/68771
摘要：一種托盤，包括：一支撐基座，具有一第一面供一夾持物放置及相反於第一面之一第二面；一上電極嵌入於支撐基座且設置朝向第一面；一下電極嵌入於支撐基座且相較於上電極設置更朝向第二面；及一至多個內連線，設置以提供一電性連接於上電極與下電極之間。
简体摘要：一种托盘，包括：一支撑基座，具有一第一面供一夹持物放置及相反于第一面之一第二面；一上电极嵌入于支撑基座且设置朝向第一面；一下电极嵌入于支撑基座且相较于上电极设置更朝向第二面；及一至多个内连接，设置以提供一电性连接于上电极与下电极之间。

5. 发明专利

TW201423895A 靜電卡盤介電體層及靜電卡盤审中-公开
简体标题：静电卡盘介电体层及静电卡盘
公开(公告)号：TW201423895A
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：TW102132991
申请日：2013-09-12
申请人：日本鎢合金股份有限公司 , NIPPON TUNGSTEN CO., LTD. , 新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD. , 托雷克控股股份有限公司 , TREK HOLDING CO., LTD , 一般財團法人精密瓷器中心 , JAPAN FINE CERAMICS CENTER
发明人：堤幸太 , TSUTSUMI, KOUTA , 永野光芳 , NAGANO, MITSUYOSHI , 玉川晃樹 , TAMAGAWA, KOKI , 白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 吉川忠義 , YOSHIKAWA, TADAYOSHI , 齋藤美喜 , SAITO, MIKI , 上原利夫 , UEHARA, TOSHIO , 松原秀彰 , MATSUBARA, HIDEAKI , 松田哲志 , MATSUDA, TETSUSHI
IPC分类号： H01L21/68 , C04B35/10
CPC分类号： C04B35/10 , C04B35/117 , C04B35/645 , C04B2235/3232 , C04B2235/3843 , C04B2235/3856 , C04B2235/3886 , C04B2235/5445 , C04B2235/77 , C04B2235/786 , C04B2235/96 , H01L21/6831 , H01L21/6833 , Y10T279/23
摘要：本發明提供一種對電漿氣體之耐腐蝕性優異之Johnsen-Rahbek型靜電卡盤。藉由具有由氧化鋁所成之第1相、及使含鈦之複合碳氮化物(Ti,Me)(C,N)以微細粒子作為第2相之陶瓷材料而製作靜電卡盤之至少介電體層而得以解決。Me係指過渡元素，特別有效為Mo、W等之4~6族之金屬。第2相佔有0.05~2.5體積%之陶瓷，係具有Johnsen-Rahbeck型靜電卡盤所必要之108~1013(Ω．cm)左右之體積電阻值。且，複合碳氮化物抑制在氧化鋁之燒結過程中的顆粒成長之效果高。因此，使用時亦可使粒子之脫落尺寸減小，進而亦可減低因電漿耐性所致之損耗量。
简体摘要：本发明提供一种对等离子气体之耐腐蚀性优异之Johnsen-Rahbek型静电卡盘。借由具有由氧化铝所成之第1相、及使含钛之复合碳氮化物(Ti,Me)(C,N)以微细粒子作为第2相之陶瓷材料而制作静电卡盘之至少介电体层而得以解决。Me系指过渡元素，特别有效为Mo、W等之4~6族之金属。第2相占有0.05~2.5体积%之陶瓷，系具有Johnsen-Rahbeck型静电卡盘所必要之108~1013(Ω．cm)左右之体积电阻值。且，复合碳氮化物抑制在氧化铝之烧结过程中的颗粒成长之效果高。因此，使用时亦可使粒子之脱落尺寸减小，进而亦可减低因等离子耐性所致之损耗量。

6. 发明专利

TWI587441B 靜電夾頭有权
简体标题：静电夹头
公开(公告)号：TWI587441B
公开(公告)日：2017-06-11
申请号：TW102113700
申请日：2013-04-18
申请人：新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 河合治郎 , KAWAI, JIRO
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833

7. 发明专利

TW201608600A 靜電夾具及半導體液晶製造設備审中-公开
简体标题：静电夹具及半导体液晶制造设备
公开(公告)号：TW201608600A
公开(公告)日：2016-03-01
申请号：TW104116255
申请日：2015-05-21
申请人：新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 川合治郎 , KAWAI, JIRO
IPC分类号： H01J37/32 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833 , H01J37/32715
摘要：一種靜電夾具，包括一包含一貫穿孔之基板，一插置於該貫穿孔內之圓柱絕緣組件，該圓柱絕緣組件包括一自該貫穿孔的一上端凸伸之凸伸部，一配置於該基板上之置放台，一形成於該置放台的一下表面內之凹陷部，該圓柱絕緣組件的凸伸部係緊配於該凹陷部內，一形成於該置放台的凹陷部內之凹部，一形成於該置放台的凹部內之電極，及一配置於該圓柱絕緣組件的內部之饋電端子，該饋電端子連接於該電極。
简体摘要：一种静电夹具，包括一包含一贯穿孔之基板，一插置于该贯穿孔内之圆柱绝缘组件，该圆柱绝缘组件包括一自该贯穿孔的一上端凸伸之凸伸部，一配置于该基板上之置放台，一形成于该置放台的一下表面内之凹陷部，该圆柱绝缘组件的凸伸部系紧配于该凹陷部内，一形成于该置放台的凹陷部内之凹部，一形成于该置放台的凹部内之电极，及一配置于该圆柱绝缘组件的内部之馈电端子，该馈电端子连接于该电极。

8. 发明专利

TW201347082A 靜電夾頭审中-公开
简体标题：静电夹头
公开(公告)号：TW201347082A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102113700
申请日：2013-04-18
申请人：新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 河合治郎 , KAWAI, JIRO
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6833
摘要：一種靜電夾頭包含基座，該基座具有延伸通過基座之第一貫孔。靜電夾頭吸引板黏合於基座，而吸引電極被包含於靜電夾頭吸引板中，以產生靜電荷並對受吸引對象進行靜電吸引。凹槽形成於靜電夾頭吸引板中，對齊第一貫孔，且部分地露出吸引電極。黏著層形成於靜電夾頭吸引板與基座之間，且覆蓋凹槽之內表面。管狀絕緣體包含第二貫孔，且被設置於凹槽中。電源端子包含電性連接至吸引電極之末端部，且被設置於第一貫孔及第二貫孔中。
简体摘要：一种静电夹头包含基座，该基座具有延伸通过基座之第一贯孔。静电夹头吸引板黏合于基座，而吸引电极被包含于静电夹头吸引板中，以产生静电荷并对受吸引对象进行静电吸引。凹槽形成于静电夹头吸引板中，对齐第一贯孔，且部分地露出吸引电极。黏着层形成于静电夹头吸引板与基座之间，且覆盖凹槽之内表面。管状绝缘体包含第二贯孔，且被设置于凹槽中。电源端子包含电性连接至吸引电极之末端部，且被设置于第一贯孔及第二贯孔中。

9. 发明专利

TWI591751B 靜電夾頭及製造靜電夾頭之方法有权
简体标题：静电夹头及制造静电夹头之方法
公开(公告)号：TWI591751B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：TW102116978
申请日：2013-05-14
申请人：新光電氣工業股份有限公司 , SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
发明人：白岩則雄 , SHIRAIWA, NORIO , 川井治郎 , KAWAI, JIRO
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H02N13/00 , Y10T29/49002

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