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    • 93. 发明专利
    • 脆性材料基板之加工方法
    • TW201546004A
    • 2015-12-16
    • TW104114383
    • 2015-05-06
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 崔東光CHIO, DONG KWANG
    • C03B33/09B28D5/00
    • Y02P40/57
    • 本發明之脆性材料基板之加工方法,能夠在對脆性材料基板進行切斷加工時,抑制基板之碎屑產生。 本發明提供包含以下步驟之基板加工方法:沿著與脆性材料基板之加工線隔離一定間隔設置的導引線,對脆性材料基板之表面以一定深度進行雷射加工;以及,沿著脆性材料基板之加工線,從基板之背面往表面方向對脆性材料基板進行雷射加工;其具有能夠在對脆性材料基板進行切斷加工時抑制脆性材料基板之碎屑產生、能夠使不良率減少並使生產效率提高的效果。
    • 本发明之脆性材料基板之加工方法,能够在对脆性材料基板进行切断加工时,抑制基板之碎屑产生。 本发明提供包含以下步骤之基板加工方法:沿着与脆性材料基板之加工线隔离一定间隔设置的导引线,对脆性材料基板之表面以一定深度进行激光加工;以及,沿着脆性材料基板之加工线,从基板之背面往表面方向对脆性材料基板进行激光加工;其具有能够在对脆性材料基板进行切断加工时抑制脆性材料基板之碎屑产生、能够使不良率减少并使生产效率提高的效果。
    • 94. 发明专利
    • 脆性材料基板之裂斷裝置
    • 脆性材料基板之裂断设备
    • TW201546003A
    • 2015-12-16
    • TW104101931
    • 2015-01-21
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 得永直TOKUNAGA, NAO
    • C03B33/03C03B33/10
    • 本發明之課題在於在玻璃基板之裂斷裝置中,縮短裂斷所需之時間。 該裝置,係用於對形成有於第1方向延伸之第1刻劃線、及於與第1方向交叉之第2方向延伸之第2刻劃線的玻璃基板G,沿著第1及第2刻劃線進行分斷之裝置。該裂斷裝置,具備:搬送帶2、第1裂斷機構11、及第2裂斷機構12。搬送帶2,具有載置面2a,且沿第1方向搬送載置於載置面2a之玻璃基板G。第1裂斷機構11,沿第1刻劃線分斷載置於搬送帶2之玻璃基板G。第2裂斷機構12,沿第2刻劃線分斷載置於搬送帶2之玻璃基板G。
    • 本发明之课题在于在玻璃基板之裂断设备中,缩短裂断所需之时间。 该设备,系用于对形成有于第1方向延伸之第1刻划线、及于与第1方向交叉之第2方向延伸之第2刻划线的玻璃基板G,沿着第1及第2刻划线进行分断之设备。该裂断设备,具备:搬送带2、第1裂断机构11、及第2裂断机构12。搬送带2,具有载置面2a,且沿第1方向搬送载置于载置面2a之玻璃基板G。第1裂断机构11,沿第1刻划线分断载置于搬送带2之玻璃基板G。第2裂断机构12,沿第2刻划线分断载置于搬送带2之玻璃基板G。
    • 97. 发明专利
    • 加工頭及溝槽加工裝置
    • 加工头及沟槽加工设备
    • TW201537764A
    • 2015-10-01
    • TW104105764
    • 2015-02-24
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 片桐直樹KATAGIRI, NAOKI
    • H01L31/04H01L21/304B28D5/04
    • B28D5/00B26D3/06H01L31/18Y10T83/0304
    • 本發明之加工頭及溝槽加工裝置,構成為能夠以狹窄之間距並列地設置多個之頭單元之工具。 第1頭單元31A,於基座42透過線性導引件43設置有工具保持具44,該工具保持具44可於z軸方向移動自如。第2頭單元31B,亦同樣地於基座46透過線性導引件47設置有工具保持具48,且該工具保持具48可於z軸方向移動自如。頭單元31A之工具與線性導引件之x軸方向的間隔Wa2,與頭單元31B之工具與線性導引件之x軸方向的間隔Wb2不同。在交互地配置頭單元31A及31B時,藉由使線性導引件43、47之位置錯開且避免干擾而使頭單元之間距變窄。
    • 本发明之加工头及沟槽加工设备,构成为能够以狭窄之间距并列地设置多个之头单元之工具。 第1头单元31A,于基座42透过线性导引件43设置有工具保持具44,该工具保持具44可于z轴方向移动自如。第2头单元31B,亦同样地于基座46透过线性导引件47设置有工具保持具48,且该工具保持具48可于z轴方向移动自如。头单元31A之工具与线性导引件之x轴方向的间隔Wa2,与头单元31B之工具与线性导引件之x轴方向的间隔Wb2不同。在交互地配置头单元31A及31B时,借由使线性导引件43、47之位置错开且避免干扰而使头单元之间距变窄。
    • 98. 发明专利
    • 脆性材料基板之分斷方法
    • 脆性材料基板之分断方法
    • TW201536700A
    • 2015-10-01
    • TW104107980
    • 2015-03-12
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 曾山浩SOYAMA, HIROSHI
    • C03B33/02
    • C03B33/105B28D1/225B28D5/0011
    • 本發明之目的在於抑制用於分斷脆性材料基板之刀尖及基板表面之損傷。 本發明係以如下方式將刀尖51按壓於脆性材料基板4:於脆性材料基板4之第1邊ED1及刀尖51之側部PS之間配置刀尖51之突起部PP,且於刀尖51之突起部PP與脆性材料基板4之第2邊ED2之間配置刀尖51之側部PS。於脆性材料基板4上,於第1及第2邊ED1、ED2中接近第1邊ED1之第1位置、與第1及第2邊ED1、ED2中接近第2邊ED2之第2位置之間,藉由劃痕而形成劃線。於形成劃線後,藉由使厚度方向DT之裂縫沿著劃線自第2位置向第1位置伸展,而形成裂縫線。
    • 本发明之目的在于抑制用于分断脆性材料基板之刀尖及基板表面之损伤。 本发明系以如下方式将刀尖51按压于脆性材料基板4:于脆性材料基板4之第1边ED1及刀尖51之侧部PS之间配置刀尖51之突起部PP,且于刀尖51之突起部PP与脆性材料基板4之第2边ED2之间配置刀尖51之侧部PS。于脆性材料基板4上,于第1及第2边ED1、ED2中接近第1边ED1之第1位置、与第1及第2边ED1、ED2中接近第2边ED2之第2位置之间,借由划痕而形成划线。于形成划线后,借由使厚度方向DT之裂缝沿着划线自第2位置向第1位置伸展,而形成裂缝线。