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    • 108. 发明专利
    • 半導體積體電路裝置之製造方法
    • 半导体集成电路设备之制造方法
    • TW200529347A
    • 2005-09-01
    • TW093140311
    • 2004-12-23
    • 瑞薩科技股份有限公司 RENESAS TECHNOLOGY CORP.
    • 渡部典生
    • H01L
    • G01N21/00G01N21/95684G01N2021/95646H01L2224/73204H01L2924/13091H01L2924/15311H05K1/0269H05K3/3452H05K3/3484H05K2203/163H01L2924/00
    • 本發明係在半導體積體電路裝置之製造技術中,提供一種資料之作成簡單,且不良部之目視確認容易之印刷於基板上之焊料之2D˙3D檢查技術。在利用2D˙3D焊料印刷檢查裝置之基板之檢查工序中,在檢查裝置安裝2D檢查機能與3D檢查機能,首先執行3D檢查,接著執行2D檢查,在檢查結束之同時,可放大顯示判定不良之墊(印刷焊料)之部分之2D攝影圖像,藉此對作業員提供有效之目視確認環境。又,在作成檢查資料時,藉由測定未加工基,檢查裝置調查自動產生之獨自之高度測定基準與墊上面高度之關係,藉此,可在檢查中,依據墊上面基準測定印刷焊料之高度˙體積。
    • 本发明系在半导体集成电路设备之制造技术中,提供一种数据之作成简单,且不良部之目视确认容易之印刷于基板上之焊料之2D˙3D检查技术。在利用2D˙3D焊料印刷检查设备之基板之检查工序中,在检查设备安装2D检查机能与3D检查机能,首先运行3D检查,接着运行2D检查,在检查结束之同时,可放大显示判定不良之垫(印刷焊料)之部分之2D摄影图像,借此对作业员提供有效之目视确认环境。又,在作成检查数据时,借由测定未加工基,检查设备调查自动产生之独自之高度测定基准与垫上面高度之关系,借此,可在检查中,依据垫上面基准测定印刷焊料之高度˙体积。